JPS62186430U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62186430U JPS62186430U JP7438886U JP7438886U JPS62186430U JP S62186430 U JPS62186430 U JP S62186430U JP 7438886 U JP7438886 U JP 7438886U JP 7438886 U JP7438886 U JP 7438886U JP S62186430 U JPS62186430 U JP S62186430U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooves
- springs
- utility
- mounting table
- scope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の断面斜図、第２図
は遊動弁が吸気によつて動作して、通気穴を遮断
した時の状態を現した図面。 １……装着代、２……吸引溝、３……連絡溝、
４……通気穴、５……遊動弁、５′……通気穴、
６……ばね、７……真空排気管、８……ウエハー
（小）、９……ウエハー（大）。
は遊動弁が吸気によつて動作して、通気穴を遮断
した時の状態を現した図面。 １……装着代、２……吸引溝、３……連絡溝、
４……通気穴、５……遊動弁、５′……通気穴、
６……ばね、７……真空排気管、８……ウエハー
（小）、９……ウエハー（大）。
Claims (1)
- 多重円状に設けた吸着溝の、溝と溝を結ぶ連絡
穴に、ばねと遊動弁を設けた、真空吸着によるウ
エハーの装着台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7438886U JPS62186430U (ja) | 1986-05-17 | 1986-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7438886U JPS62186430U (ja) | 1986-05-17 | 1986-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186430U true JPS62186430U (ja) | 1987-11-27 |
Family
ID=30919555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7438886U Pending JPS62186430U (ja) | 1986-05-17 | 1986-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186430U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03255984A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-11-14 | Abb Atom Ab | 沸騰水型原子炉の燃料集合体 |
| JPH1050810A (ja) * | 1997-04-07 | 1998-02-20 | Nikon Corp | 基板の吸着装置及び露光装置 |
| JP2003174078A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Adtec Engineeng Co Ltd | 保持装置 |
| JP2003332410A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真空吸着装置 |
| JP2019193958A (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | 真空チャック及び真空チャック用オートバルブ |
-
1986
- 1986-05-17 JP JP7438886U patent/JPS62186430U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03255984A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-11-14 | Abb Atom Ab | 沸騰水型原子炉の燃料集合体 |
| JPH1050810A (ja) * | 1997-04-07 | 1998-02-20 | Nikon Corp | 基板の吸着装置及び露光装置 |
| JP2003174078A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Adtec Engineeng Co Ltd | 保持装置 |
| JP2003332410A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真空吸着装置 |
| JP2019193958A (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | 真空チャック及び真空チャック用オートバルブ |
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