JPS62145326U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62145326U JPS62145326U JP3520986U JP3520986U JPS62145326U JP S62145326 U JPS62145326 U JP S62145326U JP 3520986 U JP3520986 U JP 3520986U JP 3520986 U JP3520986 U JP 3520986U JP S62145326 U JPS62145326 U JP S62145326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste gas
- vapor phase
- phase growth
- exhaust
- cooling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の気相成長装置と廃ガス処理装
置および廃ガス配管図、第２図は従来の気相成長
装置と廃ガス処理装置および廃ガス配管図。 １…気相成長装置内廃ガス排気配管、２…気相
成長装置の反応室、３…気相成長装置内廃ガス排
気管、４…気相成長装置を設置している屋内、５
…廃ガス処理装置、６…気相成長装置と廃ガス処
理装置を接続する排気配管、７…廃ガス処理装置
の排気口、８…冷却水入口、９…冷却水出口、１
０…二重排気冷却管、１１…廃ガス処理装置に接
続される成長装置側排気配管口、１２…成長装置
側排気配管口と接続される廃ガス処理装置側排気
配管口、１３…廃ガス中和溶液送水用配管、１４
…廃ガス中和溶液貯水槽、１５…廃ガス中和溶液
圧送用ポンプ。
置および廃ガス配管図、第２図は従来の気相成長
装置と廃ガス処理装置および廃ガス配管図。 １…気相成長装置内廃ガス排気配管、２…気相
成長装置の反応室、３…気相成長装置内廃ガス排
気管、４…気相成長装置を設置している屋内、５
…廃ガス処理装置、６…気相成長装置と廃ガス処
理装置を接続する排気配管、７…廃ガス処理装置
の排気口、８…冷却水入口、９…冷却水出口、１
０…二重排気冷却管、１１…廃ガス処理装置に接
続される成長装置側排気配管口、１２…成長装置
側排気配管口と接続される廃ガス処理装置側排気
配管口、１３…廃ガス中和溶液送水用配管、１４
…廃ガス中和溶液貯水槽、１５…廃ガス中和溶液
圧送用ポンプ。
Claims (1)
- 半導体ウエハー上に半導体薄膜を気相成長させ
る装置の廃ガス冷却装置において、廃ガス排気配
管を外部より水冷却させることにより、配管内部
を流れる排気廃ガスの温度を低下させることを特
徴とする廃ガス冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3520986U JPS62145326U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3520986U JPS62145326U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62145326U true JPS62145326U (ja) | 1987-09-12 |
Family
ID=30844488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3520986U Pending JPS62145326U (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62145326U (ja) |
-
1986
- 1986-03-10 JP JP3520986U patent/JPS62145326U/ja active Pending