JPS62145327U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62145327U JPS62145327U JP3521086U JP3521086U JPS62145327U JP S62145327 U JPS62145327 U JP S62145327U JP 3521086 U JP3521086 U JP 3521086U JP 3521086 U JP3521086 U JP 3521086U JP S62145327 U JPS62145327 U JP S62145327U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piping
- waste gas
- exhaust
- vapor phase
- phase growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 13
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は従来の気相成長装置と廃ガス処理装置
および廃ガス配管図。第２図は本考案の気相成長
装置と廃ガス処理装置および廃ガス配管図。 １は気相成長装置内廃ガス排気配管、２は気相
成長装置の反応室、３は気相成長装置内廃ガス排
気管、４は気相成長装置を設置している屋内、５
は廃ガス処理装置、６は気相成長装置と廃ガス処
理装置を接続する排気配管、７は廃ガス処理装置
の排気口、８は冷却水入口、９は冷却水出口、１
０は二重排気冷却管、１１は廃ガス処理装置に接
続される成長装置側排気配管口、１２は成長装置
側排気配管口と接続される廃ガス処理装置側排気
配管口、１３は廃ガス中和溶液送水用配管、１４
は廃ガス中和溶液貯水槽、１５は廃ガス中和溶液
圧送用ポンプ、１６は二重排気冷却内面に付着・
析出した固形成長物を落下収集する為の密閉皿。
および廃ガス配管図。第２図は本考案の気相成長
装置と廃ガス処理装置および廃ガス配管図。 １は気相成長装置内廃ガス排気配管、２は気相
成長装置の反応室、３は気相成長装置内廃ガス排
気管、４は気相成長装置を設置している屋内、５
は廃ガス処理装置、６は気相成長装置と廃ガス処
理装置を接続する排気配管、７は廃ガス処理装置
の排気口、８は冷却水入口、９は冷却水出口、１
０は二重排気冷却管、１１は廃ガス処理装置に接
続される成長装置側排気配管口、１２は成長装置
側排気配管口と接続される廃ガス処理装置側排気
配管口、１３は廃ガス中和溶液送水用配管、１４
は廃ガス中和溶液貯水槽、１５は廃ガス中和溶液
圧送用ポンプ、１６は二重排気冷却内面に付着・
析出した固形成長物を落下収集する為の密閉皿。
Claims (1)
- 半導体ウエハー上に半導体薄膜を気相成長させ
る装置において、廃ガス排気配管の外周面を水冷
却して配管内面の温度を低下させることにより配
管内面に接触して流れる未反応生成物を含んだ排
気廃ガス中から固形物を配管内面に付着・折出さ
せ収集することを特徴とする廃棄物収集管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3521086U JPS62145327U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3521086U JPS62145327U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62145327U true JPS62145327U (ja) | 1987-09-12 |
Family
ID=30844490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3521086U Pending JPS62145327U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62145327U (ja) |
-
1986
- 1986-03-10 JP JP3521086U patent/JPS62145327U/ja active Pending
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