JPS62143357A - 測定装置の測定信号路を検査する方法および装置 - Google Patents
測定装置の測定信号路を検査する方法および装置Info
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- JPS62143357A JPS62143357A JP61241583A JP24158386A JPS62143357A JP S62143357 A JPS62143357 A JP S62143357A JP 61241583 A JP61241583 A JP 61241583A JP 24158386 A JP24158386 A JP 24158386A JP S62143357 A JPS62143357 A JP S62143357A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、帯電された粒子のための粒子捕捉器と、該粒
子捕捉器に後置接続されて電圧または電流信号を発生す
るための増幅器とを備え、上記粒子捕捉器に既知の信号
が導入される測定装置の測定４ｇ号路の検査方法に関す
る。さらに、本発明はまた、上記号法全夾施するための
装置にも係わり、上ｄピ方法及び装置は賀意スペクトロ
メータ、電１ＩｉｉＩ！真空計等へ適用され得る。
子捕捉器に後置接続されて電圧または電流信号を発生す
るための増幅器とを備え、上記粒子捕捉器に既知の信号
が導入される測定装置の測定４ｇ号路の検査方法に関す
る。さらに、本発明はまた、上記号法全夾施するための
装置にも係わり、上ｄピ方法及び装置は賀意スペクトロ
メータ、電１ＩｉｉＩ！真空計等へ適用され得る。
従来技術
イオン捕捉器およびそれに接続された測定増幅器を備え
、例えば、質量スペクトロメータ、電離真空計等で用い
られている測定装置は、一般に高感度でなければならな
い。その理由は、イオン捕捉器に現れる益々小さくなる
粒子電流全記録できるよう種々と試みがなされているか
らである。例えば、毎秒約６００個のイオンまたは電子
のｔ流に対応する例えば−、［１−，１６への粒子電流
′に記録する場合には、接続されている増幅器において
電圧信号の発生に用いられる抵抗は極めて關オームでな
ければならない。この工９にして与えられるこの桟の装
置の高い感度は、イオン捕捉部ならびに後続の増幅器の
少なくとも第１段目の部分を完全に遮蔽された状態で組
込むことが要求される。このため、測定信号にとって亘
費な部分にアクセスすることは多くの場合困難となる。
、例えば、質量スペクトロメータ、電離真空計等で用い
られている測定装置は、一般に高感度でなければならな
い。その理由は、イオン捕捉器に現れる益々小さくなる
粒子電流全記録できるよう種々と試みがなされているか
らである。例えば、毎秒約６００個のイオンまたは電子
のｔ流に対応する例えば−、［１−，１６への粒子電流
′に記録する場合には、接続されている増幅器において
電圧信号の発生に用いられる抵抗は極めて關オームでな
ければならない。この工９にして与えられるこの桟の装
置の高い感度は、イオン捕捉部ならびに後続の増幅器の
少なくとも第１段目の部分を完全に遮蔽された状態で組
込むことが要求される。このため、測定信号にとって亘
費な部分にアクセスすることは多くの場合困難となる。
イオン捕捉器に後ｆ接続されている電子回路における測
定信号路の試験を行う場合には、既知の電流をイオン捕
捉器中に導入しなければならない。このように １０−
１２ Ａおよびそれよシ小さい領域の電流を発生するこ
とは、試験モードばかりではなく測定モードにおいて誤
差源となり不正確さの原因となり得る。従来の試験方法
は測定増幅器の入力に電気的接続を行うことな〈実施で
きないため、上に述べたような大きさの？ｆ［を用いて
の感度試験はこれまで不可能であった。
定信号路の試験を行う場合には、既知の電流をイオン捕
捉器中に導入しなければならない。このように １０−
１２ Ａおよびそれよシ小さい領域の電流を発生するこ
とは、試験モードばかりではなく測定モードにおいて誤
差源となり不正確さの原因となり得る。従来の試験方法
は測定増幅器の入力に電気的接続を行うことな〈実施で
きないため、上に述べたような大きさの？ｆ［を用いて
の感度試験はこれまで不可能であった。
す６例の目的
本発明は、測定に２ける特注に悪影＃を与えることなく
、最小の測定１！！流でも、イオンもしくは粒子捕捉器
に後置して設けられている電子的補助手段の試験ｋ Ｅ
’Ｔ ＨＱにすることＫある。
、最小の測定１！！流でも、イオンもしくは粒子捕捉器
に後置して設けられている電子的補助手段の試験ｋ Ｅ
’Ｔ ＨＱにすることＫある。
発明の構成
土の課題は、ｆ頭に述べた形式の測定ｑ＝号路の検査方
法において、粒子捕捉部の近傍に存在する制御電極（影
！＃電極）（ｉ−用いて発生される遷移（変位）電＃、
全粒子捕捉部中に導入することによシ解決される。粒子
捕捉部の近傍に設けられる制御電極は、粒子ｆｕ捉部に
対して、固定の測定ｏＴ北で再現ＯＴ能な一定の結合容
量Ｃえ忙有する。このＡｉＪ提条件下で、制御電極に既
知の電圧変化金主ぜしめることにより、粒子捕捉部に対
し電気接続を形成することなく、粒子捕捉部に特定の遷
移電流全発生することができる。
法において、粒子捕捉部の近傍に存在する制御電極（影
！＃電極）（ｉ−用いて発生される遷移（変位）電＃、
全粒子捕捉部中に導入することによシ解決される。粒子
捕捉部の近傍に設けられる制御電極は、粒子ｆｕ捉部に
対して、固定の測定ｏＴ北で再現ＯＴ能な一定の結合容
量Ｃえ忙有する。このＡｉＪ提条件下で、制御電極に既
知の電圧変化金主ぜしめることにより、粒子捕捉部に対
し電気接続を形成することなく、粒子捕捉部に特定の遷
移電流全発生することができる。
このようにして、節点（結合点）容量および漏洩電流の
増大ならびにそれに伴う作用、即ち妨害信号レベルの壇
〃口およびドリフトの発生等の欠点も除去される。この
方法によれば、機能試験、例えば直接後［後続されてい
る電気計用増１ＩｌｉＳ器の機能試験ｔ１高オーム抵抗
（インビダンス）領域に設定することなく非さに短い時
間で央鬼することができる。と菖うのは、割り１１１と
極における既知の電圧変化で、電気肘用増幅器の出力端
に正確に測定可能な１百号が発生できるからである。ま
た、測定結果の童子化も可能である。
増大ならびにそれに伴う作用、即ち妨害信号レベルの壇
〃口およびドリフトの発生等の欠点も除去される。この
方法によれば、機能試験、例えば直接後［後続されてい
る電気計用増１ＩｌｉＳ器の機能試験ｔ１高オーム抵抗
（インビダンス）領域に設定することなく非さに短い時
間で央鬼することができる。と菖うのは、割り１１１と
極における既知の電圧変化で、電気肘用増幅器の出力端
に正確に測定可能な１百号が発生できるからである。ま
た、測定結果の童子化も可能である。
制御電極としては、試験期間中に電圧発生器に接続され
測定期間中接地される別の電極を設けることができる。
測定期間中接地される別の電極を設けることができる。
しかしながら′！！た、測定装置内に存在する電極、例
えば質量スペクトロメータにおけるＷ４向′ｒヒ極また
は分離′「に極或いは電離真空計の陽極を試験期間中制
御電極として使用することも可能である。これらの電極
は、イオンまたは粒子捕捉部に対し、信号捕捉部に試験
信号全導入する経路となる特定の容ｆを有すて設けられ
た分離または偏向系の電極を制御電極として使用するＪ
Ｘ鷺スペクトロメータに適用され得る。
えば質量スペクトロメータにおけるＷ４向′ｒヒ極また
は分離′「に極或いは電離真空計の陽極を試験期間中制
御電極として使用することも可能である。これらの電極
は、イオンまたは粒子捕捉部に対し、信号捕捉部に試験
信号全導入する経路となる特定の容ｆを有すて設けられ
た分離または偏向系の電極を制御電極として使用するＪ
Ｘ鷺スペクトロメータに適用され得る。
また本発明の方法は陽極を？ｌ！ＩＪ＃電極として使用
する電離真空計に適用され得る。
する電離真空計に適用され得る。
本発明の装置ｉ１１構成は粒子捕捉器に別の制御電極が
設けられるかまたは、粒子捕捉器の前に配設されている
分離または偏向系の′＃Ｌ極が制＠電極として用いられ
る粒子捕捉器は質量スペクトロメータに適用され得る。
設けられるかまたは、粒子捕捉器の前に配設されている
分離または偏向系の′＃Ｌ極が制＠電極として用いられ
る粒子捕捉器は質量スペクトロメータに適用され得る。
また、本発明の装置＊Ｉｙ：、は粒子捕捉器に別の制御
電極が設けられるか葦たは陽極が制御電極として用いる
陰極、陽極およびイオン捕捉電極を備えている電離真空
針に適用され得る。
電極が設けられるか葦たは陽極が制御電極として用いる
陰極、陽極およびイオン捕捉電極を備えている電離真空
針に適用され得る。
実施例
以下、第１図ないし第５図を参照し本発明の実施例に関
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
＠１図に示した実施例は真空室２内に設けられている粒
子捕捉器１′に有する。この捕捉器は、例、ｔばＸ量ス
ペクトロメータまたは電離真空耐内に組込筐れた場合、
発生されるイオン全捕捉するｗＪき全なす。２仄電子増
倍管の場合には、粒子捕捉器１には、増幅された電子流
が衝突する。粒子捕捉器１に現れるｉｔｆ ’＋［粒子
は′電流を発生し、この電流は、碍管３を介して室４に
尋かれる。この室４には、尚オームの砥抗器６を備えた
増幅器５が収容されてシシ、この増幅器５は粒子捕捉器
１から送出される電流全電圧信号に変換する。この場合
、電流信号或いは粒子流に対厄する周波数への変換が望
′まれる場合もしばしばある。
子捕捉器１′に有する。この捕捉器は、例、ｔばＸ量ス
ペクトロメータまたは電離真空耐内に組込筐れた場合、
発生されるイオン全捕捉するｗＪき全なす。２仄電子増
倍管の場合には、粒子捕捉器１には、増幅された電子流
が衝突する。粒子捕捉器１に現れるｉｔｆ ’＋［粒子
は′電流を発生し、この電流は、碍管３を介して室４に
尋かれる。この室４には、尚オームの砥抗器６を備えた
増幅器５が収容されてシシ、この増幅器５は粒子捕捉器
１から送出される電流全電圧信号に変換する。この場合
、電流信号或いは粒子流に対厄する周波数への変換が望
′まれる場合もしばしばある。
真空室２内には、粒子捕捉器１から過当な間隔で制御電
極７が設けられている。粒子捕捉器１に対するこの制御
電極の大きさ２よび配置は、粒子捕捉器１に対しｐＦ台
の容量Ｃｋが形成されるように選択するのが合目的的で
ある。スイッチ８ｔ−用いて、制御電極を選択的に電圧
発生器９に接続したり（試験時間）または接地する（測
定時間）ことができる。
極７が設けられている。粒子捕捉器１に対するこの制御
電極の大きさ２よび配置は、粒子捕捉器１に対しｐＦ台
の容量Ｃｋが形成されるように選択するのが合目的的で
ある。スイッチ８ｔ−用いて、制御電極を選択的に電圧
発生器９に接続したり（試験時間）または接地する（測
定時間）ことができる。
高感度の電子索子５．６ｔ−有する空間もしくは室４が
存在するハウシング１１は、遮蔽材料から構成されてお
り、増幅器はこれにより外部場からの妨害に対して保禮
される。また、粒子捕捉器１および制御電極７の幀城に
もこの種の）Ｊｇ蔽もしくはシールドを設けるのが合目
的的である。
存在するハウシング１１は、遮蔽材料から構成されてお
り、増幅器はこれにより外部場からの妨害に対して保禮
される。また、粒子捕捉器１および制御電極７の幀城に
もこの種の）Ｊｇ蔽もしくはシールドを設けるのが合目
的的である。
第１図に示した実施例においては、制御電極７は測定モ
ーｒ中は接地され、従って、測定過程には関与しない。
ーｒ中は接地され、従って、測定過程には関与しない。
粒子捕捉器１に接続された測定１６号路の試験、特に高
感度構成素子の領域における試験全行う際には、制御電
極７は電圧発生８Ｓ９に接続される。後者は、この電極
に三角波電圧を印加する（第２図が照）。この三角狡も
しくはのこぎり波電圧の典型的な値は、立上り速度が１
’／／秒よりも小さい領域にあり、周波数は０．１ Ｈ
ｚである。三角波７ヒ圧は、一定の立上りの各相中に、
捕捉器１に一定の電流！移もしくはシフト１発生し、増
幅器の出力端に出力電圧全発生する。
感度構成素子の領域における試験全行う際には、制御電
極７は電圧発生８Ｓ９に接続される。後者は、この電極
に三角波電圧を印加する（第２図が照）。この三角狡も
しくはのこぎり波電圧の典型的な値は、立上り速度が１
’／／秒よりも小さい領域にあり、周波数は０．１ Ｈ
ｚである。三角波７ヒ圧は、一定の立上りの各相中に、
捕捉器１に一定の電流！移もしくはシフト１発生し、増
幅器の出力端に出力電圧全発生する。
理想的な場合には、出力電比は矩形の波形として現れる
。しかしながら実際には、矩形波電圧の高レベル振幅ｉ
ｌ″！、遊移関畝に工り和瓦結合される。予め定められ
た発生器′電圧Ｕ。（第２図）における出力電圧ＵＡの
典型的な変化が第６図に示しである。
。しかしながら実際には、矩形波電圧の高レベル振幅ｉ
ｌ″！、遊移関畝に工り和瓦結合される。予め定められ
た発生器′電圧Ｕ。（第２図）における出力電圧ＵＡの
典型的な変化が第６図に示しである。
出力′１圧の彼、％ＩＪＩＩＪＬは、次式で与えられる
。
。
上式中Ｃｋは、制σ１１″Ｌに極７と粒子捕捉器１との
間における結合容量である。Ｃ１（は既知であり一定値
に再現可能であるので、′電圧発生器９からの電圧が既
知であれば、第１図に示した実施例の出力端１２には正
確に求めることかでさる信号が発生される。開側１電極
７に第２図に示した三角波電圧信号全印加すれば、出力
端１２には矩形波の出力電ＥＥ（第６図）が発生する。
間における結合容量である。Ｃ１（は既知であり一定値
に再現可能であるので、′電圧発生器９からの電圧が既
知であれば、第１図に示した実施例の出力端１２には正
確に求めることかでさる信号が発生される。開側１電極
７に第２図に示した三角波電圧信号全印加すれば、出力
端１２には矩形波の出力電ＥＥ（第６図）が発生する。
この出力信号の正の波高値および負の波高値の差は、機
能の制御に対する尺度或いは粒子捕捉器１に接続される
回路の感度の尺度として用いることができる。
能の制御に対する尺度或いは粒子捕捉器１に接続される
回路の感度の尺度として用いることができる。
この試験方法は、少なくとも第１段においてバイボーラ
イｇ号、即ち交流電圧（ｆｆ号を処理することができる
宝ての増幅器に通用用能である。
イｇ号、即ち交流電圧（ｆｆ号を処理することができる
宝ての増幅器に通用用能である。
と百うのは、増幅器の出力端に現れる試験信号の平均１
直は常に４に等しくなる筈であるからである。
直は常に４に等しくなる筈であるからである。
第４図は、電啼真空計測定管１３の典型的な構成を示す
。この装置はイオン捕捉部１ｓｔ取巻く螺旋状の陽極１
４を備えている。陰極１６は陽極１４に隣接して設けら
れている。
。この装置はイオン捕捉部１ｓｔ取巻く螺旋状の陽極１
４を備えている。陰極１６は陽極１４に隣接して設けら
れている。
この種の測定管におけるイオン捕捉部１５に接続された
測定７号路の試験は、試験モード中陽極１４に制御′ｔ
ＪＬ極として使用することにより実施される。陽極１４
に第２図ののこぎり波電圧を印加すると、イオン捕捉部
１５には所望の遺１多電流が生ずる。接続されている電
子素子の機能制御もしくはモニタは、既述の仕方で行わ
れる。
測定７号路の試験は、試験モード中陽極１４に制御′ｔ
ＪＬ極として使用することにより実施される。陽極１４
に第２図ののこぎり波電圧を印加すると、イオン捕捉部
１５には所望の遺１多電流が生ずる。接続されている電
子素子の機能制御もしくはモニタは、既述の仕方で行わ
れる。
第５図は、ヘリウム―洩倹丘分封でしばしば用いられる
買猜スベクトロメ−７１７’に示す。
買猜スベクトロメ−７１７’に示す。
ｉｎスペクトロメータのイオン源は参照数字１８で示し
である。このイオン源には、図示されていない仕方で被
検ガスが供給される。室１９の領域には、発生されるイ
オンに対する偏向場が存在し、この偏向場は試験ガスν
りえばヘリウムの質量に対し固定的に設定されている。
である。このイオン源には、図示されていない仕方で被
検ガスが供給される。室１９の領域には、発生されるイ
オンに対する偏向場が存在し、この偏向場は試験ガスν
りえばヘリウムの質量に対し固定的に設定されている。
この質量のイオンにけが、破線で示した軌跡２１を辿り
、偏向電極２３．２４が存在する呈２２円１ｃＪする。
、偏向電極２３．２４が存在する呈２２円１ｃＪする。
これら偏向′電極にエクイオンはイオン捕捉部２５に得
かれる。助くして発生される電流は再び碍管３を介して
ユ冒幅器５（図示せず）に供給される。
かれる。助くして発生される電流は再び碍管３を介して
ユ冒幅器５（図示せず）に供給される。
ｉ＠５図に示した買置スペクトロメータにおいては、制
御電極として２つの偏向電極２３．２４のうちの１つを
使用することが可能である。
御電極として２つの偏向電極２３．２４のうちの１つを
使用することが可能である。
また、分離装置の粒子捕捉部の前に設けられてイル電＋
ｄｉ（例えば４極質量スペクトロメータノ電極のうちの
１つの電極）をも、ｉｋ制御電極として用いることかで
さよう。試験モード中、関連の′ＬＩｔ極は電圧発生器
９に接続され、そして測定信号路の制御もしくはモニタ
は既述の仕方で行われる。
ｄｉ（例えば４極質量スペクトロメータノ電極のうちの
１つの電極）をも、ｉｋ制御電極として用いることかで
さよう。試験モード中、関連の′ＬＩｔ極は電圧発生器
９に接続され、そして測定信号路の制御もしくはモニタ
は既述の仕方で行われる。
第４図お工び第５図に示した実施例においては、電離真
空オしｊ３・工び質量スペクトロメータ全後続した状態
で測定信号路のチェックを行うことかでさる。試験モー
ド中割＋１１１１’ル他として用いられる゛区極１４お
工び２３には、測定モーげ巾測定電圧が印加される。こ
の直流電圧は、′電圧発生器９の出力であるのこぎ９波
交流電圧に重畳し、それＶＣ、Ｃり所望の遷移もしくは
シフト電流がイオン捕捉部１５または２５に惹起する。
空オしｊ３・工び質量スペクトロメータ全後続した状態
で測定信号路のチェックを行うことかでさる。試験モー
ド中割＋１１１１’ル他として用いられる゛区極１４お
工び２３には、測定モーげ巾測定電圧が印加される。こ
の直流電圧は、′電圧発生器９の出力であるのこぎ９波
交流電圧に重畳し、それＶＣ、Ｃり所望の遷移もしくは
シフト電流がイオン捕捉部１５または２５に惹起する。
この方法による接続された′電子装置の許容し得る。倹
食の前提条件ＣＪ１試験モード期間中、比ノ絞的安定な
圧力状態が支配することであることは言う迄もない。
食の前提条件ＣＪ１試験モード期間中、比ノ絞的安定な
圧力状態が支配することであることは言う迄もない。
試験モーｒの特に有利な実施態様として、各測定開始前
に、開開１電極として用いられる電極１４．２３に：印
加される駆動電圧全ランプ状に立上らせ、制御されなＡ
変化を導入しない。即ち制御電極には、電圧発生器９に
エリ発生される４つの立上り縁のうちの１つ次けが印加
される。この印加電圧の唯一っの画定された立上り縁で
イオン捕捉部１４．２５Ｖｃ、ａ起される透移もしくは
シフト″ｒＩＬ流金、特別ＶＣ付加的な費用を１＋９こ
と無く、測定が影響されない時点で１６号路の検ｆに用
いることかでさる。
に、開開１電極として用いられる電極１４．２３に：印
加される駆動電圧全ランプ状に立上らせ、制御されなＡ
変化を導入しない。即ち制御電極には、電圧発生器９に
エリ発生される４つの立上り縁のうちの１つ次けが印加
される。この印加電圧の唯一っの画定された立上り縁で
イオン捕捉部１４．２５Ｖｃ、ａ起される透移もしくは
シフト″ｒＩＬ流金、特別ＶＣ付加的な費用を１＋９こ
と無く、測定が影響されない時点で１６号路の検ｆに用
いることかでさる。
本発明によれば、組付けられた状態（夕１」えば待勘モ
ードにおいて）電位計増幅器の感度ｒ特定の較正前提条
件下で試験することかでさる。
ードにおいて）電位計増幅器の感度ｒ特定の較正前提条
件下で試験することかでさる。
特に、ヘリウム（Ｍ戊倹査装置のための高感度賀蛍スベ
クトコメータの壱肝には、測定信号路のこの噴量方法が
有意床である。
クトコメータの壱肝には、測定信号路のこの噴量方法が
有意床である。
対応の１ｕ１）側」手段を設けることにニジ、Ｊ：述の
検査は自動チェックで行うことかでさる。待Ｖこ、投入
される駆＠電圧がランプ状に立上り粒子捕捉部に明確に
定義可能な遷移もしくはシフト電流が惹起される上述の
試験方法は自動検査に適している。
検査は自動チェックで行うことかでさる。待Ｖこ、投入
される駆＠電圧がランプ状に立上り粒子捕捉部に明確に
定義可能な遷移もしくはシフト電流が惹起される上述の
試験方法は自動検査に適している。
発明の効果
本発明によれば、従来不可能であった質量スペクトロメ
ータ、電離真空計等を、１０−１２Ａ領域の微小電流を
用いて試験することが可能となるという効果が得られる
。
ータ、電離真空計等を、１０−１２Ａ領域の微小電流を
用いて試験することが可能となるという効果が得られる
。
第１図は本発明の第１の実施例の構成を略示する部分断
面図、第２図は第１図の装置で用いられている電圧発生
器により発生されるのこぎり波電圧を示す波形図、第３
図は第１図の装置の出力端１２に現れる電圧の波形図、
第４図は本発明の別の実施例による装置の構成を示す図
、そして第５図は本発明のさらに他の実施例による装置
の構成を略示する断面図である。 １・・・粒子捕捉器、２・・・真空室、３・・・碍管、
４・・・室、５・・・増幅器、６・・・電子素子、Ｔ・
・・制御電極、８・・・スイッチ、９・・・電圧発生器
、１１・・・ハウジング、１２・・・出力端、１３・・
・電離真空計測定管、１４・・・陽極、１５・・・イオ
ン捕捉部、１６・・・陰極、１７・・・質量スペクトロ
メータ、１８・・・イオン源、１９・・・室、２２・・
・室、２３．２４・・・偏向電極、２５・・・イオン捕
捉部。 第１図 １−・粒子７ギ撲呑 ７・キ１脚電借 第４図 １４＠し耳ｉ極 １５−＃、；挿投缶 第５図 ２３制御電極 ２５粒＋補援誌
面図、第２図は第１図の装置で用いられている電圧発生
器により発生されるのこぎり波電圧を示す波形図、第３
図は第１図の装置の出力端１２に現れる電圧の波形図、
第４図は本発明の別の実施例による装置の構成を示す図
、そして第５図は本発明のさらに他の実施例による装置
の構成を略示する断面図である。 １・・・粒子捕捉器、２・・・真空室、３・・・碍管、
４・・・室、５・・・増幅器、６・・・電子素子、Ｔ・
・・制御電極、８・・・スイッチ、９・・・電圧発生器
、１１・・・ハウジング、１２・・・出力端、１３・・
・電離真空計測定管、１４・・・陽極、１５・・・イオ
ン捕捉部、１６・・・陰極、１７・・・質量スペクトロ
メータ、１８・・・イオン源、１９・・・室、２２・・
・室、２３．２４・・・偏向電極、２５・・・イオン捕
捉部。 第１図 １−・粒子７ギ撲呑 ７・キ１脚電借 第４図 １４＠し耳ｉ極 １５−＃、；挿投缶 第５図 ２３制御電極 ２５粒＋補援誌
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、帯電された粒子のための粒子捕捉器と、該粒子捕捉
器に後置接続されて電圧または電流信号を発生するため
の増幅器とを備え、前記粒子捕捉器中に既知の信号が導
入される測定装置の測定信号路の検査方法において、前
記粒子捕捉器（１、１５、２５）の近傍に存在する制御
（感応）電極（７、１４、２３）を用いて遷移（変位）
電流を前記粒子捕捉器中に導入することを特徴とする測
定信号路の検査方法。 ２、制御電極として測定装置に既に存在する電極（１４
、２３）を使用する特許請求の範囲第１項記載の測定信
号路の検査方法。 ３、制御電極（７、１４、２３）に、遷移電流を発生す
るためにのこぎり波状電圧を印加する特許請求の範囲第
１項または第２項に記載の測定信号路の検査方法。 ４、機能を制御するためまたは感度を測定するための手
段として、制御電極（７、１４、 ２３）に印加される三角波電圧信号（Ｕ＿Ｇ）により惹
起される信号処理回路の矩形波出力 電圧（Ｕ＿Ａ）の正の波高値と負の波高値との間の差を
利用する特許請求の範囲第３項記載の測定信号路の検査
方法。 ５、測定装置内に存在し試験中制御電極として用いられ
る電極（１４、２３）が必要とする駆動電圧をランプ状
に立上らせまたは立下らせて、所望の遷移電流を発生す
る特許請求の範囲第２項記載の測定信号路の検査方法。 ６、帯電された粒子のための粒子捕捉器と、該粒子捕捉
器に後直接続されて電圧または電流信号を発生するため
の増幅器とを備え、前記粒子捕捉器に既知の信号が導入
される測定装置の測定信号路の検査方法を実施するため
の装置において、測定装置と、粒子捕捉器と、該粒子捕
捉器に後置接続された増幅器とを備え、前記粒子捕捉器
（１、１５、２５）の領域に制御電極（７、１４、２３
）を設けたことを特徴とする装置。 ７、粒子捕捉器（１）に、測定モード中設置される別の
制御電極を設けた特許請求の範囲第６項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| EP85112978A EP0219557B1 (de) | 1985-10-12 | 1985-10-12 | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung des Messsignalpfades einer Messeinrichtung |
| EP85112978.3 | 1985-10-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143357A true JPS62143357A (ja) | 1987-06-26 |
| JPH0715811B2 JPH0715811B2 (ja) | 1995-02-22 |
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ID=8193822
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| JP61241583A Expired - Fee Related JPH0715811B2 (ja) | 1985-10-12 | 1986-10-13 | 測定装置の測定信号路を検査する方法および装置 |
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1986-10-13 JP JP61241583A patent/JPH0715811B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0715811B2 (ja) | 1995-02-22 |
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