JPS62155384A - 流体制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、流４の流入側の圧力が変化しても流出側から
の流量あるいは圧力損失を、一定に又は成る制限範囲内
に制御できるようにした流体制御装置に関する。

従来の技術 従来、規定のｔｉｌ量と圧力のｍｌ係を維持するため、
数種の流体制御装置を組合わせ、且つ電気的なフィード
バック方式で制御する装置があるが、制御が複雑であり
、−個所故障すると全体のバランスがくずれ、管理が難
かしい０例えば、流体供給装置を使用して流体をある装
置に供給する場合、流体供給源側が不安定であったり故
障等が生じると供給する流体の圧力が変化し、規定量の
流体をある装置に供給できなくなる。

このような場合、流量を規定量に維持できるようにする
ため、流体を供給する管路にリリーフ弁を設けて流量や
圧力が大きくなり過ぎるのを防止したり、あるいは別の
流体供給装置と圧力補償弁を設けて流量や圧力の減少を
防止している。

発明が解決しようとする問題点 従来のようにリリーフ弁や圧力補償弁を使用して、流量
や圧力を規定量に制御しようとしても流量や圧力を正確
にに保つことが困難であり、また装置が複雑化、大型化
するなどの問題があった。

問題点を解決するための手段 第１の発明は、シリンダ内周を大径部と小径部に形成し
、小径部内に抵抗調節体をシリンダの軸方向に摺動可能
に嵌合し、シリンダの大径部側に流入口、小径部側に流
出口を設ける。シリンダ小径部の内周と抵抗調節体の外
周との間に螺線溝を設け、流体がこの螺線溝を通ること
により安定した圧力損失を受けられるようにする。抵抗
調節体は、流体圧により抵抗調節体に生じる力に対抗し
て弾性部材により付勢され、この弾性部材の弾性力は調
節装置により所定流量となるように調節できるようにな
っている。

第２の発明は、前記シリンダと抵抗調節体とからなる流
体絞り構造を軸方向に２つ組合わせたものである。この
場合、各抵抗調節体はシャフトで連結されるとともに、
シャフトに設けた通路を介して両シリンダ内が連通され
て、流体に抵抗が多段に与えられるようになっている。

第３の発明は、前記シリンダと円筒形の抵抗調節体を組
合わせ、抵抗調節体の内径側にも螺線溝と隙間がある多
ｆｆｉ構造とした。そして装置の長さを短くし、流体に
抵抗を多段に与えられるようにした。

作用 上記手段の流体制御装置において、流入口と流出口の向
き、シリンダ大径部と小径部の向きはどの様な組合わせ
であっても、最終的に抵抗調節体にかかる力の向きに対
抗する方向に弾性部材が組込まれている時、ある有効ラ
ビリンス長さくシリンダ小径部内での螺線溝の長さ）の
位置でカの均衡がとれている状態では、流体は螺線溝お
よびシリンダ内周面と抵抗調節体との隙間を流れること
により、ラビリンス有効長さに応じた圧力損失を安定に
生じる。この場合、本発明者の先の出願（特願昭８０−
２４８７４７号）に示したように圧力損失Δｐは、流量
をＱとし、ラビリンス長さく抵抗調節体のシリンダ小径
部内での長さ）をＲとし、螺線溝の形状により定まる係
数をＫ、γとすると、Δｐ＝に−Ｒ−Ｑ％関係がある。

流入口から入る流体圧力が大きくなった場合。

シリンダ内の抵抗調節体は弾性部材を圧縮して移動し、
抵抗調節体のシリンダ小径部内での長さを変化するとと
もに弾性部材の弾性力を大きくするよって有効ラビリン
ス長さが変化するので、それに比例して流れ抵抗が変化
し、すなわち固定式ラビリンスでは得られないΔｐとＱ
の関係が得られる。特に圧力損失の増大に比例して有効
ラビリンスが長くなる組合わせにおいて、圧力損失の変
化に無関係に流量が一定となる弾性部材の弾性係数が決
定できる。また逆に圧力損失の増大に逆比例して有効ラ
ビリンスが短くなる組合わせにおいては、弾性部材の弾
性係数をＯに近ずけることにより、流量の変化に無関係
に圧力損失の変化を極めて小さくすることが出来る。こ
の様に圧力損失Δｐと流量Ｑの関係をΔｐ−Ｑ曲線図に
おいてどのようなモードにも製造することが可能である
。

またシリンダと抵抗調節体とからなる構成を２つあるい
は多段に組合せた場合も、自動的に予め設定されたΔｐ
−Ｑのモードで圧力損失と流量の関係を保持する。

実施例 本発明の第１実施例を第１図により説明する。

シリンダｌの内周は大径部１ａと小径部１ｂとからなり
、大径部に流体の流入口２が設けられ、小径部に流出口
３が設けられる。シリンダ小径部の内径に近い外径の抵
抗調節体４が嵌合され、抵抗調節体の外周にａ線溝５が
設けられ、螺線溝５゜及び抵抗調節体４外周とシリンダ
小径部１ｂ内壁との間の隙間とを介して流体圧力を安定
に低下させるようになっている。なお、螺線溝５の断面
形状は丸、三角、四角等どのような形状でも可能であり
、漸次断面積が変わるものでもよい、また螺線溝５を抵
抗２ｇＩＩ！ｉ体４に設ける代りにシリンダ小径部の内
周面に設けてもよく、あるいは抵抗調節体の外周にコイ
ルを巻いてコイル間隙間を螺線溝としてもよい、さらに
抵抗調節体４を複数個の輪切りから構成し、それらを連
結することにより外周に螺線溝を形成するようにしても
よい。

抵抗調節体４は流入側端面に軸方向のピン穴を有し、シ
リンダ側に固定したビン６がビン穴に摺動回部に嵌合し
て、抵抗Ｘｇ１節体４が回転しないようになっている。

また抵抗調節体４の流入側端壁を貫通する通孔を設け、
螺線溝部での製作誤差を調整させることもできる。

抵抗調節体４の小径部側端面とシリンダ端壁との間にス
プリング７を配置し、流体圧により抵抗調節体に生じる
力に対抗して、抵抗調節体４をシリンダの流出側から流
入側に付勢するようになっている。そしてスプリング７
の弾性係数は、流量一定となるように以下の式（７）゛
の値に設定される。なお、スプリング７の弾性力は１弾
性力調節装置８により調節可能となっており、弾性力調
節装置はスプリング７との螺合位置に応じてスプリング
のりｌ性係数及びたわみ長さが変更されるようになって
いる。

ここで理想的に流量が一定で安定する場合のスプリング
７の弾性係数の設定条件を、計算式により説明する。

前記の通り、流体制御装置の螺線溝を通る流体の圧力損
失Δｐは１次の関係式となる。

ΔＰ　＝　Ｋ　”　Ｒ’　Ｑ’−−−−−一−−（１）
成る釣り合っている状態で抵抗調節体の流入側端面に作
用する力Ｆｌは、スプリングの初期変移量を１、可動ス
トロークをΔ１　（＝ΔＲ）、圧力損失をΔｐ、流量を
Ｑｌ、流体圧をｐｔ、抵抗調節体の直径をｄとすると、 ＦＩ＝　＋　Ｐｉ　（π／　４　’）　ｄ　’　　　−
−−−（２）抵抗調節体の流出側端面に作用するカＦ２
は、スプリングの弾性係数をｋｓ、　スプリングの変位
を１とすると、 Ｆ２＝　　ｋｓ　　　−１＋　　　（ＰＩ　−Δ　ｐ）
　　　（ｆｆ　　／　４）　　　ｄｉ抵抗調節体に作用
する力はつり合っていることがらＦ１＋Ｆ２＝Ｏであり
（２）　、　（３）から−ＰＩ　（π／　４）　ｄ”　
＋　ｋｓ　１１１　＋　（Ｐｉ−Δｐ）（π／　４　）
　ｄ　”　＝　０　　　　　−−−−−−（４）（０式
に（り式を代入して ｋｓ　　＠　ｌ　−（ｋ１１１Ｒ１争Ｑ１５　（π／４
）ｄ”　　＝０次に流体流入側の圧力が変化して抵抗調
節体がΔｌ移動し、ラビリンス長さがΔＲ変化し、この
場合の流量をＱ２とすると（５）式において、ｋｓ（１
＋Δｌ）　−ｋｌ（Ｒ１＋ΔＲ）Ｑ２（π／４）　ｄ　
”　＝　０　　　　　　　　−−−−−−−−（８）こ
こで（５）　、　（８）式及びスプリングの変位量と有
効ラビリンス長さの変位は同量であることより１＝ΔＲ
を代入し整理して、 ｋ　ｓ　＝　ｋｌ　（Ｒ１（Ｑ２’　Ｑｌ’）　＋Δ１
−Ｑ２’）（π／４）ｄ”／Δｌ　　　−−−−（７） ここで先ず、Ｑ１＝０２＝Ｑ即ち、圧力損失に無関係に
流量が一定になる時、式（７）は次のようになる。

ｋｓ＝ｋｌ・Ｑ　　（π／４）ｄ”　　　−−−−−−
（７）　　’これで明らかなように、Δｌが消去され、
抵抗！ｆｉ１ｍ体は圧力損失の変化に応じ自動的に流量
一定となる位置に移動する特異点が存在する。

また、もう１つの特異点である理論上の流量に無関係に
圧力損失が一定となるにはｋｓ＝ｏであることを下記に
示す。

式（７）の右辺＝０より、 ｋｌ＠明（Ｑ２’　Ｑｌ’）＋　ｋｌ−Δ　１　争Ｑ２
’＝　Ｏ−−−−（Ａ）ｋｌ　−Ｒ１−Ｑｌ−ｋｌ　（
Ｒ１＋Δｌ　）　Ｑ２＝　Ｏ−−−−（Ｂ）式（Ｂ）で
明らかなようにに１・Ｒ１−Ｑｌ’で示されるある位置
での圧力損失Δｐと、Δｌ移動して釣り合った時の圧力
損失ｋｌ（Ｒ１＋Δ１）Ｑ２’が流量がＱｌと０２と異
なるにもかかわらず等しくなることが明らかである。

また式（７）においてｋｓの値が負になる場合にはスプ
リングは逆の方向に取付けた場合となる。この場合、は
圧力損失の変化に逆比例して有効ラビリンスの長さが変
化する応用例となる。この式（７）より、他の値（未知
の数）等も決定できるが。

負の値は全て実施例を基準に正と考え逆向きにすれば全
ての場合にあてはまる。

次に本発明の第２実施例を第２図により説明する。

この実施例は、前記第１実施例のシリンダｌと抵抗調節
体４とからなる流体の絞り構造を２つ組合わせたもので
ある。この場合、２つのシリンダ１１．１２は隔壁１３
を介して連結させた構成とし、２つの抵抗調節体重４．
１５は隔壁１３を密封状に貫通するシャツ）１６により
連結される。

流体の流入口２は、第２図の隔壁１３の左側位置に設け
、シリンダ両側の大径部１１ａ、１２ａは抵抗調節体１
４とシャツ）１Ｂとに設けた通路１７により連通され、
流出口３は第２図右側の小径部側端部に設けられる。

そして流体が流入口２から入ると抵抗調節体１４外周の
電線溝１８、および抵抗調節体外周とシリンダ内壁との
間の隙間を通って大径部ＩＬａに入り、さらに通路１７
を通って右側のシリンダ大径部１２ａに入り、さらに抵
抗調節体１５外周の電線溝１９を通って小径部１２ｂに
入りさらに流出口３から出るようになっている。

抵抗調節体１４，１５を付勢するスプリング２０は、第
２図右側の抵抗調節体１５の右側に配置し、流体圧によ
り抵抗調節体に生じる力に対抗して抵抗調節体１５を流
出口３側から流入口２側へ付勢する。

スプリング２０の弾性係数は、理想的に流量一定となる
場合は以下の式（２２）’の値に設定される。なお、ス
プリングの弾性力は、第１実施例と同様に弾性力調節装
置２１により調節可能となっている。また電線溝の変形
は、第１実施例のように可能である。

ここで流量を一定とする場合のスプリング２０の弾性係
数の設定値を計算式により説明する。

１段側（流入口側）の電線溝Ｒ１の特性係数をｋｌ、α
、２段側（流出口側）の電線溝Ｒ２の特性係数をに２．
βとする。ある任意の流入圧Ｐ　ｋｇ／　０ｍ２の時の
流量をＱとし、この時スプリングが１だけ縮んだ位置で
釣り合っているとすると、前記実施例と同様に圧力損失
Δｐ（Δｐ１．１段側、Δｐ２：２段側）は、 榛 ΔＰ１＝　ｋｌ・Ｒ１−Ｑ　　−−−−−−（１１）！ ΔＰ２＝に２＠Ｒ１−Ｑ　　−−−−−−（１２）力の
バランスは第２図右方向を十とし、抵抗調節体１４．１
５の直径をＤＩ、　Ｄ２とし、シャフト１６の直径を０
３とすると１段側の抵抗調節体１４に作用する力Ｆｌ、
　Ｆ２と、２段側の抵抗調節体１５に作用する力Ｆ３、
Ｆ４は、 Ｆ１＝（−π／４）　　ＣＤＩ”　−１１３”　）　Ｐ
　　−（１３）Ｆ２＝　（＋　π／４）ロー２　　（Ｐ
　−ΔＰｉ）　　−−−−（１４）Ｆ３＝（＋π／４）
　　（Ｄ２”〜Ｄ３”）（Ｐ−ΔＰｌ）Ｆ４＝　（−π
／４）　０２”　　（Ｐ−ΔＰｌ−ΔＰ２）　−ｋｓ−
１−−−−−−一一一−−−−−（ＩＢ）釣り合いから
Ｆ１＋　Ｆ２＋　Ｆ３＋　Ｆ４＝　０−−−−−（１７
）であるので（１７）に（１３）〜（１６）を代入して
整理するとＰが消去され （−π／４）　　ＣＤＩ’　−Ｄ３’　）ΔＰ１＋　（
π／４）−Ｄ２’　　争ΔＰ２−ｋｓ・ｌ＝ｏ　　−−
−−−−−−（１８）となる。

（１８）に（１１）、（１２）を代入し、−（π／４）
　　（Ｄｉ”　　−Ｄ３”　）　ｋｌ・Ｒ１・♂＋　（
π／４）　・０２’−に２・Ｒ２・　Ｑ　−ｋｓ　＋１
１　　＝　０−−−−一−−−（１９）同様に圧力が変
動し、ピストンがΔｌだけ移動し、釣り合った時、（１
９）式でＲ１はＲ１＋Δ１．Ｒ２はＲ２＋Δ１．ｌはｌ
＋Δｌとなる。この時の流量をＱ゛とすると、 −（π／４）　　（Ｄｌ２−０３”　　）　ｋｌ・　（
Ｒ１＋Δｌ）Ｑ”＋　（π／４）・Ｄ２’　　・Ｒ２（
Ｒ２＋Δｌ）　ＣＩ’−ｋｓ　（１＋Δｌ）　＝　ｏ　
　　−−−−−−−−（２０）が成立しているはずであ
る。

（１９）−（２０）より −（π／　４）　　ＣＤＩ”　　−Ｄ３”　　）　　ｋ
ｌ　（’Ｒ１（Ｑ′−Ｑ”）　　−Δｔ　−Ｑ′’）＋
　（π／４）ψ０２”　　・Ｒ２（Ｒ２（Ｑ’−Ｑ”）
　　−Δ　　ｌ　　＠　　Ｑ″）　　）　　十　ｋｓ　
働　　Δ　　１　　　＝　　Ｏ−−−−−−（２１）式
（２１）より前記実施例と同様にＫｓを特定できるｋｓ
＝　ｃ　＜π／＜）（Ｄｌ２−ｎ３２）ｋｌ　（＋１１
１（ｃｔ−ｃｉ’）−ΔＩ−ｃｆ’＋　−（π／４）・
Ｄ２”　　・Ｒ２（Ｒ２（ＱＦ　　ＱＩＡ）−Δｔ　−
ｃｃ’＋　］　／ΔＩ　−−−−−−−−（２２）また
、式（２２）においてＱ＝Ｑ’とおくことにより、圧力
損失に無関係に流量が一定となる場合のスプリング定数
ｋｓが前記実施例と同様Δｌに無関係に次式（２２）　
’により求まる。

ｋｓ＝　−［（ｗ／　４）　　（Ｄｉ”　−０３”　）
　ｋｌ・Ｃｊ　−（π／４）拳０２２　　・に２・Ｑ　
］　−−−−−−−−（２２）　’また他の特異点であ
る理論上の流量の変化に無関係に圧力損失が一定となる
には前記実施例と同様の考え方でｋｓ＝０となる次式（
２２）の右辺の分子−〇と置き、抵抗調節体が移動して
釣り合った時の圧力損失をΔＰ１°、ΔＰ２°　とする
と、（Ｄｉ”　−０３”　）　　（ΔＰ１−ΔＰＩ’）
　−１１２”　　（ΔＰ２−ΔＰ２　’　）　＝　０−
−−−−−（Ｃ）式（Ｃ）においてＤｌ、Ｄ２、Ｄ３に
無関係に（Ｃ）が成立する時は、ΔＰ１＝ΔＰビ及びΔ
Ｐ２＝ΔＰ２’となりΔＰ１＋ΔＰ２＝ΔＰビ＋Ａ　Ｒ
２’も成立し、出入口間の圧力が等しいことを表わして
いる。

その他一般の場合についても、式（２２）の関係よりそ
の他の値を求めることにより、各Ｒの移動量によるΔＰ
及びＱの値が特定出来るので、各Ｒの移動量によるΔＰ
−Ｑ線図が描ける。値の正負については前記実施例の場
合と同様である。

第２実施例は、シリンダと抵抗調節体とからなる流体の
絞り構造を２つ組合わせたものであったが、同様の構造
を複数組合わせれば複数段に圧力損失を生じさせて流量
を一定に制御できる。

次に第３実施例を第３図により説明する。

この実施例は、前記第１実施例のシリンダｌと抵抗ｉＡ
節体４とからなる流体の絞り構造を同心状に２重に組合
わせたものである。この場合、抵抗調節体に軸方向に貫
通孔３１を設け、この貫通孔は断面円形状であって小径
部３１ａと大径部３１ｂとからなる０貫通孔の小径部３
１ａは、シリンダの端壁から軸方向に突出する円柱体３
２に嵌合する。抵抗調節体の外周に第１の電線溝３３が
設けられ、抵抗調節体の小径部内周面にｆ：ｆＳ２の電
線溝３４が設けられる。なお、電線ＩＭ３３．３４は、
第１実施例で記載したように変形回部である。

第１の電線溝３３に流体を流すように、シリンダに流入
口２が設けられ、第１の電線溝３３の上流側に段部３５
が形成される。またスプリングの調節装置に通路３５を
設けて、第２の電線溝３４を通った流体がシリンダの流
出口３に、流れるようになっている。

そして、流体が流入口２から入ると第３図矢印のように
第１の電線溝３３、第２の電線溝３４を通り、貫通孔３
１、通路３５を通って流出口３から出るようになってい
る。

ここで流量を一定とする場合のスプリングの弾性係数の
設定値を計算式により説明する。

１段側（流入口側）のＩＩｇｊ線溝３３の特性係数をｋ
ｌ、α、２段側（流出口側）の電線溝３４の特性係数を
に２、βとする。ある任意の流入圧Ｐｋｇ／Ｃｍ２の時
の流量をＱとし、この時スプリングが１だけ縮んだ位置
で釣り合っているとすると、前記実施例と同様に圧力損
失Δｐ（６２１８１段側、６２２１２段側）は、 ΔρＩ＝ｋｌ＠Ｒ１書Ｑ　　−−−一−−（２３）β ΔＰ２＝に２・Ｒ２”Ｑ　　−−−−−−（２４）力の
バランスは第３図右方向を十とし、抵抗調節体４の外周
の直径をＤｌ、貫通孔の小径部３１＆の直径を０２、抵
抗調節体の第３図右端の直径をＤ３とすると抵抗調節体
４の段部３５に作用する力Ｆｌ。

抵抗調節体４の第３図左端面に作用する力Ｆ２と。

抵抗調節体４の第３図右端面に作用する力Ｆ３は、Ｆ１
＝（−π／４）　　（０１”　−０３”　）　Ｐ　　−
（２５）Ｆ２＝　（＋π／４）　ＣＤＩ”　−［１２”
　）　　（Ｐ−ＡＰＩ）−−一−（２Ｇ） Ｆ３＝、（−π／４）　　（０３”　−０２”　）　　
（Ｐ−ΔＰｌ−ΔＰ２）　−ｋｓ　Ｉｌｌ　　　　　−
−−−−−−−−−−−−−（２７）釣り合いからＦ１
＋　Ｆ２＋　Ｆ３＝　０−−−−（２８））であるので
（２８）に（２５）〜（２７）を代入して整理するとＰ
が消去され −（π／４）　　（０１”　　−０３”　）　　ΔＰ１
＋（π／４）・（０３”　　−［１２）　　−ΔＰ２−
　ｋｓｌｌｌ　＝　０−−−−−−−−（２９）となる
。

（２８）に（２３）、（２０を代入し、（−π／４）　
　ＣＤＩ”−０３″）ｋｌ−旧Ｑ＋（π／４）　　（１
１３”　−０２”　）　Ｒ２−Ｒ２−Ｑβ−に＋＊１＝
０同様に圧力が変動し、ピストンがΔｌだけ移動し、釣
り合った時、（３０）式でＲ１はＲ１＋Δ１．Ｒ２はＲ
２＋Δ１．ｌはｌ＋Δｌとなる。この時の流量をＱｏと
すると。

（−π／４）　　（ＤＩ”　　−０３”　）　ｋｌ・　
（Ｒ１＋Δ１）Ｑ’＋（π／４）・　（Ｄ３”　−［１
２”　）　Ｒ２や　（Ｒ２＋Δ１）−Ｑ−ｋｓ・（１＋
Δｌ　）　＝　Ｏ−−−−−−−−（３１）が成立して
いるはずである。

（３０）−（３１）より （π／４）　　（ｏｘ２−　ｏ３２）ｋｔ　（Ｒ１（Ｑ
′−Ｑ”）−Δｌ参Ｑ′’）−＜π／４）　　（０３”
−０２２）・に２（Ｒ２（Ｑ’−Ｑ’う−、ａ　ｌ　＠
ｃｔ’）　−ｋｓ・Ａ　ｌ　＝　０−−−−（３２）式
（３２）より前′記実施例と同様にＫｓを特定できる。

ｋｓ＝　　［（π／　４）　　ＣＤＩ”　　−０３”　
）　ｋｌ　（Ｒ１（Ｑ’　−Ｑｏカ　−　Δ　ｌ　−Ｑ
”）　　−（π／　４）　　（口３”　　−［１２”　
　）　　＄１２（Ｒ２（Ｑ’−ｃｔ’＞−Δ１・Ｑ″β
）】／Δｌ　　−−−−（３３）この場合実施例２のｋ
ｓを表わす式（２２）と右辺分子第１項の０２”の代り
に（Ｄ３”　−０２”　）を入れたものに等しく、実施
例２の場合と同様の手順で流量一定となる場合のｋｓは
１式（３３）でＱ＝Ｑ’とし、　　ｋｓ＝　（（π／４
）　　（０１”　−０３”　）　ｋｌ・Ｑ　−（π／４
）　　（Ｄ３・　−Ｄ２・）　Ｒ２すＱ’）−−−−−
−（３３°）で表わされる。＃記実施例と同様ＫｓｘＯ
となる時、理論上、圧力損失一定となる。その他の場合
についても同様、式（３３）より種々のΔＰとＱとの関
係を作ることが出来る。

従って、以上実施例を３例説明したが、その受圧面積と
圧力による力と弾性部材とが、式（７）。

２２）　、　（３３）で示されるような安定して釣り合
う構成は、他にも多く考えられるが、基本的な理論は本
発明での説明手順と同様にして解明できる。

なお、第１図の実施例において、抵抗調節体の軸方向両
端部に、それぞれ流入口２、流出口３を閉鎖するシール
材を設けてもよい、この場合、流入側の圧力あるいは流
出側の圧力が大きくなり過ぎた時に抵抗調節体がシリン
ダ両端部に移動して、流入口あるいは流出口がシール材
で閉鎖され。

流体制御装置あるいは他の装置の破損が防止される。さ
らに、第２．３図の実施例でも同様にして、抵抗調節体
１４に流入口２を閉鎖するシール材を設け、抵抗調節体
１５に流出口３を閉鎖するシール材を設ければ、同様に
流体制御装置あるいは他の装置の破損が防止される。

発明の効果 本発明の流量制御装置によれば、装置自身の持つ調整作
用により流入側の圧力が変動してもそれに応じて抵抗調
節体が移動し、有効ラビリンス長さを変えて流量あるい
は圧力損失が、一定あるいは所定範囲内となるように制
御できる。よって抵抗７Ａ節体を付勢するスプリングの
バネ定数を所定値に設定すれば、正確に所定の流量ある
いは圧力損失となる。

またシリンダと抵抗調節体とからなる流体の絞り構造を
複数組合わせた場合、スプリングのバネ定数が弱いもの
でも適用可能となる。さらに前記の流量一定となるスプ
リング係数及び初期のスプリング力の設定を基準とし、
それより強くするか又は弱くすることにより、種々のモ
ードの圧力と流量の関係を複雑な制御機構がなくとも自
動的に調整する装置が製作可能である。さらにシリンダ
と抵抗調節体とからなる流体の絞り構造を同心状に２重
に組合わせた場合、短い装置で二段に流体を絞ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の流体制御１置の断面図、
第２図は第２実施例の流体制御装置の断面図、第３図は
第３実施例の流体制御装置の断面図である。 ｌ；シリンダ　　　　２；流入口 ３；流出口　　　　　４；抵抗ｙＡ節体５：Ｉａｉ線溝
　　　　　７；スプリング８；調節装置　　　　１４．
１５ｉ抵抗調節体１７、通路　　　　　１８．１９；電
線溝３１；貫通孔　　　　３２；円柱体 ３３．３４；軸線溝

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）内周が大径部と小径部とからなるシリンダ内に、
   シリンダ小径部の内径に近い外径の抵抗調節体を嵌合し
   、この抵抗調節体外周とシリンダ小径部との間に螺線溝
   を形成し、抵抗調節体をはさんだ両側位置のシリンダ部
   分に流体の流入口と流出口とを設け、流体圧により抵抗
   調節体に生じる力に対抗して抵抗調節体を付勢する弾性
   部材を設けた流体制御装置。
2. （２）弾性部材に弾性力の調節装置を設けた特許請求の
   範囲第１項に記載した流体制御装置。
3. （３）内周が大径部と小径部とからなるシリンダ内に、
   シリンダ小径部の内径に近い外径の抵抗調節体を嵌合し
   た流体の絞り構造を少なくとも２つシリンダの軸線方向
   に組合わせ、上流側のシリンダに流体流入口を設けると
   ともに下流側のシリンダに流体流出口を設け、流体の絞
   り構造のそれぞれの抵抗調節体をシャフトで連結し、上
   流側の抵抗調節体とシャフトに設けた通路を介して両シ
   リンダ内を連通し、流体圧により抵抗調節体に生じる力
   に対抗して抵抗調節体を付勢する弾性部材を設けた流体
   制御装置。
4. （４）弾性部材に弾性力の調節装置を設けた特許請求の
   範囲第３項に記載した流体制御装置。
5. （５）内周が大径部と小径部とからなるシリンダ内に、
   シリンダ小径部の内径に近い外径の抵抗調節体を嵌合し
   、抵抗調節体は軸方向の貫通孔を有し、この貫通孔は小
   径部と大径部とからなってその小径部内にシリンダ端壁
   から突出する円柱体に嵌合し、抵抗調節体の外周とシリ
   ンダ小径部との間に第１螺線溝を形成するとともに、抵
   抗調節体の貫通孔内周と円柱体との間にも第２螺線溝を
   形成し、第１螺線溝と第２螺線溝とが直列関係となる流
   体通路位置のシリンダに流体の流入口と流出口とを設け
   、流体圧により抵抗調節体に生じる力に対抗して抵抗調
   節体を付勢する弾性部材を設けた流体制御装置。
6. （６）弾性部材に弾性力の調節装置を設けた特許請求の
   範囲第５項に記載した流体制御装置。