JPH0281783U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0281783U JPH0281783U JP1988158933U JP15893388U JPH0281783U JP H0281783 U JPH0281783 U JP H0281783U JP 1988158933 U JP1988158933 U JP 1988158933U JP 15893388 U JP15893388 U JP 15893388U JP H0281783 U JPH0281783 U JP H0281783U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- sensor
- processing device
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
第1図はこの考案を実施する一実施例のレーザ
加工装置の概略図、第2図AおよびBはセンサ装
置におけるセンサの一例を示す拡大断面図である
。 1……レーザ加工装置、3……レーザ発振器、
7……集光レンズ、11……センサ装置、13…
…センサ、13R……リング、13A〜13D…
…センサ片。
加工装置の概略図、第2図AおよびBはセンサ装
置におけるセンサの一例を示す拡大断面図である
。 1……レーザ加工装置、3……レーザ発振器、
7……集光レンズ、11……センサ装置、13…
…センサ、13R……リング、13A〜13D…
…センサ片。
Claims (1)
- レーザビームを発振させるレーザ発振器とこの
レーザ発振器により発振されたレーザビームを集
光させる集光レンズとのレーザビーム経路途中に
レーザビームの戻り光を検出するセンサ装置を設
け、このセンサ装置におけるレーザビームの径よ
り大きな同心円周部にセンサを備えてなることを
特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988158933U JPH0634068Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988158933U JPH0634068Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0281783U true JPH0281783U (ja) | 1990-06-25 |
JPH0634068Y2 JPH0634068Y2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=31439699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988158933U Expired - Lifetime JPH0634068Y2 (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0634068Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113874152A (zh) * | 2019-07-01 | 2021-12-31 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光加工头、激光加工装置以及激光加工控制方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56145021U (ja) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP1988158933U patent/JPH0634068Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56145021U (ja) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113874152A (zh) * | 2019-07-01 | 2021-12-31 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光加工头、激光加工装置以及激光加工控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0634068Y2 (ja) | 1994-09-07 |