JPS62174212U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62174212U JPS62174212U JP6276386U JP6276386U JPS62174212U JP S62174212 U JPS62174212 U JP S62174212U JP 6276386 U JP6276386 U JP 6276386U JP 6276386 U JP6276386 U JP 6276386U JP S62174212 U JPS62174212 U JP S62174212U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- light source
- photodetector
- measured
- different surfaces
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る微小間隙測定装置の一実
施例を示す構成ブロツク図、第２図および第３図
は第１図装置の動作を説明するためのフローチヤ
ート、第４図は微小間隙測定装置の従来の一例を
示す構成ブロツク図、第５図は浮上量と反射光強
度のピークの関係を示す特性曲線図、第６図は不
均一光源の強度分布の一例を示す図、第７図は均
一な光源と不均一な光源を使用したときの反射光
強度分布の違いを示す特性曲線図。 ２……ガラスデイスク、３……ヘツド、４……
光源、９……光検出器、１０……フレームメモリ
、１２……計算機、１３……モータドライバ、１
４……モノクロメータ、２０……ソレノイド、２
１……メモリ、２２……補正手段。
施例を示す構成ブロツク図、第２図および第３図
は第１図装置の動作を説明するためのフローチヤ
ート、第４図は微小間隙測定装置の従来の一例を
示す構成ブロツク図、第５図は浮上量と反射光強
度のピークの関係を示す特性曲線図、第６図は不
均一光源の強度分布の一例を示す図、第７図は均
一な光源と不均一な光源を使用したときの反射光
強度分布の違いを示す特性曲線図。 ２……ガラスデイスク、３……ヘツド、４……
光源、９……光検出器、１０……フレームメモリ
、１２……計算機、１３……モータドライバ、１
４……モノクロメータ、２０……ソレノイド、２
１……メモリ、２２……補正手段。
Claims (1)
- 単色光源と、この単色光源からの出力光を被測
定物に導く光学系と、前記被測定物の異なる２面
からの反射光の強度を測定する光検出器を有し、
前記光検出器の出力波長特性分布から前記異なる
２面の間隙を測定する微小間隙測定装置において
、前記単色光源の出力光の空間強度分布をあらか
じめ測定し、前記光検出器の出力を前記単色光源
の出力光の強度分布で補正するように構成したこ
とを特徴とする微小間隙測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276386U JPS62174212U (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276386U JPS62174212U (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62174212U true JPS62174212U (ja) | 1987-11-05 |
Family
ID=30897350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6276386U Pending JPS62174212U (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62174212U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59225308A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-18 | Hitachi Ltd | 微小間隔測定装置 |
| JPS60124823A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | Hitachi Ltd | エツチング・モニタ方法 |
| JPS60131408A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-13 | Hitachi Ltd | 微小隙間測定装置 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP6276386U patent/JPS62174212U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59225308A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-18 | Hitachi Ltd | 微小間隔測定装置 |
| JPS60124823A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-03 | Hitachi Ltd | エツチング・モニタ方法 |
| JPS60131408A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-13 | Hitachi Ltd | 微小隙間測定装置 |