JPS62183047A - Production of optical recording medium - Google Patents
Production of optical recording mediumInfo
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- JPS62183047A JPS62183047A JP2318486A JP2318486A JPS62183047A JP S62183047 A JPS62183047 A JP S62183047A JP 2318486 A JP2318486 A JP 2318486A JP 2318486 A JP2318486 A JP 2318486A JP S62183047 A JPS62183047 A JP S62183047A
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学式記録媒体の製造方法に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium.
本発明は光学式記録媒体に関し、基体上にフォトレジス
ト層を被着形成し、そのフォトレジスト層を、光学式記
録媒体の記!2層に形成されるべき案内溝に応じたパタ
ーンの光学マスクを介して露光すると共に現像処理して
、基体上に案内溝に応じた溝を形成し、この溝に基づい
て記録層に案内溝を形成するようにすることにより、光
学式記録媒体の記録層に、高精度の案内溝を容易に形成
することができるようにしたものである。The present invention relates to an optical recording medium, in which a photoresist layer is deposited on a substrate, and the photoresist layer is applied to a recording medium of the optical recording medium. A groove corresponding to the guide groove is formed on the substrate by exposure through an optical mask with a pattern corresponding to the guide groove to be formed in the two layers and a development process, and a guide groove is formed in the recording layer based on this groove. By forming the guide grooves, highly accurate guide grooves can be easily formed in the recording layer of the optical recording medium.
先ず、第3図を参照して、従来の光学式記録ディスクの
製造方法を説明する。原盤(ガラス原盤)(1)を用意
しく第3図A)、レーザビームを用いて、光学式記録デ
ィスクの記録層に形成されるべきトランキングのための
案内溝に応じた溝(同心円または円に近い渦巻きの?M
)(la)を、原盤(1)の表面に形成する(第3図B
)。この原盤(1)の表面に金属にッケル)をメッキし
てスタンパ(2)を形成する(第3図C,D)。光学式
記録ディスクの基i(プラスチックから成る)(3)を
用意しく第3図E)、これをスタンバ(2)でスタンプ
して、この基板(3)の表面に、記録層に形成すべき案
内溝に応じた溝(3a)を形成する(第3図F)。この
基板(3)の表面に記録層(映像信号、音声信号、デー
タ信号等の情報信号が光学的に記録される記j、に層)
(4)を被着形成しく第3図G)、そのトに保護層
(ブーラスチックから成る)(5)を被着形成しこ、光
学式記録ディスクを得る(第3図fi)。か・、・ニア
て、記録層(4)に夫々同心円また円に近いjMi巻さ
の案内溝GV及びランド部LDが形成されノミ光学式記
録ディスクが得られる。First, a conventional method for manufacturing an optical recording disk will be explained with reference to FIG. Prepare a master disk (glass master disk) (1) and use a laser beam to form grooves (concentric circles or circles) corresponding to guide grooves for trunking to be formed in the recording layer of the optical recording disk. A spiral similar to ?M
)(la) is formed on the surface of the master (1) (Fig. 3B).
). A stamper (2) is formed by plating the surface of this master (1) with metal (nickel) (FIGS. 3C and D). Prepare the substrate (3) of the optical recording disk (made of plastic) (Fig. 3E) and stamp it with a standber (2) to form a recording layer on the surface of this substrate (3). A groove (3a) corresponding to the guide groove is formed (FIG. 3F). A recording layer (layer where information signals such as video signals, audio signals, data signals, etc. are optically recorded) is formed on the surface of this substrate (3).
(4) is deposited (FIG. 3G), and a protective layer (5) made of Boolastic is deposited thereon to obtain an optical recording disk (FIG. 3FI). . . . Nearby, guide grooves GV and land portions LD each having a concentric circle or a nearly circular jMi winding are formed in the recording layer (4), thereby obtaining a chisel optical recording disk.
かかる従来の光学式記録ディスクの製造方法では、スタ
ンパ(2)を形成するための原盤(1)の溝(1a)を
レーザビームを用いて形成していたため、かかる原盤(
1)を用いてスタンパ(2)を形成し、このスタンパ(
2)によるスタンピングによって、基板(3)に、記録
層(4)に形成されるべき案内溝GVに応じた溝(3a
)を形成していたのでは、その案内溝GVを高精度に形
成することができなかった。In such a conventional optical recording disk manufacturing method, the grooves (1a) of the master (1) for forming the stamper (2) were formed using a laser beam.
1) to form a stamper (2), and this stamper (
2), grooves (3a
), it was not possible to form the guide groove GV with high precision.
かかる点に鑑み、本発明は光学式記録媒体の記録層に、
高積度の案内溝を容易に形成することのできる光学式記
録媒体の製造方法を提案しようとするものである。In view of this point, the present invention includes a recording layer of an optical recording medium,
The present invention attempts to propose a method for manufacturing an optical recording medium that can easily form guide grooves with a high density.
C問題点を解決するための手段〕
本発明による光学式5記録媒体の製造方法(、l:、基
体(3)又は(1)上にフォトレジスト層(6A)を被
着形成し、このフォトレジスト層(6A)を、光学式記
録媒体の記録層(4)に形成されるべき案内溝G■に応
じたパターンの光学マスク (7)を介して露光すると
共に現像処理して、基体く3)又は(1)上に案内溝G
Vに応じた溝(6a)を形成し、この溝(6a)に基づ
いて記録層(4)に案内溝GVを形成することを特徴と
するものである。Means for Solving Problem C] Method for manufacturing an optical recording medium according to the present invention (l: A photoresist layer (6A) is deposited on the substrate (3) or (1), and the photoresist layer (6A) is formed on the substrate (3) or (1). The resist layer (6A) is exposed to light through an optical mask (7) with a pattern corresponding to the guide grooves G to be formed in the recording layer (4) of the optical recording medium, and is developed and processed to form the substrate 3. ) or (1) guide groove G on top
A groove (6a) corresponding to V is formed, and a guide groove GV is formed in the recording layer (4) based on this groove (6a).
かかる本発明によれば、基体(3)又は(1)上にフォ
トレジストff1(6A)を被着形成し、このフォトレ
ジストFi(6A)を、光学マスク(7)を介して露光
すると共に現像処理して、基体(3)又は(1)上に案
内?X4GVに応じた溝(6a)を形成し、この溝(6
a)に基づいて記録層(4)に案内溝GVを形成する。According to the present invention, a photoresist ff1 (6A) is formed on the substrate (3) or (1), and this photoresist Fi (6A) is exposed to light through an optical mask (7) and developed. Processed and guided onto substrate (3) or (1)? A groove (6a) corresponding to X4GV is formed, and this groove (6a)
Guide grooves GV are formed in the recording layer (4) based on a).
以下に、第1図を参照して、本発明の一実施例を詳細に
説明しよう。基板(プラスチックから成る)(3)を用
意しく第1図A)、その表面にフォトレジスト層(6A
)を被着形成する(第1図B)。半導体製造用の露光装
置を用い、このフォトレジストm(6A)に対向する如
く、光学式記録ディスクの記録層に形成されるべきトラ
ッキングのための案内溝に応じたパターンを有する光学
マスク (7)を配し、この光学マスク(7)を介して
フォトレジスト7m(6A)を露光する(第1図C)。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. Prepare a substrate (made of plastic) (3) (Fig. 1A) and coat its surface with a photoresist layer (6A).
) is deposited (FIG. 1B). An optical mask using an exposure apparatus for semiconductor manufacturing and having a pattern corresponding to a guide groove for tracking to be formed in a recording layer of an optical recording disk so as to face this photoresist m (6A) (7) A photoresist 7m (6A) is exposed through this optical mask (7) (FIG. 1C).
Lはその露光のための光を示す。そして、このフッ・ト
レジスト層(6A)を現像処理して、その未硬化部分を
除去することにより、案内溝に応じた溝(6a)を有す
る、基板(3)の一部と成る層(6)を形成する(第1
図D)。この基板(3)及び層(6)の表面に亘って、
記録層(映像信号、音声信号、データ信号等の情報信号
が光学的に記録される記録1)(4)が被着形成される
(第1図E)。この記録層(4)上に保護層(5)を被
着形成して、光学式記録ディスクを得る(第1図F)。L indicates the light for the exposure. Then, this foot resist layer (6A) is developed and its uncured portions are removed to form a layer (6A) that becomes a part of the substrate (3) and has grooves (6a) corresponding to the guide grooves. ) to form (first
Figure D). Over the surface of this substrate (3) and layer (6),
A recording layer (recording 1 in which information signals such as video signals, audio signals, data signals, etc. are optically recorded) (4) is deposited (FIG. 1E). A protective layer (5) is formed on this recording layer (4) to obtain an optical recording disk (FIG. 1F).
か(して、記録層(4)に夫々同心円また円に近い渦巻
きの案内溝G■及びランド部LDが形成された光学式記
録ディスクが得られる。かかる実施例によれば、スタン
パを用いないで、記録層に高精度の案内溝の形成された
光学式記録ディスクを量産することができる。(Thus, an optical recording disk is obtained in which the recording layer (4) is formed with concentric or nearly circular spiral guide grooves G and land portions LD. According to this embodiment, no stamper is used. Thus, it is possible to mass-produce optical recording disks in which highly accurate guide grooves are formed in the recording layer.
次ぎに、第2図を参照して、本発明の他の実施例を説明
する。原盤(ガラス原盤)(1)を用意しく第2図A)
、その表面にフォトレジスト層(6A)を被着形成する
(第2図B)。半導体製造用の露光装置を用い、このフ
ォトレジスト層(6A)に対向する如(、光学式記録デ
ィスクの記S’ANに形成されるべきトラッキングのた
めの案内溝に応じたパターンを有する光学マスク(7)
を配し、この光学マスク(7)を介してフォトレジスト
層(6A)を露光する(第2図C)。Lは露光のための
光を示す。そして、このフォトレジスト層(6A)を現
像処理して、その未硬化部分を除去することにより、案
内溝に応じた溝(6a)を有する、原盤(1)の一部と
成る層(6)を形成する(第2図D)。この原盤(1)
及び層(6)の表面に亘って全屈にッケル)をメッキし
てスタンバ(2)を形成する(第2図E、F)。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Prepare the master disc (glass master disc) (1) (Fig. 2 A)
, a photoresist layer (6A) is deposited on its surface (FIG. 2B). Using an exposure apparatus for semiconductor manufacturing, an optical mask having a pattern corresponding to the guide groove for tracking to be formed in the recording S'AN of the optical recording disk is formed so as to face the photoresist layer (6A). (7)
The photoresist layer (6A) is exposed through this optical mask (7) (FIG. 2C). L indicates light for exposure. Then, by developing this photoresist layer (6A) and removing its uncured portion, a layer (6) that becomes a part of the master (1) is formed, which has grooves (6a) corresponding to the guide grooves. (Fig. 2D). This master (1)
and plating the entire surface of the layer (6) to form a stand bar (2) (FIGS. 2E and F).
この後は、上述の従来例と同様に、光学式記録ディスク
の基板(プラスチックから成る)(3)を用窓しく第3
図E)、これをスタンバ(2)でスタンプして、この基
板(3)の表面に、記録層に形成すべき案内溝に応じた
溝(3a)を形成する(第3図F)。この基板(3)の
表面に記録層(4)を被着形成しく第3図G)、その上
に保護層(プラスチックから成る)(5)を被着形成し
て、光学式記録ディスクを得る(第3図H)。かくして
、記録層(4)に夫々同心円また円に近い渦巻きの案内
iGV及びランド部LDが形成された光学式記録ディス
クが得られる。かかる実施例では、スタンバによって基
板をスタンピングすることによって、記録層に高精度の
案内溝の形成された光学式記録ディス々を量産すること
ができる。After this, similarly to the conventional example described above, the substrate (made of plastic) (3) of the optical recording disk is used for the third time.
This is stamped with a standber (2) to form grooves (3a) on the surface of the substrate (3) corresponding to the guide grooves to be formed in the recording layer (Fig. 3F). A recording layer (4) is deposited on the surface of this substrate (3) (Fig. 3G), and a protective layer (made of plastic) (5) is deposited thereon to obtain an optical recording disk. (Figure 3H). In this way, an optical recording disk is obtained in which the recording layer (4) is formed with a concentric circle or a nearly circular spiral guide iGV and a land portion LD, respectively. In this embodiment, optical recording disks having highly accurate guide grooves formed in the recording layer can be mass-produced by stamping the substrate using a stamper.
尚、本発明は光学式記録カードの製造方法にも適用する
ことができる。Incidentally, the present invention can also be applied to a method of manufacturing an optical recording card.
上述せる本発明によれば、光学式記録媒体の記録層に、
高精度の案内溝を容易に形成することのできる光学式記
録媒体の製造方法を得ることができる。According to the present invention described above, the recording layer of the optical recording medium includes:
It is possible to obtain a method for manufacturing an optical recording medium in which highly accurate guide grooves can be easily formed.
第1図及び第2図は夫々本発明の各実施例を示す工程図
、第3図は従来例を示す工程図である。
(3)及び(1)は夫々基体としての基板及び原盤、(
4)は記録層、(5)は保護層、(6)は基体の一部と
成る層、(6A)はフォトレジスト層、(6a)は溝、
(7)は光学マスクである。
第1図
第2図FIGS. 1 and 2 are process diagrams showing each embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a process diagram showing a conventional example. (3) and (1) are the substrate and master disc as the base, respectively, (
4) is a recording layer, (5) is a protective layer, (6) is a layer forming part of the base, (6A) is a photoresist layer, (6a) is a groove,
(7) is an optical mask. Figure 1 Figure 2
Claims (1)
スト層を、光学式記録媒体の記録層に形成されるべき案
内溝に応じたパターンの光学マスクを介して露光すると
共に現像処理して、上記基体上に上記案内溝に応じた溝
を形成し、該溝に基づいて上記記録層に案内溝を形成す
ることを特徴とする光学式記録媒体の製造方法。Forming a photoresist layer on a substrate, exposing the photoresist layer to light through an optical mask having a pattern corresponding to the guide groove to be formed in the recording layer of the optical recording medium, and developing the photoresist layer, A method for manufacturing an optical recording medium, characterized in that a groove corresponding to the guide groove is formed on the substrate, and a guide groove is formed in the recording layer based on the groove.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2318486A JPS62183047A (en) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | Production of optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2318486A JPS62183047A (en) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | Production of optical recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62183047A true JPS62183047A (en) | 1987-08-11 |
Family
ID=12103564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2318486A Pending JPS62183047A (en) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | Production of optical recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62183047A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008184928A (en) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Idle rotation control device and vehicle having this control device |
-
1986
- 1986-02-05 JP JP2318486A patent/JPS62183047A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008184928A (en) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Idle rotation control device and vehicle having this control device |
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