JPS62177458A - Substrate inspection machine - Google Patents
Substrate inspection machineInfo
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- JPS62177458A JPS62177458A JP61018110A JP1811086A JPS62177458A JP S62177458 A JPS62177458 A JP S62177458A JP 61018110 A JP61018110 A JP 61018110A JP 1811086 A JP1811086 A JP 1811086A JP S62177458 A JPS62177458 A JP S62177458A
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- inspection
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- stage
- inspection stage
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業−にの利用分野]
この発明は、印刷回路基板または同様の基板(この明細
書では基板と総称する)のパターンなどの導通試験、絶
縁試験などを行う基板試験機」こ関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] This invention is applicable to a board test that performs a continuity test, an insulation test, etc. of a pattern on a printed circuit board or similar board (hereinafter collectively referred to as a board). Regarding the machine.
[従来の技術]
このような基板試験機の中には、基板の供給、排出を自
動化したものがある。従来のそのような自動化された基
板検査機にあっては、検査ステージへの基板の供給、検
査ステージでの基板の検査、検査ステージからの基板の
排出の各動作は、それぞれ独立にシーケンシャルに杼わ
れるようになっている。つまり、検査ステージに基板を
供給する段階では、検査ステージの検査動作および基板
搬出機構の動作は停屯しており、検査ステージで基板検
査が行われている間は基板の供給機構およびυF出機構
は停止しており、また検査ステージから基板をυI山中
には検査ステージも基板供給機構も動作を停+1:、し
ている。[Prior Art] Some of these board testing machines automate the feeding and discharging of boards. In such conventional automated board inspection machines, each operation of supplying the board to the inspection stage, inspecting the board on the inspection stage, and discharging the board from the inspection stage is performed independently and sequentially using a shuttle. It is becoming more and more popular. In other words, at the stage of supplying the substrate to the inspection stage, the inspection operation of the inspection stage and the operation of the substrate unloading mechanism are stopped, and while the substrate is being inspected on the inspection stage, the substrate supplying mechanism and the υF unloading mechanism are stopped. is stopped, and when the substrate is transferred from the inspection stage to the υI mountain, both the inspection stage and the substrate supply mechanism stop operating.
[解決しようとする問題点]
このような基板検査機にあっては、検査ステージにおけ
る基板の検査は非常に高速に行われるのに対し、基板の
供給および排出の動作にかなりの時間がかかっていた。[Problem to be solved] In such a board inspection machine, the board inspection on the inspection stage is performed at a very high speed, but it takes a considerable amount of time to feed and discharge the board. Ta.
その結果、検査ステージにおける基板検査速度を高速化
しても、基板の供給と排出にかかる時間のために全体的
な基板処理時間を充分に短縮することができなかった。As a result, even if the substrate inspection speed at the inspection stage is increased, the overall substrate processing time cannot be sufficiently shortened due to the time required for supplying and discharging the substrates.
[発明の目的]
したがって、この発明の目的は、基板の供給と排出を効
率化することによって、全体的な基板処理を高速化した
基板検査機を提供することにある。[Object of the Invention] Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate inspection machine that speeds up overall substrate processing by increasing the efficiency of supplying and discharging substrates.
[問題点を解決するための手段]
この目的を達成するために、この発明は、2個の基板保
持機構を有する搬送ユニットを基板搬送方向に往復移動
させることによって、検査ステージへの基板の供給およ
び前記検査ステージからの基板の排出を同時に行うとと
もに、前記検査ステージにおいて基板の検査中に前記搬
送ユニットの一方の基板保持機構へ次に検査すべき基板
を保持させるように基板検査機を構成するものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, the present invention provides a method for supplying substrates to an inspection stage by reciprocating a transfer unit having two substrate holding mechanisms in the substrate transfer direction. and the substrate inspection machine is configured to simultaneously discharge the substrate from the inspection stage and cause one substrate holding mechanism of the transport unit to hold the substrate to be inspected next while the substrate is being inspected on the inspection stage. It is something.
[作用コ
このように、基板の供給と排出が同時に行われ、また基
板の検査中に次に検査すべき基板が搬送ユニットに渡さ
れる。したがって、検査ステージへの基板の供給と検査
ステージからの基板の排出とを従来よりも短い時間で効
率的に行うことができ、また基板の供給と排出に伴う検
査動作の休止時間も短縮でき、その結果、全体的な基板
処理時間を短縮できる。[Operation] In this way, the substrates are fed and discharged at the same time, and during the inspection of the substrate, the next substrate to be inspected is transferred to the transport unit. Therefore, it is possible to efficiently supply the substrate to the inspection stage and discharge the substrate from the inspection stage in a shorter time than before, and also reduce the downtime of the inspection operation associated with supplying and discharging the substrate. As a result, the overall substrate processing time can be reduced.
[実施例]
以下、この発明の一実施例について図面を参照し説明す
る。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は、この発明による基板検査機の全体的構成を簡
略化して示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a simplified overall configuration of a board inspection machine according to the present invention.
この基板検査機は、供給エレベータ100、検査ステー
ジ200、収納エレベータ300.400、テスターユ
ニシト500、ピックアップ/プレースユニットBoo
、700、搬送ユニット800、制御ユニッl−900
、さらに図示されていないコンソールユニットなどから
構成されている。This board inspection machine includes a supply elevator 100, an inspection stage 200, a storage elevator 300, 400, a tester unit 500, a pickup/place unit Boo
, 700, transport unit 800, control unit l-900
, and a console unit (not shown).
供給エレベータ100は検査すべき印刷回路基板を多数
枚積み市ねて収容し、最上部の印刷回路基板の高さがほ
ぼ一定となるように印刷回路基板の減少につれて印刷回
路基板群を徐々に上昇させるものである。The supply elevator 100 accommodates a large number of printed circuit boards to be inspected, and gradually raises the group of printed circuit boards as the number of printed circuit boards decreases so that the height of the top printed circuit board remains approximately constant. It is something that makes you
ピックアップ/プレースユニット600は、供給エレベ
ータ100から印刷回路基板を1枚ずつピックアップし
、ロード位置まで運び搬送ユニット800に渡すもので
ある。The pick-up/place unit 600 picks up printed circuit boards one by one from the supply elevator 100, carries them to a loading position, and transfers them to the transport unit 800.
ピックアップ/プレースユニット700は、搬送ユニッ
ト800によってアンロード位置まで運ばれた検査済み
の印刷回路基板をピックアップし、それを収納エレベー
タ300または400の1ス1−まで運び、収納エレベ
ータ300または400に渡すものである。The pick-up/place unit 700 picks up the inspected printed circuit board carried by the transport unit 800 to the unloading position, carries it to the 1st slot of the storage elevator 300 or 400, and delivers it to the storage elevator 300 or 400. It is something.
収納エレベータ300,400はピックアップ/プレー
スユニット700から渡された検査済み基板を積み重ね
て収容するものであり、最上部の印刷回路基板がほぼ一
定の高さとなるように、印刷回路基板の収容枚数の増加
に従い徐々に印刷回路基板群を降下させるように作用す
る。なお、検査の結果、良品と判定された印刷回路基板
は収納エレベータ300に収納され、不良品と判断され
た印刷回路基板は収納エレベータ400に収納される。The storage elevators 300 and 400 stack and store inspected boards handed over from the pick-up/place unit 700, and the number of printed circuit boards accommodated is stacked so that the topmost printed circuit board is at a substantially constant height. It acts to gradually lower the printed circuit board group as the number increases. Note that as a result of the inspection, printed circuit boards determined to be non-defective are stored in the storage elevator 300, and printed circuit boards determined to be defective are stored in the storage elevator 400.
搬送ユニット800はロード側チャック部802とアン
ロード側チャック部806を持っており、各チャック部
はそれぞれ保持爪804,808を含む基板保持機構(
詳細は後述)を備えている。The transport unit 800 has a loading side chuck section 802 and an unloading side chuck section 806, and each chuck section has a substrate holding mechanism (including holding claws 804 and 808).
(Details will be described later).
搬送ユニツ)800は全体的に移動するようになってお
り、ロード側チャック部802が図示のロード位置にあ
る時には、アンロード側チャック部806は図示のよう
に検査ステージ200の中央部に来る。また、ロード側
チャック部802が検査ステージ200の中央部に移動
した時には、アンロード側チャック部806はアンロー
ド位置に移動する。The transport unit 800 is configured to move as a whole, and when the loading side chuck section 802 is at the loading position shown, the unloading side chuck section 806 comes to the center of the inspection stage 200 as shown. Furthermore, when the loading side chuck section 802 moves to the center of the inspection stage 200, the unloading side chuck section 806 moves to the unloading position.
この搬送ユニット800の役割は、ピ、ソクア。The role of this transport unit 800 is P. Sokua.
プ/プレースユニット600によりロード位置に運ばれ
た検査すべき印刷回路基板をロード側チャック部802
で受は取り、それを検査ステージ200の中央部まで搬
送し、検査ステージ200に渡す働きと、検査ステージ
200から検査済みの印刷回路基板をアンロード側チャ
ック部806で受は取り、アンロード位置まで運びピ・
ンクア、ツブ/プレースユニット700に渡すことであ
る。The printed circuit board to be inspected, which has been transported to the load position by the pull/place unit 600, is placed in the load-side chuck section 802.
The receiver picks up the printed circuit board, transports it to the center of the inspection stage 200, and passes it to the inspection stage 200. The receiver picks up the inspected printed circuit board from the inspection stage 200 with the unload side chuck section 806, and moves it to the unloading position. Carry it up to
The next step is to pass it to the tube/place unit 700.
検査ステージは、テスターユニット800と協動して印
刷回路基板の導通検査または絶縁検査を実行するもので
ある。より詳細には、この検査ステージ200は、搬送
ユニット800によって中央部に運ばれて来た印刷回路
基板を位置決めして受は取り、それをブローバボード2
20の下面側に植設されている多数のプローブピンに押
し付け、プローブピンを介して印刷回路基板のテストポ
イントをテスターユニット800と電気的に接続して検
査を実行し、印刷回路基板の検査が完了すると、その印
刷回路基板を搬送ユニット800に渡すように動作する
。The inspection stage cooperates with the tester unit 800 to perform a continuity test or an insulation test on the printed circuit board. More specifically, this inspection stage 200 positions and picks up the printed circuit board carried to the center by the transport unit 800, and transfers it to the blower board 2.
The test point of the printed circuit board is electrically connected to the tester unit 800 through the probe pins, and the test point of the printed circuit board is electrically connected to the tester unit 800 to perform the test. Once completed, it operates to pass the printed circuit board to transport unit 800.
検査ステージ200は、ブローバボード220、印刷回
路基板の位置決め受は取りのためのサブリフタ210と
、それに設けられたストッパピン212、印刷回路基板
をプローブピンに押し付けるためのプレスエレベータ2
16、このプレースエレベータ216にサブリフタ21
0を前後に移動できるように支持するためのスライドテ
ーブル214などから構成されている。図においては、
スライドテーブル214は手前側に引き出されているが
、搬送ユニット800によって印刷回路基板を自動的に
供給、排出する場合には、スライドテーブル214は押
し込まれている。印刷回路基板を人手によって供給する
場合だけ、スライドテーブル214は図示のように引き
だされる。The inspection stage 200 includes a blower board 220, a sub-lifter 210 for positioning the printed circuit board, a stopper pin 212 provided thereon, and a press elevator 2 for pressing the printed circuit board against the probe pins.
16. Sub-lifter 21 is installed in this place elevator 216.
It is comprised of a slide table 214 for supporting 0 so that it can be moved back and forth. In the figure,
The slide table 214 is pulled out toward the front, but when the printed circuit board is automatically fed and discharged by the transport unit 800, the slide table 214 is pushed in. Only when manually feeding printed circuit boards is the sliding table 214 pulled out as shown.
テスターユニット500は、印刷回路基板の導通検査ま
たは絶縁検査のための電子回路を含み、また検査結果デ
ータの処理、記憶などのためのデータ処理を司るもので
ある。The tester unit 500 includes an electronic circuit for testing continuity or insulation of a printed circuit board, and also handles data processing for processing and storing test result data.
制御ユニット900は、基板検査機の各部の機構などの
動作、全体的動作シーケンスの制御などを行うものであ
る。そのような制御のために、テスターユニット500
から検査路r1検査結果などの情報が制御ユニット90
0に報告され、また各部に設けられているセンサ(図示
せず)からの検出信号も制御ユニット900に入力され
、制御に利用される。The control unit 900 controls the operation of the mechanisms of each part of the board inspection machine and the overall operation sequence. For such control, tester unit 500
The control unit 90 receives information such as the inspection path r1 inspection results from the control unit 90.
0, and detection signals from sensors (not shown) provided in each part are also input to the control unit 900 and used for control.
次に、この基板検査機の全体的動作を説明する。Next, the overall operation of this board inspection machine will be explained.
(動作段階1)
搬送ユニット800は図示ように左側に移動され、ロー
ド側チャック部802はロード位置に位置付けられ、ア
ンロード側チャック部806は検査ステージ200の中
央部(サブリフタ210の真上位置)に来る。(Operation step 1) The transport unit 800 is moved to the left side as shown in the figure, the loading side chuck section 802 is positioned at the loading position, and the unloading side chuck section 806 is positioned at the center of the inspection stage 200 (directly above the sub-lifter 210). I come to.
(動作段階2)
供給エレベータ100に多数枚積み重ねられて収容され
ている印刷回路基板の最上部の一枚がピックアップ/プ
レースユニット600によって取り上げられ、それがロ
ード位置まで右側に運ばれてロード側チャック部802
に渡される。この動作と並行して、検査ステージ200
で印刷回路基板の検査が実行されている。印刷回路基板
を搬送ユニット800に渡したピックアップ/プレース
ユニット600は、次の基板の取り上げのために供給エ
レベータ100の真り位置まで戻る(図示の1犬態)。(Operation step 2) The topmost sheet of printed circuit boards stored in stacks in the supply elevator 100 is picked up by the pick-up/place unit 600, carried to the right side to the loading position, and placed in the loading chuck. Section 802
passed to. In parallel with this operation, the inspection stage 200
Inspection of printed circuit boards is being performed. The pick-up/place unit 600, which has passed the printed circuit board to the transport unit 800, returns to the vertical position of the supply elevator 100 to pick up the next board (1 dog position shown).
(動作段階3)
検査ステージ200において検査中の印刷回路基板の検
査が終了すると、プレスエレベータ218が下降する。(Operation Step 3) When the inspection of the printed circuit board under inspection on the inspection stage 200 is completed, the press elevator 218 descends.
プレスエレベータ216の下降完了後または下降途中で
サブリフタ210が上昇させられ、最終的に検査済み印
刷回路基板は基板搬送高さに停止する。そして、その印
刷回路基板は搬送ユニット800のアンロード側チャッ
ク部806に渡され、その後、サブリフタ210は降下
する。After the press elevator 216 completes its descent or during its descent, the sub-lifter 210 is raised, and the inspected printed circuit board is finally stopped at the board transport height. Then, the printed circuit board is transferred to the unload side chuck section 806 of the transport unit 800, and then the sub-lifter 210 is lowered.
(動作段階4) 搬送ユニット800が図中右方向に移動する。(Operation stage 4) The transport unit 800 moves rightward in the figure.
アンロード側チャック部806がサブリフタ210上を
通過した直後に、サブリフタ210のストッパピン21
2が基板搬送高さ以」二に上昇する。Immediately after the unload side chuck part 806 passes over the sub-lifter 210, the stopper pin 21 of the sub-lifter 210
2 rises above the substrate transport height.
搬送ユニッ)800の移動によってチャック部802に
保持された印刷回路基板の先端(図では右端)がストッ
パピン212に係11−され、搬送方向(図中では左右
方向)の位置決めがなされる。チャック部802がサブ
リフタ210の真トまで移動すると、搬送ユニット80
0は停止する。アンロード側チャック部806はアンロ
ード位置に来る。サブリフタ210が上昇し、それに突
設されている位置決めピン(図示せず)が印刷回路基板
の位置決め穴に嵌入し、印刷回路基板の最終的な位置決
めがなされる。この位置決めの後、チャック部802の
保持爪804が開かれ、印刷回路基板はサブリフタ21
0の」二面に載置される。この後、サブリフタ210お
よびストッパピン212が下降する。As the transport unit 800 moves, the leading end (right end in the figure) of the printed circuit board held by the chuck part 802 is engaged with the stopper pin 212, thereby positioning it in the transport direction (horizontal direction in the figure). When the chuck part 802 moves to the bottom of the sub-lifter 210, the transport unit 80
0 stops. The unload side chuck part 806 comes to the unload position. The sub-lifter 210 is raised, and a positioning pin (not shown) protruding therefrom is fitted into a positioning hole in the printed circuit board, thereby final positioning of the printed circuit board. After this positioning, the holding claws 804 of the chuck part 802 are opened, and the printed circuit board is placed on the sub-lifter 21.
It is placed on two sides of 0. After this, the sub-lifter 210 and the stopper pin 212 are lowered.
このような動作と並行して、アンロード位置に来ている
ピックアップ/プレースユニット700にアンロード側
チャック部806から検査済み印刷回路基板が渡される
。この印刷回路基板は、それが良品ならば収納エレベー
タ300へ、また不良品ならば収納エレベータ400へ
、ピックアップ/プレースユニット700によって運ば
れ収納される。In parallel with this operation, the inspected printed circuit board is passed from the unload side chuck section 806 to the pick-up/place unit 700 that has come to the unload position. This printed circuit board is carried by the pick-up/place unit 700 to the storage elevator 300 if it is a good product, and to the storage elevator 400 if it is a defective product and stored therein.
このような動作段階1〜4を順次繰り返すことにより、
印刷回路基板の検査が連続的に天秤される。By sequentially repeating such operation steps 1 to 4,
Tests of printed circuit boards are continuously weighed.
なお、前述の各動作段階における各部の動作制御、各動
作段階の順序制御などは制御ユニット900によって行
われる。このような制御ユニット900は、当業者であ
れば、ここまでの説明に基づきマイクロコンピュータな
どを用いて容易に実現できるであろうから、その具体的
構成例は呈示しない。Note that the control unit 900 controls the operation of each part in each of the above-mentioned operation steps, and controls the order of each operation step. A person skilled in the art would be able to easily realize such a control unit 900 using a microcomputer or the like based on the explanation thus far, so a specific example of its configuration will not be presented.
以上説明したように、検査ステージ200において印刷
回路基板の検査が行われている間に、次に検査すべき印
刷回路基板が搬送ユニット800にロードされる。また
、検査ステージからの印刷回路基板の排出と検査ステー
ジへの印刷回路基板の供給とが同時的に行われる。この
ように、印刷回路基板の供給、排出が無駄なく効率的に
行われ、そのための実質的な時間が短縮するとともに、
印刷回路基板の供給と排出に伴う検査ステージにおける
検査動作の中断時間も減少する。その結果、基板検査機
による全体的な印刷回路基板処理速度が向上する。As described above, while the printed circuit board is being inspected on the inspection stage 200, the next printed circuit board to be inspected is loaded onto the transport unit 800. Further, the ejection of the printed circuit board from the inspection stage and the supply of the printed circuit board to the inspection stage are performed simultaneously. In this way, the feeding and discharging of printed circuit boards is carried out efficiently without waste, and the time required for this process is substantially shortened.
The downtime of test operations at the test stage due to the loading and unloading of printed circuit boards is also reduced. As a result, the overall printed circuit board processing speed by the board inspection machine is increased.
第2図は、搬送ユニット800の構成を示す概略平面図
である。各チャック部802,806の基板保持機構は
可動枠810に組付けられている。FIG. 2 is a schematic plan view showing the configuration of the transport unit 800. The substrate holding mechanism of each chuck part 802, 806 is assembled to a movable frame 810.
可動枠810は、案内ローラ811が回転自在に取り付
けられており、基板搬送方向に延在する2禾のレール8
12を案内ローラ811によって上下から挟みつつ基板
搬送方向に移動可能となっている。A guide roller 811 is rotatably attached to the movable frame 810, and two rails 8 extend in the substrate transport direction.
12 is sandwiched from above and below by guide rollers 811 and can be moved in the substrate transport direction.
813は搬送ユニット800を全体として基板搬送方向
に移動させるためのロッドレスシリンダであり、その両
端は固定部材814,815によって固定されている。813 is a rodless cylinder for moving the transport unit 800 as a whole in the substrate transport direction, and both ends thereof are fixed by fixing members 814 and 815.
ロッドレスシリンダ813の可動部分であるジヨイント
部816は、可動枠810の横ビーム817にユニット
ジヨイント818を介して結合されている。A joint portion 816, which is a movable portion of the rodless cylinder 813, is coupled to a horizontal beam 817 of the movable frame 810 via a unit joint 818.
ロード側チャック部802の基板保持機構について説明
すれば、前記保持爪804は3個ずつ可動板820,8
21に固着されている。この可動板820,821は可
動枠810と横ビーム817.822に固定されたガイ
ド軸823,824に案内されて前後(図中、−Lド)
に移動可能に支持されている。825は保持爪804を
開閉させるためのロータリアクチュエータであり、その
回転軸にはピニオン826が固着されている。このピニ
オン826には上下2本の丸ラック826゜827が噛
合している。下側の丸ラック828の一端は可動板82
0と固着され、」二側の丸ラック827の一端は可動板
821と固着されている。To explain the substrate holding mechanism of the load-side chuck section 802, the holding claws 804 have three movable plates 820, 8
It is fixed to 21. The movable plates 820 and 821 are guided by guide shafts 823 and 824 fixed to the movable frame 810 and the horizontal beams 817 and 822, and are moved back and forth (-L in the figure).
movably supported. 825 is a rotary actuator for opening and closing the holding claw 804, and a pinion 826 is fixed to its rotation shaft. Two upper and lower round racks 826 and 827 are engaged with this pinion 826. One end of the lower round rack 828 is the movable plate 82
One end of the round rack 827 on the second side is fixed to the movable plate 821.
したがって、ロークリアクチュエータ825を一方の向
きに回転させれば、保持爪804は一斉に内側に移動し
、印刷回路基板(鎖線829または830)を保持する
状態になる。ロークリアクチュエータ825を逆向きに
回転させれば、保持爪804は一斉に外側へ移動し、非
保持状態となる。Therefore, when the row reactuator 825 is rotated in one direction, the holding claws 804 move inward all at once, and are in a state of holding the printed circuit board (dashed line 829 or 830). When the row reactuator 825 is rotated in the opposite direction, the holding claws 804 move outward all at once, and are brought into a non-holding state.
ここで、右側の隣接する保持爪804の間隔は、最小の
印刷回路基板(830)の長さより狭くなっており、両
端の保持爪804の間隔は最大の印刷回路基板(829
)の長さより短くなっている。Here, the distance between adjacent holding claws 804 on the right side is narrower than the length of the smallest printed circuit board (830), and the distance between the holding claws 804 at both ends is smaller than the length of the largest printed circuit board (829).
) is shorter than the length of
したがって、最大の印刷回路基板から最小の印刷回路基
板まで、少な(とも2対の保持爪804によって安定に
保持できる。Therefore, from the largest printed circuit board to the smallest printed circuit board can be stably held by a small number of pairs of holding claws 804.
アンロード側チャック部806の基板保持機構も同様の
機構であり、保持爪808を3個ずつ可動板838,8
37に固着し、この可動板836゜837をガイド軸8
38,839に案内させて前後に移動可能に支持し、ロ
ータリアクチュエータ840によってピニオン841と
上下2本の丸ラック842,843を介し保持爪808
を一斉に内外に移動させるようになっている。保持爪8
08の間隔も同様である。The substrate holding mechanism of the unload side chuck section 806 is also similar, and three holding claws 808 are attached to the movable plates 838 and 838, respectively.
37, and move this movable plate 836°837 to the guide shaft 8.
38, 839 and is supported so as to be movable back and forth, and the holding claw 808 is supported by a rotary actuator 840 via a pinion 841 and two upper and lower round racks 842, 843.
are moved in and out all at once. Holding claw 8
The same applies to the interval 08.
ここで、保持爪804,808の先端部は第3図に示す
ように内側に開いた略V字形断面形吠となっており、印
刷回路基板は鎖線850に示すように保持される。Here, the tips of the holding claws 804 and 808 have a generally V-shaped cross section that opens inward as shown in FIG. 3, and the printed circuit board is held as shown by a chain line 850.
以。1−1一実施例について説明したが、この発明はそ
れだけに限定されるものではな(、この発明の要旨を逸
脱しない範囲内で、各部機構の構造、動作制御などにつ
いて様々な変形が許されるものである。More. 1-1 Although one embodiment has been described, the present invention is not limited thereto (various modifications may be made to the structure of each part mechanism, operation control, etc. without departing from the gist of the present invention). It is.
また、この発明は、印刷回路基板のパターンの形状検査
などを好う基板検査機についても同様に適用し得るもの
である。Further, the present invention can be similarly applied to a board inspection machine that likes to inspect the shape of a pattern on a printed circuit board.
さらに、この発明は印刷回路基板以外の板吠物の検査、
穴明けなどを行う機械にも応用可能なものである。Furthermore, this invention can inspect board materials other than printed circuit boards.
It can also be applied to machines that perform things such as drilling holes.
[発明の効果]
以−り説明したように、この発明は、2個の基板保持機
構をイTする搬送ユニットを基板搬送方向に往復移動さ
せることによって、検査ステージへの基板の供給および
前記検査ステージからの基板の排出を同時に行うととも
に、前記検査ステージにおいて基板の検査中に前記搬送
ユニットの一方の基板保持機構へ次に検査すべき基板を
保持させものであるから、検査ステージへの基板の供給
と検査ステージからの基板の排出とを従来よりも短い時
間で効率的に行うことができ、また基板の供給と排出に
伴う検査動作の休止時間も短縮でき、その結果、全体的
な基板処理速度を向上した基板検査機を実現できるもの
である。[Effects of the Invention] As explained below, the present invention can supply the substrate to the inspection stage and perform the inspection by reciprocating the transfer unit that holds two substrate holding mechanisms in the substrate transfer direction. At the same time, the substrate is discharged from the stage, and one substrate holding mechanism of the transport unit is used to hold the next substrate to be inspected while the substrate is being inspected on the inspection stage. Feeding and ejecting substrates from the inspection stage can be performed more efficiently in a shorter time than before, and downtime in inspection operations associated with substrate feeding and ejection can also be reduced, resulting in faster overall substrate processing. This makes it possible to realize a board inspection machine with improved speed.
第1図は、この発明による基板検査機の一実施例の全体
的構成を簡略化して示す概略斜視図、第2図は同基板検
査機の搬送ユニットの概略平面図、第3図は搬送ユニッ
トの保持爪の先端部の断面形状を示す断面図である。
100−・・供給エレベータ、200・・・検査ステー
ジ、300,400・・・収納エレベータ、500・・
・テスターユニット、600・・・ロード側ピックアッ
プ/プレースユニット、700・・・アンロード側ピッ
クアップ/プレースユニット、800・・・搬送ユニッ
ト、802・・・ロード側チャック部、806・・・ア
ンロード側チャック部、813・・・ロットレスシリン
ダ、825.840・・・ロータリアクチュエータ、8
27,828,842,843・・・丸ラック、900
・・・制御ユニット。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a simplified overall configuration of an embodiment of a board inspection machine according to the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view of a transport unit of the board inspection machine, and FIG. 3 is a transport unit. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the cross-sectional shape of the tip of the holding claw. 100--Supply elevator, 200--Inspection stage, 300,400--Storage elevator, 500--
- Tester unit, 600... Load side pickup/place unit, 700... Unload side pickup/place unit, 800... Transport unit, 802... Load side chuck section, 806... Unload side Chuck part, 813... Rotless cylinder, 825.840... Rotary actuator, 8
27,828,842,843...Round rack, 900
···Controller unit.
Claims (2)
搬送方向に往復移動させることによって、検査ステージ
への基板の供給および前記検査ステージからの基板の排
出を同時に行うとともに、前記検査ステージにおいて基
板の検査中に前記搬送ユニットの一方の基板保持機構へ
次に検査すべき基板を保持させることを特徴とする基板
検査機。(1) By reciprocating a transfer unit having two substrate holding mechanisms in the substrate transfer direction, the substrates are simultaneously supplied to the inspection stage and the substrates are discharged from the inspection stage. A substrate inspection machine characterized by causing one of the substrate holding mechanisms of the transport unit to hold a substrate to be inspected next during the inspection.
それぞれ前記基板ロード位置および検査ステージへ移動
させる動作段階と、基板の検査が前記検査ステージにて
行われるとともに新しい検査すべき基板が前記第1の基
板保持機構に渡される動作段階と、前記検査ステージか
ら検査が済んだ基板が前記第2の基板保持機構に渡され
る動作段階と、前記第1および第2の基板保持機構がそ
れぞれ前記検査ステージおよび基板アンロード位置に移
動させられて保持している基板を離す動作段階と、を順
次繰り返すことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の基板検査機。(2) an operation step in which the first and second substrate holding mechanisms of the transport unit are moved to the substrate loading position and the inspection stage, respectively, and a substrate is inspected on the inspection stage and a new substrate to be inspected is transferred to the inspection stage; an operation step in which the inspected substrate is transferred from the inspection stage to the second substrate holding mechanism; and an operation step in which the inspected substrate is transferred from the inspection stage to the second substrate holding mechanism; 2. The substrate inspection machine according to claim 1, wherein the operation step of moving the inspection stage and the substrate to the substrate unloading position and releasing the held substrate is repeated in sequence.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61018110A JPS62177458A (en) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | Substrate inspection machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61018110A JPS62177458A (en) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | Substrate inspection machine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62177458A true JPS62177458A (en) | 1987-08-04 |
Family
ID=11962473
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61018110A Pending JPS62177458A (en) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | Substrate inspection machine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62177458A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62150677U (en) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61018110A patent/JPS62177458A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62150677U (en) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 |
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