JPS62163709U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62163709U JPS62163709U JP5342686U JP5342686U JPS62163709U JP S62163709 U JPS62163709 U JP S62163709U JP 5342686 U JP5342686 U JP 5342686U JP 5342686 U JP5342686 U JP 5342686U JP S62163709 U JPS62163709 U JP S62163709U
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- JP
- Japan
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- sheet
- reflecting mirror
- light
- irradiation
- concave reflecting
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案実施例装置を示す斜視図、第２
図は第１図の本考案実施例装置の部分構成図、第
３図は本考案実施例装置の動作を説明する説明図
、第４図は従来装置の基本構成を示す説明図、第
５図は従来装置の構成図である。 ６……フイルム、１１……光源、１２，１６…
…レンズ、２０……照射部、２１……検出部、２
２……駆動部、２３……分光器、２４……リニア
アレイセンサ、２５……データ処理部。
図は第１図の本考案実施例装置の部分構成図、第
３図は本考案実施例装置の動作を説明する説明図
、第４図は従来装置の基本構成を示す説明図、第
５図は従来装置の構成図である。 ６……フイルム、１１……光源、１２，１６…
…レンズ、２０……照射部、２１……検出部、２
２……駆動部、２３……分光器、２４……リニア
アレイセンサ、２５……データ処理部。
Claims (1)
- 透明シート状物体を挾んで、一方側に配置され
、このシート状物体と略等しい鏡径を有する凹面
反射鏡と、前記シート状物体の他方側に配置され
、白色光を前記シート状物体に照射する照射部と
、この照射部と一体に形成され、分光手段並びに
この分光手段で分光された波長スペクトルを検出
するリニアアレイセンサを有する検出部とを設け
、前記照射部及び前記検出部を前記凹面反射鏡の
球心部分に配置し、これらを首振り回転させ前記
照射部からの照射光を前記シート状物体の全幅に
亘つて走査し、この照射光に基づき、前記シート
状物体を透過した前記照射光を前記凹面反射鏡で
反射させ、再び前記シート状物体を透過した反射
光を前記検出部に導き、前記分光手段で分光し、
前記リニアアレイセンサに結像された干渉縞の波
長から前記シート状物体の厚さを求めるようにし
たシート状物体の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5342686U JPH0419456Y2 (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5342686U JPH0419456Y2 (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62163709U true JPS62163709U (ja) | 1987-10-17 |
| JPH0419456Y2 JPH0419456Y2 (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=30879478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5342686U Expired JPH0419456Y2 (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419456Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP5342686U patent/JPH0419456Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419456Y2 (ja) | 1992-05-01 |