JPS62143399A - Ｓｏｒ装置 - Google Patents
Ｓｏｒ装置Info
- Publication number
- JPS62143399A JPS62143399A JP60282088A JP28208885A JPS62143399A JP S62143399 A JPS62143399 A JP S62143399A JP 60282088 A JP60282088 A JP 60282088A JP 28208885 A JP28208885 A JP 28208885A JP S62143399 A JPS62143399 A JP S62143399A
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- JP
- Japan
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- sor
- trajectory
- charged particle
- particle beam
- incident
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- Pending
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ＳＯＲ（シンクａトｃ１ン放射）装置にお
ける荷電粒子の入射方法に関するものである。
ける荷電粒子の入射方法に関するものである。
第３図は菊地健が°加速器物理とその応用゛の題名で日
立評論Ｖｏ１．６６、Ｎｏ、 １１ 、ｐｐ７７５〜７
９０（１９８４−１１）に紹介されたＳＯＲ装置の平面
図である。図ｆこおし１で、（１）は荷電粒子ビームが
通る真空チャンバー、（２）は荷電粒子ビームを曲げる
偏向電磁石、（３）は荷電粒子ビームを収束させる四極
電磁石、（４）は荷電粒子ビームを加速する高周波加速
空洞、（５）はＳＯＲリングに荷電粒子ビームを入射す
るときに８ＯＲリング内のビームの平衡軌道をスラスハ
ータベータ、（６）は入射する荷電粒子ビームをリング
内の中心軌道ｆこ一致するようにその軌道を曲げて入射
するセプタム電磁石、（７）は入射する荷電粒子ビーム
ラ導＜ビームライン、（８）はＳＯＲ光を外部に取出す
ためのＳＯＲＯＲ光ポートる。なお、第３図では偏向電
磁石を４個としてその構成を単純化しである。
立評論Ｖｏ１．６６、Ｎｏ、 １１ 、ｐｐ７７５〜７
９０（１９８４−１１）に紹介されたＳＯＲ装置の平面
図である。図ｆこおし１で、（１）は荷電粒子ビームが
通る真空チャンバー、（２）は荷電粒子ビームを曲げる
偏向電磁石、（３）は荷電粒子ビームを収束させる四極
電磁石、（４）は荷電粒子ビームを加速する高周波加速
空洞、（５）はＳＯＲリングに荷電粒子ビームを入射す
るときに８ＯＲリング内のビームの平衡軌道をスラスハ
ータベータ、（６）は入射する荷電粒子ビームをリング
内の中心軌道ｆこ一致するようにその軌道を曲げて入射
するセプタム電磁石、（７）は入射する荷電粒子ビーム
ラ導＜ビームライン、（８）はＳＯＲ光を外部に取出す
ためのＳＯＲＯＲ光ポートる。なお、第３図では偏向電
磁石を４個としてその構成を単純化しである。
Ｍ４図は野田章が“ビーム入射・蓄積”の題名で月刊フ
イジクスＶｏ１．６．Ｎｏ、 １ 、ｐｐ５〜１３（１
９８５） ｌＣ紹介されたビーム入射方法の模式図で、
（９）は中心軌道、α〔は中心軌道（９）がパータベー
タ（５）によってずらされたバンプ軌道、αυは入射ビ
ームの軌道である。
イジクスＶｏ１．６．Ｎｏ、 １ 、ｐｐ５〜１３（１
９８５） ｌＣ紹介されたビーム入射方法の模式図で、
（９）は中心軌道、α〔は中心軌道（９）がパータベー
タ（５）によってずらされたバンプ軌道、αυは入射ビ
ームの軌道である。
次にこれら従来装置の動作Ｉこついて駅間する。
マス、ｌＸ３図のＳＯＲ，＋３ング内における荷電粒子
ビームは、偏向電磁石（２）によってその軌道が曲げら
れで閉じた中心軌道（９）を作る。しかし、偏向電磁石
（２）だけでは閉じた軌道が無数にできてしまうので、
ビームの幅が広がってしまう。これを防ぐためｌこ、四
極電磁石（３）を置いて前記ビームを収束させている。
ビームは、偏向電磁石（２）によってその軌道が曲げら
れで閉じた中心軌道（９）を作る。しかし、偏向電磁石
（２）だけでは閉じた軌道が無数にできてしまうので、
ビームの幅が広がってしまう。これを防ぐためｌこ、四
極電磁石（３）を置いて前記ビームを収束させている。
ここで、前記荷電粒子ビームの軌道が偏向電磁石（２）
で曲げられるときに、進行方向に電磁波（これをＳＯＲ
光という）を放出する。なお、前記荷電粒子がＳＯＲ光
を放出することによりエネルギーが失なわれるので、こ
れを補うために高周波加速空洞（４）によって前記荷電
粒子を加速する。
で曲げられるときに、進行方向に電磁波（これをＳＯＲ
光という）を放出する。なお、前記荷電粒子がＳＯＲ光
を放出することによりエネルギーが失なわれるので、こ
れを補うために高周波加速空洞（４）によって前記荷電
粒子を加速する。
ここで前記荷電粒子をＳＯＲ１３ングｆこ入射する際に
は、 ８０Ｒリング内の中心軌道（９）がパータベータ
（５）によって水平方向にずらされ、そしてバンプ軌道
αＱとなる。次いで入射される荷電粒子ビームの軌道０
１）は、セプタム電磁石（６）によって水平方向に曲げ
られ、バンプ軌道αＱに一致するようｔこ入射される。
は、 ８０Ｒリング内の中心軌道（９）がパータベータ
（５）によって水平方向にずらされ、そしてバンプ軌道
αＱとなる。次いで入射される荷電粒子ビームの軌道０
１）は、セプタム電磁石（６）によって水平方向に曲げ
られ、バンプ軌道αＱに一致するようｔこ入射される。
従来のＳＯＲ装置は以上のように構成されているので、
ＳＯＲ光ポート（８）の一部はビームライン（７）と交
錯してしまう。このためにＳＯＲ光ポートを有効に利用
することができないという問題があった。
ＳＯＲ光ポート（８）の一部はビームライン（７）と交
錯してしまう。このためにＳＯＲ光ポートを有効に利用
することができないという問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ビームラインとＳＯＲ光ポートが交錯しない
ようにすると共ｌこ、全ＳＯＲ光ポートを有効ｆこ利用
できるＳＯＲ装置を得ることを目的とする、 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るＳＯＲ装置は、荷電粒子を垂直方向から
ＳＯＲリングに入射するようにしたものである。
たもので、ビームラインとＳＯＲ光ポートが交錯しない
ようにすると共ｌこ、全ＳＯＲ光ポートを有効ｆこ利用
できるＳＯＲ装置を得ることを目的とする、 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るＳＯＲ装置は、荷電粒子を垂直方向から
ＳＯＲリングに入射するようにしたものである。
この発明におけるＳＯＲ装置は、その垂直方向からＳＯ
Ｒリングに荷電粒子を入射することｆこより、ビームラ
インとＳＯＲ光ポートが交錯しないようになる。
Ｒリングに荷電粒子を入射することｆこより、ビームラ
インとＳＯＲ光ポートが交錯しないようになる。
以下、この発明の一実施例について説明する。
まず、第１図（Ａｌ 、 （Ｂ）および第２図において
（１）〜αυは、従来例の説明に使用した第３図および
第４図の（１）〜（１１）と同じ構成である。ただし、
セプタム電磁石勾０は垂直ｌこ取り付けられており、そ
してビームライン（７１）も装はの下方向に取り付けら
れていａまだ、バンプ軌道（１０は中心軌道（９）に対
して垂直方向「こずれている、なお、図中（１）〜（４
）およびσυ、（８）の機能は、従来例と同じであるが
、荷電粒子をＳＯＲ１３ング【こ入射する際に、ＳＯＲ
，リング内の中心軌道（９）はパータベータ（５）によ
って垂直方向にずらされ、そしてバンプ軌道（ｔ（１）
となる、ここで、ＳＯＲリングに入射されろ荷電粒子は
、セプタム電磁石（６）＃こよって入射ビーム軌道αυ
のように垂直方向に曲げられ、そしてバンプ軌道００）
１こ一致するようｌこなる、 なお、上記実施例では、荷電粒子を下方向からＳＯＲ＋
）ングヘ入射していたが、上方向から入射しても良い。
（１）〜αυは、従来例の説明に使用した第３図および
第４図の（１）〜（１１）と同じ構成である。ただし、
セプタム電磁石勾０は垂直ｌこ取り付けられており、そ
してビームライン（７１）も装はの下方向に取り付けら
れていａまだ、バンプ軌道（１０は中心軌道（９）に対
して垂直方向「こずれている、なお、図中（１）〜（４
）およびσυ、（８）の機能は、従来例と同じであるが
、荷電粒子をＳＯＲ１３ング【こ入射する際に、ＳＯＲ
，リング内の中心軌道（９）はパータベータ（５）によ
って垂直方向にずらされ、そしてバンプ軌道（ｔ（１）
となる、ここで、ＳＯＲリングに入射されろ荷電粒子は
、セプタム電磁石（６）＃こよって入射ビーム軌道αυ
のように垂直方向に曲げられ、そしてバンプ軌道００）
１こ一致するようｌこなる、 なお、上記実施例では、荷電粒子を下方向からＳＯＲ＋
）ングヘ入射していたが、上方向から入射しても良い。
また、上記実施例では、パータペータ（５）を２個設け
たが、バータベータ（５）を１個だけまたは３個以上設
けても良い。
たが、バータベータ（５）を１個だけまたは３個以上設
けても良い。
以上のよう１こ、この発明によれば、荷電粒子ビームを
ＳＯＢ ＩＪソング入射する際、その中心軌道を垂直方
向にずらすようｆこしたので、＠置の垂直方向から前記
ビームを入射することができる、その結果、ビームライ
ンσυとＳＯＲ光ポート（８）とが交錯せずにすみ、そ
して全ＳＯＲ光ポートを有効に使用することができる。
ＳＯＢ ＩＪソング入射する際、その中心軌道を垂直方
向にずらすようｆこしたので、＠置の垂直方向から前記
ビームを入射することができる、その結果、ビームライ
ンσυとＳＯＲ光ポート（８）とが交錯せずにすみ、そ
して全ＳＯＲ光ポートを有効に使用することができる。
ＨＸ１図（Ａｔ 、 （Ｂｌはこの発明の一実施例１こ
よるＳＯＲ。 装置上よびその要部を示す平面図、第２図はこの発明の
一実施例ｆこよるビームの入射方法を示す模式図、第３
図は従来のＳＯＲ装置を示す平面図、第４図は従来のビ
ームの入射方法を示す模式図である、 図中、（１）は真空チャンバー、（２）は偏向電磁石。 （３）は四極電磁石、（４）は高周波加速空洞、（５）
はパータベータ、 （６）、（６１）はセプタム電磁石
、（力、０υはビームライン、（８）はＳＯＲＯＲ−）
、 （９）は中心軌道、（［０）はバンプ軌道、卸は
入射ビーム軌道で、５る。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 （Ａ） 第 ２８ 第３図 第４図
よるＳＯＲ。 装置上よびその要部を示す平面図、第２図はこの発明の
一実施例ｆこよるビームの入射方法を示す模式図、第３
図は従来のＳＯＲ装置を示す平面図、第４図は従来のビ
ームの入射方法を示す模式図である、 図中、（１）は真空チャンバー、（２）は偏向電磁石。 （３）は四極電磁石、（４）は高周波加速空洞、（５）
はパータベータ、 （６）、（６１）はセプタム電磁石
、（力、０υはビームライン、（８）はＳＯＲＯＲ−）
、 （９）は中心軌道、（［０）はバンプ軌道、卸は
入射ビーム軌道で、５る。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 （Ａ） 第 ２８ 第３図 第４図
Claims (1)
- 偏向電磁石部にＳＯＲ光ポートをもち、蓄積リングの中
心軌道に対して垂直方向に荷電粒子ビームの軌道をずら
すパータベータ、および垂直方向から前記荷電粒子ビー
ムを入射するようなセプタム電磁石を備えたことを特徴
とするＳＯＲ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282088A JPS62143399A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | Ｓｏｒ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282088A JPS62143399A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | Ｓｏｒ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143399A true JPS62143399A (ja) | 1987-06-26 |
Family
ID=17647965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60282088A Pending JPS62143399A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | Ｓｏｒ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62143399A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007251281A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Pioneer Electronic Corp | スピーカ |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP60282088A patent/JPS62143399A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007251281A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Pioneer Electronic Corp | スピーカ |
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