JPS62142486U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62142486U JPS62142486U JP1985173928U JP17392885U JPS62142486U JP S62142486 U JPS62142486 U JP S62142486U JP 1985173928 U JP1985173928 U JP 1985173928U JP 17392885 U JP17392885 U JP 17392885U JP S62142486 U JPS62142486 U JP S62142486U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- cutter device
- laser beam
- round cutter
- semiconductor element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第1図は本考案の一実施例を示す構成図、第2
図はレーザカツトの部分拡大図、第3図はレーザ
光発生装置の概念図である。 1…レーザ光、3…半導体素子ウエハー、3′
…ウエハー表面、4…ウエハー支持台、4′…ウ
エハー支持台表面、7…受光部、8…赤外線、9
…発光部、10…制御部。
図はレーザカツトの部分拡大図、第3図はレーザ
光発生装置の概念図である。 1…レーザ光、3…半導体素子ウエハー、3′
…ウエハー表面、4…ウエハー支持台、4′…ウ
エハー支持台表面、7…受光部、8…赤外線、9
…発光部、10…制御部。
補正 昭62.4.8
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 レーザーラウンドカツター装置
Claims (1)
- PN接合を有する半導体素子ウエハーをレーザ
光により溶断して多数のペレツトに分割するレー
ザーラウンドカツター装置において、赤外線を照
射しその反射信号により制御されるレーザ光発射
レンズの焦点合せ機構を有することを特徴とする
レーザラウンドカツター装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985173928U JPS62142486U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985173928U JPS62142486U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62142486U true JPS62142486U (ja) | 1987-09-08 |
Family
ID=31111849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985173928U Pending JPS62142486U (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62142486U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003124154A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の穴形成方法 |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP1985173928U patent/JPS62142486U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003124154A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の穴形成方法 |