JPS62152300U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62152300U JPS62152300U JP18820385U JP18820385U JPS62152300U JP S62152300 U JPS62152300 U JP S62152300U JP 18820385 U JP18820385 U JP 18820385U JP 18820385 U JP18820385 U JP 18820385U JP S62152300 U JPS62152300 U JP S62152300U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- electron beam
- magnetic flux
- irradiated
- supplies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の実施例を示す正面図、第２
図は動作説明用の波形図、第３図は照射状態を説
明するための被照射物の平面図、第４図は従来例
を示す正面図、第５図は従来例による照射状態を
説明するための被照射物の平面図である。 １…走査バケツト、２…フイラメント、３…走
査コイル、４…被照射物、６…三角波発生装置、
８…バイアス用の直流電源、９…設定装置。
図は動作説明用の波形図、第３図は照射状態を説
明するための被照射物の平面図、第４図は従来例
を示す正面図、第５図は従来例による照射状態を
説明するための被照射物の平面図である。 １…走査バケツト、２…フイラメント、３…走
査コイル、４…被照射物、６…三角波発生装置、
８…バイアス用の直流電源、９…設定装置。
Claims (1)
- 走査バケツトと、前記走査バケツト内の電子線
を被照射物の幅方向に沿つて走査するための磁束
を発生する走査部と、前記走査部に走査用の三角
波電流を供給するための三角波発生装置とを設け
るとともに、前記電子線の照射幅の中心が前記被
照射物の中心に対して任意に偏向自在とするべく
、前記走査部による走査用の磁束をバイアスする
磁束を発生するための直流電流を前記走査部に供
給する直流電源を設けてなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18820385U JPS62152300U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18820385U JPS62152300U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152300U true JPS62152300U (ja) | 1987-09-26 |
Family
ID=31139344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18820385U Pending JPS62152300U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152300U (ja) |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP18820385U patent/JPS62152300U/ja active Pending