JPS62179749U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62179749U JPS62179749U JP1986146874U JP14687486U JPS62179749U JP S62179749 U JPS62179749 U JP S62179749U JP 1986146874 U JP1986146874 U JP 1986146874U JP 14687486 U JP14687486 U JP 14687486U JP S62179749 U JPS62179749 U JP S62179749U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- stage
- ink
- fine particles
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図は、本考案の一実施例の構成図である。
図において、１はステージ、２は孔、３は移動
台、４は孔、５は試料、８はインク噴射装置、９
は制御部、１０はテレビカメラ、１１はテレビモ
ニタである。
台、４は孔、５は試料、８はインク噴射装置、９
は制御部、１０はテレビカメラ、１１はテレビモ
ニタである。
Claims (1)
- 欠けによる欠陥を有するパターンを含む試料を
載置するステージと、欠陥パターン修正用インク
の微粒子を噴射するインク噴射装置とを備え、ス
テージ上に載置された前記試料の欠陥パターン部
分に前記インクの微粒子を噴射して欠けパターン
を修正することを特徴とした欠陥パターン修正装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986146874U JPS6328421Y2 (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986146874U JPS6328421Y2 (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62179749U true JPS62179749U (ja) | 1987-11-14 |
| JPS6328421Y2 JPS6328421Y2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=31059731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986146874U Expired JPS6328421Y2 (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6328421Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05188401A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-07-30 | Korea Electron Telecommun | 大型薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤ ｐａｎｅｌ）の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-25 JP JP1986146874U patent/JPS6328421Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05188401A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-07-30 | Korea Electron Telecommun | 大型薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤ ｐａｎｅｌ）の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6328421Y2 (ja) | 1988-08-01 |