JPS62141020A - Epoxy resin composition - Google Patents

Epoxy resin composition

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JPS62141020A
JPS62141020A JP28069885A JP28069885A JPS62141020A JP S62141020 A JPS62141020 A JP S62141020A JP 28069885 A JP28069885 A JP 28069885A JP 28069885 A JP28069885 A JP 28069885A JP S62141020 A JPS62141020 A JP S62141020A
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epoxy resin
resin composition
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epoxy
less
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藤村 嘉夫
Tetsuo Yoshida
哲夫 吉田
Hatsuji Shiraishi
白石 初二
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the titled composition excellent in moisture resistance, electrical properties, etc., and suitable for semiconductor sealing, by mixing a high-purity cresol novolak epoxy resin with a novolak phenolic resin, a specific cure accelerator and an inorganic filler. CONSTITUTION:A cresol novolak epoxy resin (A) of an organic acid content <=100ppm, a chloride ion content <=2ppm, a hydrolyzable chlorine content <=500ppm and an epoxy equivalent of 180-230 is mixed with a curing agent (B) comprising a novolak phenolic resin of a softening point of 75-120 deg.C, an organic acid content <=100ppm, free Na and Cl contents >=2ppm for each and a free phenol content <=1%, a cure accelerator (C) comprising an equimolar association product of a compound having both of a carboxyl group and an ester group in the molecule of the formula (wherein R is a 1-17C alkyl, phenyl or the like) with imidazole compound and an inorganic filler (D) at a molar ratio of the epoxy groups or component A to the phenolic hydroxyl groups of component B of 0.8-1.5.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は特に半導体装置封止用等として好適に用いられ
るエポキシ樹脂組成物に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to an epoxy resin composition particularly suitable for use in encapsulating semiconductor devices.

従来の技術及び発明が解決しようとする問題点エポキシ
樹脂成形材料は、一般に他の熱硬化性樹脂に比べて、電
気特性、機械特性、接着性、耐湿性等に優れておシ、か
つ、成形特低圧でも充分な流動性を有しており、インサ
ート物を変形させたり、傷付けることがないなどの特性
を保持しているため、信頼性の高い電気絶縁材料として
、IC。
Problems to be Solved by the Prior Art and the Invention Epoxy resin molding materials generally have superior electrical properties, mechanical properties, adhesion, moisture resistance, etc., compared to other thermosetting resins, and are easy to mold. IC is a highly reliable electrical insulating material because it has sufficient fluidity even at extremely low pressures and maintains characteristics such as not deforming or damaging inserts.

LSI 、ダイオード、トランジスター、抵抗器等の電
子部品の封止や含浸などに巾広く利用されている。
It is widely used for sealing and impregnating electronic components such as LSIs, diodes, transistors, and resistors.

従来、このエポキシ樹脂成形材料の代表的な硬化剤とし
て、酸無水物、芳香族アミン、ノボラック型フェノール
樹脂等が挙げられ、これらのうちでも、ノボラック型フ
ェノール樹脂を硬化剤としたエポキシ樹脂成形材料は、
他の硬化剤を使用したエポキシ樹脂成形材料に比べて耐
湿性、信頼性、成形性などの点において最も優れ、かつ
毒性がなく安価であるという特徴を有しているために、
IC。
Conventionally, typical curing agents for this epoxy resin molding material include acid anhydrides, aromatic amines, novolac type phenolic resins, etc. Among these, epoxy resin molding materials using novolak type phenolic resin as a curing agent teeth,
Compared to epoxy resin molding materials that use other hardening agents, it has the best characteristics in terms of moisture resistance, reliability, moldability, etc., and is also non-toxic and inexpensive.
I.C.

LSI 、ダイオード、トランジスター等の半導体装置
の樹脂封止材料として広く用いられている。
It is widely used as a resin encapsulation material for semiconductor devices such as LSIs, diodes, and transistors.

しかしながら、ノボラック型フェノール樹脂を硬化剤と
したエポキシ樹脂成形材料は高温での′こ気持性が悪い
ため、これを用いての動作温度が80℃以上だなるMO
8型半導体装置を制止した揚台、この封止装置は電極間
にリーク電流が流れ、正常な半導体特性を示さなくなシ
、又、ICi樹脂封止し、高温高湿度下での劣化試験を
行なうとチップの配線に使用しているアルミニウム線が
短時間で腐食し、断線が発生する等の欠点を有している
However, epoxy resin molding materials using novolak type phenolic resin as a curing agent have poor thermal properties at high temperatures.
The platform that restrained the 8-type semiconductor device, this sealing device caused leakage current to flow between the electrodes and did not exhibit normal semiconductor characteristics.In addition, it was sealed with ICi resin and underwent a deterioration test under high temperature and high humidity. If this is done, the aluminum wires used for chip wiring will corrode in a short period of time, resulting in wire breaks.

このため、エポキシ樹脂組成物を構成するエポキシ樹脂
、硬化剤は勿論のこと、その他各種成分についても種々
検討され、高温高湿時の耐湿特性及び高温時の電気特性
に若干の改良はされてはいるものの、半導体対土用など
としては必ずしも十分でなく、更に耐湿性、高温電気特
性に優れたエポキシ樹脂組成物が望まれている。
For this reason, not only the epoxy resin and curing agent that make up the epoxy resin composition, but also various other components have been investigated, and some improvements have been made in the moisture resistance properties at high temperatures and high humidity and the electrical properties at high temperatures. However, epoxy resin compositions are not necessarily sufficient for use in semiconductors, and there is a need for epoxy resin compositions that have excellent moisture resistance and high-temperature electrical properties.

また、半導体装置等においては大量安価な生産が求めら
れてお夕、このため半導体装置の樹脂封止は、最近では
大量生産可能なトランスファ成形法、なかでもチップの
パッシベーション技術及びその周辺技術の進歩に伴い、
低圧トランスファ成型法による樹脂封止が主流となって
きておシ、これら成型法のための金型もキャビティ数が
増え、金型が大型化する傾向を示し、加えて生産の無人
化が進展している。他方、半導体装置のフレームの材質
も低価格化の方向へと進み、4.270イから銅板に銀
めっきを施したもの、さらに銅板にニッケルめっきを施
したものへと変化してきた。
In addition, as semiconductor devices are required to be mass-produced at low cost, resin encapsulation of semiconductor devices has recently been replaced by transfer molding methods that can be mass-produced, especially advances in chip passivation technology and related peripheral technologies. Along with,
Resin sealing using low-pressure transfer molding has become mainstream, and molds for these molding methods have an increasing number of cavities and a tendency to become larger.In addition, unmanned production is progressing. ing. On the other hand, the materials for the frames of semiconductor devices have also been moving toward lower prices, and have changed from 4.270I to silver-plated copper plates, and then to nickel-plated copper plates.

こうした動向に対応して、現在、樹脂組成物は社種の特
性改良が必要とされている。即ち、上記の成型用金型の
大型化に対応して、樹脂組成物は従来よシもさらに優れ
た流動性及び充填性が必要とされ、同様に上記の生産の
無人化に対応して、樹脂組成物の組成、成形条件等の生
産条件を変更することなく生産が行なえるよう、より優
れた保存安定性、巾広い作業性が求められている。また
、最近の傾向として無機質充填材の含有率の高い熱放散
性の改良を目的とした樹脂組成物を未充填、ボイド等の
欠陥を生じることなく、かつ半導体装置の断線ヲ生じる
ことなく、従って高価な半導体装置を不良品とすること
なく生産することができ、更に、低圧で十分流動性に優
れた樹脂組成物への要求が高まるなど、必要とされる種
々の特性改良の改良課題は様々な要求′ilI]を反映
している。他方、半導体装置のフレームの材質の変化に
対応して、樹脂組成物は4.270イ、銀やニッケルな
どに対する優れた接着性が求められているが、フェノー
ル硬化型エポキシ樹脂は、4.2アロイや銀に対する接
着性に優れている反面、ニッケルに対する接着性に劣る
ため、フェノール硬化型エポキシ樹脂で半導体装置を樹
脂封止すると、耐湿性が悪いとか、また、樹脂厚が薄い
フラン) A?ラックでは、フレームと樹脂との接着性
に劣るためフランが発生するなどの欠点を有している。
In response to these trends, there is currently a need to improve the characteristics of resin compositions. That is, in response to the increase in the size of the above-mentioned molding molds, resin compositions are required to have even better fluidity and filling properties than conventional ones, and similarly, in response to the above-mentioned unmanned production, Better storage stability and wider workability are required so that production can be carried out without changing production conditions such as the composition of the resin composition and molding conditions. In addition, as a recent trend, resin compositions with a high content of inorganic fillers aimed at improving heat dissipation properties are not filled, without causing defects such as voids, and without causing disconnections in semiconductor devices. There is a growing demand for resin compositions that can produce expensive semiconductor devices without rejecting them and have sufficient fluidity at low pressure. It reflects the requirements 'ilI]. On the other hand, in response to changes in the materials of frames of semiconductor devices, resin compositions are required to have excellent adhesion to silver, nickel, etc. of 4.270, but phenol-curing epoxy resins have a rating of 4.2. Although it has excellent adhesion to alloys and silver, it has poor adhesion to nickel, so when semiconductor devices are encapsulated with phenol-curing epoxy resin, moisture resistance is poor, and the resin is thin (furan).) A? The rack has drawbacks such as flan formation due to poor adhesion between the frame and the resin.

本発明は上記事情に鑑みなされたもので、優れた耐湿性
、高温電気特性を有するのみならず、ニッケル等に対す
る接着性、流動性保持率が高いなど、保存安定性に優れ
たエポキシ樹脂組成物を提供することを目的とする。
The present invention was made in view of the above circumstances, and provides an epoxy resin composition that not only has excellent moisture resistance and high-temperature electrical properties, but also has excellent storage stability, such as adhesion to nickel, etc., and high fluidity retention. The purpose is to provide

問題点を解決するための手段及び作用 本発明者らは、上記目的を達成すべく、種々検討を行な
った結果、まずエポキシ樹脂組成物を半導体封止用とし
て使用した場合にみられる耐湿性、高温電気特性の劣る
原因を以下の41口のように考えた。
Means and Effects for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present inventors have conducted various studies, and as a result, firstly, the moisture resistance, which is observed when an epoxy resin composition is used for semiconductor encapsulation, The following 41 reasons were considered for the poor high-temperature electrical characteristics.

イ、半導体封止用として高温電気特性の劣る原因 封止樹脂中に微量のイオン性不純物や極性物質が含まれ
ていると、これらが高温雰囲気において活発化し、動き
易くなる。更に封止樹脂は半導体素子の表面に直接に接
しているが、半導体素子に電界が発生した場合、素子に
接している樹脂部分では電界の作用によシイオン性不純
物や極性物質の動き易さが促進され、素子と樹脂との界
面において樹脂の特性劣化が生じる。このため、素子の
電極間にリーク電流が生じ、ひいてはショート現象を発
生し、ついには素子が正常な半導体特性を示さなくなる
B. Cause of poor high-temperature electrical properties for semiconductor encapsulation If the encapsulation resin contains trace amounts of ionic impurities or polar substances, these become active and move easily in a high-temperature atmosphere. Furthermore, the encapsulating resin is in direct contact with the surface of the semiconductor element, but when an electric field is generated in the semiconductor element, ionic impurities and polar substances can easily move in the resin part that is in contact with the element due to the action of the electric field. This accelerates the deterioration of resin properties at the interface between the element and the resin. For this reason, a leakage current occurs between the electrodes of the device, which in turn causes a short circuit phenomenon, and eventually the device no longer exhibits normal semiconductor characteristics.

口、高温高湿雰囲気下に放置され7’(ICのアルミニ
ウム配線の腐食の原因 (i)  封止用樹脂と素子、リードフレームとの接着
性が悪い場合には、高温高湿雰囲気下において素子とリ
ードフレームとの界面に水分が浸透し素子まで到達する
。この水分によフ、エポキシ樹脂組成物の硬化物から微
量の水溶性物質、例えば塩素、ナトリウム、有機酸等の
イオン性不純物や極性基を持った未反応物が溶出され、
半導体素子表面に到達してアルミニウム配線を腐食させ
る。
(Causes of corrosion of aluminum wiring of IC (i)) If the adhesiveness between the sealing resin, the element, and the lead frame is poor, the element may be left in a high temperature and high humidity atmosphere. Moisture penetrates the interface between the lead frame and the lead frame and reaches the device.This moisture removes trace amounts of water-soluble substances from the cured epoxy resin composition, such as ionic impurities such as chlorine, sodium, and organic acids, and polar Unreacted substances with groups are eluted,
It reaches the surface of the semiconductor element and corrodes the aluminum wiring.

Gi)  半導体装置のエポキシ樹脂組成物の硬化物が
吸湿性、透水性を有しているため、高温高湿雰囲気下で
外部からの水分が硬化物を通って内部に浸透し、半導体
素子の表面に到達する。以下中と同様にしてアルミニウ
ム配線を腐食させる。
Gi) Since the cured product of the epoxy resin composition for semiconductor devices has hygroscopicity and water permeability, moisture from the outside penetrates into the interior through the cured product in a high-temperature, high-humidity atmosphere, and the surface of the semiconductor element. reach. Corrode the aluminum wiring in the same manner as described below.

そこで、本発明者らは、硬化剤としてノボラック型フェ
ノール樹脂を使用することによシ従来のエポキシ樹脂組
成物にみられる優れた利点を生かし、しかも上記イ、口
に基づく耐湿性、高温電気特性の低下原因を可及的にな
くしたエポキシ樹脂組成物につき鋭意検討を行なった結
果、エポキシ樹脂組成物中のイオン性あるいは極性の不
純物を減少すること、このためには、とりわけエポキシ
樹脂中の有機酸、塩素イオン及び加水分解性塩素の量と
フェノール樹脂中の有機酸及び遊離のNa。
Therefore, the present inventors have made use of the excellent advantages found in conventional epoxy resin compositions by using a novolac type phenolic resin as a curing agent. As a result of intensive research into epoxy resin compositions that eliminate as much as possible the causes of decreases in Amounts of acids, chloride ions and hydrolyzable chlorine and organic acids and free Na in phenolic resins.

Ctの血、フリーのフェノール量ヲ減少すること、また
、エポキシ樹脂のエポキシ当量、エポキシ樹脂のエポキ
シ基(a)とフェノール樹脂のフェノール性水酸基(b
)とのモル比Ca/b )を調整し、フェノール横通の
軟化点を調整すること、しかも、前記工油キシ樹脂、フ
ェノール樹脂に硬化促進剤として特定の分子内にカル?
キシ基とエステル基とを併有する化合物とイミダブール
化合物との会合体を添加併用することにより、硬化特性
、高温時の′眠気特性、耐湿特性に優れ、その結果、高
温高湿下で長時間にわたって放置してもアルミニウム線
が腐食せず、断線も起らず、しかもニッケル等に対する
接着性、成型作業性に優れ、流動性保持率が高いなど、
長期の保存安定性に優れたエポキシ樹脂組成物が得られ
ることを発見し、本発明を完成するに至ったものである
In addition, the epoxy equivalent of the epoxy resin, the epoxy group (a) of the epoxy resin and the phenolic hydroxyl group (b) of the phenolic resin are reduced.
) to adjust the softening point of phenol translocation by adjusting the molar ratio Ca/b) of phenol, and furthermore, calcium is added to the above-mentioned engineered oil xy resin and phenol resin in specific molecules as a curing accelerator.
By adding and using an aggregate of a compound having both a xyl group and an ester group and an imidabul compound, it has excellent curing properties, drowsiness properties at high temperatures, and moisture resistance properties, and as a result, it can be used for a long time under high temperature and high humidity. The aluminum wire does not corrode or break even when left unused, and it also has excellent adhesion to nickel, etc., excellent molding workability, and high fluidity retention.
It was discovered that an epoxy resin composition with excellent long-term storage stability can be obtained, and the present invention was completed.

従って、本発明は (1)有機酸の含有量が100 ppm以下、塩素イオ
ンの含有量が2ppm以下、加水分解性塩系の含有量が
500 ppm以下、エポキシ当量が180〜230の
クレゾールノ?ラックエポキシat 脂、(2)軟化点
が75〜120℃、有機酸の含有量が100 ppm以
下、遊離のNa 、 Clが2 ppm以下、フリーの
フェノールが1%以下で、上記エポキシ樹脂のエポキシ
基(、)とフェノール樹脂のフェノール性水酸基(b)
とのモル比(a/b )が0.8〜1.5の範囲に調整
された配合量のノデラック型フェノール樹脂、 (3)下記式(1) (但し、式中Rは炭素数1〜17のアルキル基。
Therefore, the present invention provides (1) a cresol resin having an organic acid content of 100 ppm or less, a chlorine ion content of 2 ppm or less, a hydrolyzable salt content of 500 ppm or less, and an epoxy equivalent of 180 to 230; Lac epoxy resin, (2) has a softening point of 75 to 120°C, an organic acid content of 100 ppm or less, free Na and Cl of 2 ppm or less, free phenol of 1% or less, and the epoxy of the above epoxy resin. group (,) and phenolic hydroxyl group (b) of phenolic resin
(3) Nodelac type phenol resin with a blending amount adjusted to a molar ratio (a/b) in the range of 0.8 to 1.5, (3) the following formula (1) (However, in the formula, R is a carbon number of 1 to 1. 17 alkyl group.

フェニル基、ベンジル基及びシクロヘキシル基から選ば
れる一価の有機基である。)で示される分子内にカル?
キシル基とエステル基とを併有する化合物とイミダゾー
ル化合物との等モル会合体、及び (4)  無機充填剤 を含有する工4?キシ樹脂組成物を提供するものである
It is a monovalent organic group selected from phenyl, benzyl, and cyclohexyl groups. ) in the molecule indicated by Cal?
An equimolar aggregate of a compound having both a xyl group and an ester group and an imidazole compound, and (4) a compound containing an inorganic filler. The present invention provides a xylene resin composition.

以下、本発明を更に詳しく説明する。The present invention will be explained in more detail below.

まず、本発明の組成物を構成する(1)のエポキシ樹脂
は、平均構造式 で示されるクレゾールノボラックエポキシ樹脂である。
First, the epoxy resin (1) constituting the composition of the present invention is a cresol novolac epoxy resin represented by the average structural formula.

この場合、このエポキシ樹脂としては、その中に含まれ
る有機酸含有量が100 ppm以下、よシ好ましくは
20 ppm以下、塩素イオンが2ppm以下、よシ好
ましくは1 ppm以下、加水分解性の塩素の含有量が
500 ppm以下、より好ましくはa o o pp
m以下、エポキシ当量が180〜230、よシ好ましく
は180〜210のものを用いる必要があシ、これらの
条件が1つでも満足しないと耐湿性が低下する。
In this case, the epoxy resin contains organic acid content of 100 ppm or less, preferably 20 ppm or less, chlorine ion content of 2 ppm or less, preferably 1 ppm or less, and hydrolyzable chlorine. The content of 500 ppm or less, more preferably a o o ppm
It is necessary to use a material having an epoxy equivalent of 180 to 230, preferably 180 to 210. If even one of these conditions is not satisfied, the moisture resistance will decrease.

なお、上述したノ?ラック型エポキシ樹脂は必要によシ
他の工4キシ樹脂1例えばグリシジルエーテル型エポキ
シ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジ
ルアミン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、これら
のハロダン化エポキシ樹脂などと併用することができる
。この場合、これら他のエポキシ樹脂もその有機酸量、
全塩素量を少なくすることが好ましい。また、これら他
のエポキシ樹脂の使用量はノブラック型エポキシ樹脂1
00重量部に対し50重量部以下とすることが好ましい
In addition, the above-mentioned No? Lac-type epoxy resin is necessary, but it can be used in combination with other epoxy resins such as glycidyl ether type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, and these halodanized epoxy resins. can do. In this case, these other epoxy resins also have their organic acid content,
It is preferable to reduce the total amount of chlorine. In addition, the amount of these other epoxy resins used is Noblak type epoxy resin 1
The amount is preferably 50 parts by weight or less relative to 00 parts by weight.

なおまた、上述した(1)成分の使用にあたって、モノ
エポキシ化合物を適宜併用することは差支えなく、この
モノエポキシ化合物としてはスチレンオキシド、シクロ
ヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、メチルグリシ
ジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、フェニルグ
リシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、オクテ
レンオキシド、ドデセンオキシドなどが例示される。
In addition, when using the above-mentioned component (1), there is no problem in using a monoepoxy compound as appropriate, and examples of this monoepoxy compound include styrene oxide, cyclohexene oxide, propylene oxide, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, and phenyl glycidyl. Examples include ether, allyl glycidyl ether, octerene oxide, and dodecene oxide.

また、本発明の硬化剤として使用する(2)のノブラッ
ク型フェノール樹脂は、平均構造式%式%) で示されるフェノールとホルマリンとを酸触媒を用いて
反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂である
が、前記したクレゾールノボラックエポキシ樹脂と同様
に、半導体の耐湿性の点からこのノブラック型フェノー
ル樹脂中の遊離のNa。
In addition, the novolac type phenolic resin (2) used as the curing agent of the present invention is a novolac type phenolic resin obtained by reacting a phenol represented by the average structural formula (% formula %) with formalin using an acid catalyst. However, like the above-mentioned cresol novolac epoxy resin, free Na in this noblack type phenol resin is limited from the viewpoint of moisture resistance of semiconductors.

Cl f 2 ppm以下とする必要がある。また、こ
れて含まれるモノマーのフェノール、即チフリーのフェ
ノールの量が1%を越えると、上記耐湿性に悪影*’を
及はすほかに、この組成物で成形品を作る時、成形品に
?イド、未充填、ひげ等の欠陥が発生するため、上記フ
リーのフェノールの量は1%以下にする必要がある。更
に、このノボラック型フェノール樹脂製造時に残存して
いる微量のホルムアルデヒドのカニツアロ反応によって
生じる6う酸などの有機酸の鼠も半導体の耐湿性の点か
ら100 ppm以下とする必要がある。更に、ノブラ
ック型フェノール樹脂の軟化点が75℃未滴になるとT
gが低くなり、このため耐熱性が悪くなシ、また軟化点
が120℃を越えるとエポキシ樹脂1組酸物の溶融粘度
が高くなって作業性に劣り、いずれの場合も耐湿性が低
下するので、ノボラック型フェノール樹脂の軟化点は7
5〜120℃とする必要がある。
It is necessary to keep Cl f 2 ppm or less. In addition, if the amount of monomer phenol contained in this composition exceeds 1%, it will not only have a negative effect on the moisture resistance mentioned above, but also when molded products are made with this composition. To? Since defects such as hydration, unfilling, whiskers, etc. occur, the amount of free phenol needs to be 1% or less. Furthermore, the amount of organic acids such as hexalic acid produced by the cannibal reaction of trace amounts of formaldehyde remaining during the production of the novolac type phenolic resin must also be kept at 100 ppm or less in view of the moisture resistance of the semiconductor. Furthermore, when the softening point of Noblak type phenolic resin reaches 75℃, T
g becomes low, resulting in poor heat resistance.Also, when the softening point exceeds 120°C, the melt viscosity of the epoxy resin 1 group acid increases, resulting in poor workability, and in both cases, moisture resistance decreases. Therefore, the softening point of novolac type phenolic resin is 7.
It is necessary to set it as 5-120 degreeC.

なお、ノボラック型フェノール樹脂中の遊離のNa 、
 Clのより好ましい範囲は2 ppm以下、フリーの
フェノールの量のよシ好ましい範囲は0.3チ以下、有
機酸の量のより好ましい範囲は30 ppm以下、ノボ
ラック型フェノール樹脂の軟化点のよシ好ましい範囲は
90〜110℃であシ、上記範囲に調整することにより
本発明の目的をより確実に発揮することができる。
In addition, free Na in the novolac type phenolic resin,
A more preferable range for Cl is 2 ppm or less, a more preferable range for the amount of free phenol is 0.3 ppm or less, a more preferable range for the amount of organic acid is 30 ppm or less, and a more preferable range for the amount of free phenol is 30 ppm or less. A preferred range is 90 to 110°C, and by adjusting the temperature within the above range, the object of the present invention can be more reliably achieved.

更に、本発明のノボラック型フェノール樹脂に加えて、
フェノール−フルフラール樹脂、レゾルシン−ホルムア
ルデヒド樹脂、これらのオルガノポリシロキサン変性フ
ェノール樹脂、天然樹脂変性フェノール樹脂、油変性フ
ェノール樹脂などを適宜併用しても差支えない。
Furthermore, in addition to the novolac type phenolic resin of the present invention,
Phenol-furfural resin, resorcinol-formaldehyde resin, these organopolysiloxane-modified phenol resins, natural resin-modified phenol resins, oil-modified phenol resins, and the like may be used in combination as appropriate.

本発明においては、上述したエポキシ樹脂、フェノール
樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物に上述した特定の分
子内にカルボキシル基とエステル基とを併有する化合物
とイミダゾール化合物との会合体を添加することにより
、耐湿性が向上し、しかもニッケル等に対する接着性及
び保存安定性が顕著に向上するものであるが、本発明に
用いられる会合体としては、上述した特定の分子内にカ
ルブキシル基とエステル基とを併有する化合物とイミダ
ゾール化合物との会合体であれば、特にその種類、製造
方法に制限はない。しかし、上記効果を確実に発揮する
などの本発明の目的に対して下記式(2) で示される構造を有する会合体が好適である。これらの
会合体の製造方法としては、特に限定されないが、会合
体を構成する2種類の化合物を溶、。
In the present invention, by adding the above-mentioned aggregate of a compound having both a carboxyl group and an ester group in the specific molecule and an imidazole compound to the epoxy resin composition containing the above-mentioned epoxy resin or phenol resin, Moisture resistance is improved, and adhesion to nickel etc. and storage stability are significantly improved. However, the aggregate used in the present invention has a carboxyl group and an ester group in the above-mentioned specific molecules. As long as it is an aggregate of the compound and the imidazole compound, there are no particular restrictions on its type or production method. However, for the purpose of the present invention, such as reliably exhibiting the above effects, an aggregate having a structure represented by the following formula (2) is preferable. The method for producing these aggregates is not particularly limited, but includes dissolving two types of compounds constituting the aggregates.

反応させて会合体を製造する方法、あるいは、上記2種
類の化合物を共にアセトン等の溶剤に加熱溶解した後に
冷却して溶剤除去することにより会合体全製造する方法
などが挙げられ、容易に会合体を製造することができる
Examples include a method in which an aggregate is produced by a reaction, or a method in which the entire aggregate is produced by heating and dissolving both of the above two types of compounds in a solvent such as acetone, and then cooling and removing the solvent. A combination can be produced.

これら本発明に用いられる会合体の配合量は、上記(1
ンのエポキシ樹脂と(2)のフェノール樹脂との合計量
100重量部当り0.5〜30重量部、好ましくは1〜
5重量部とするものであシ、0.5重量部未満では硬化
性が悪く、30重量部を越えるとエポキシ樹脂組成物の
成形作業性、保存安定性が悪くなり、本発明の目的を達
成し得ない。
The blending amount of these aggregates used in the present invention is as described above (1
0.5 to 30 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the epoxy resin (1) and the phenol resin (2)
If the amount is less than 0.5 parts by weight, the curability will be poor, and if it exceeds 30 parts by weight, the molding workability and storage stability of the epoxy resin composition will be poor, thus achieving the object of the present invention. I can't.

本発明のエポキシ樹脂組成物には、更に上記会合体以外
の硬化促進剤を併用することができるが、これらの硬化
促進剤としてはトリフェニルホスフィン、トリシクロヘ
キシルホスフィン、トリブチルホスフィン、メチルジフ
ェニルホスフィン、1.2−ビス(ジフェニルホスフィ
ノ)エタン、ビス(ジフェニルホスフィノ)メタンナト
の有機ホスフィン化合物、1.8−ノアザビシクロ(5
,4,0)ウンデセン−7などの第3級アミン類、イミ
ダゾール類などが挙げられ、これらを本発明の目的を損
なわない範囲で1種又は2種以上を併用しても差支えな
い。
The epoxy resin composition of the present invention may further contain curing accelerators other than the above-mentioned aggregates, and these curing accelerators include triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, 1 .2-Bis(diphenylphosphino)ethane, bis(diphenylphosphino)methaneto organic phosphine compounds, 1.8-noazabicyclo(5
, 4,0) tertiary amines such as undecene-7, imidazoles, etc., and these may be used alone or in combination of two or more as long as the object of the present invention is not impaired.

本発明において使用する(4)の無機充填剤としては、
例えば石英粉末、アルミナ粉末、タルク、ガラス繊維、
三酸化アンチモンなどが挙げられ、石英粉末としては、
非結晶性、結晶性のいずれであっても、これらの混合物
であってもよく、また天然、合成のいずれであってもよ
いが、エポキシ樹脂組成物をVLS Iメモリ用の半導
体装置についてα腺対策を行なう時に使用する場合には
、ウラン、トリウムなどの官有量の少ない粉末状や球形
の合成石英を用いることが好ましく、更に上記場合に加
えて、烏熱伝導率にして熱放散性を良くする場合には、
S r 02含有量が98%以上の結晶性又はSiO2
を一度溶融させた溶融石英等を高光填率で使用すること
が好ましく、特に結晶性シリカが好ましい。
As the inorganic filler (4) used in the present invention,
For example, quartz powder, alumina powder, talc, glass fiber,
Examples of quartz powder include antimony trioxide.
The epoxy resin composition may be either amorphous or crystalline, or a mixture thereof, and may be natural or synthetic. When using it for countermeasures, it is preferable to use powdered or spherical synthetic quartz that has a small amount of uranium, thorium, etc. In addition to the above, it is preferable to use quartz with a high heat dissipation property due to its pyrothermic conductivity. If you want to improve it,
Crystalline or SiO2 with S r 02 content of 98% or more
It is preferable to use fused quartz, etc., which have been melted once, with a high light filling rate, and crystalline silica is particularly preferable.

無機充填剤の好ましい平均粒子径の範囲は5〜30.6
m、より好ましい範囲は5〜20μmであり、またその
配合量は上記(りのエポキシ樹脂と(2) (1) フ
ェノール樹脂との合計(tl 00重量部当9200〜
500重量部、特に230〜500重証部とすることが
望ましく、この場合高熱伝導率のエポキシ樹脂組成物を
得るためには、無機充填剤として上述の結晶性シリカを
用いて、その配合量全上記(1)のエポキシ樹脂と(2
)のフェノール樹脂との合計量100重全部当り400
〜550:ffi′Ji部、特に450〜500重量部
とすることが望ましい。
The preferred average particle diameter range of the inorganic filler is 5 to 30.6.
m, a more preferable range is 5 to 20 μm, and the blending amount is 9,200 to 9,200 parts per 00 parts by weight of the above-mentioned epoxy resin and (2) (1) phenol resin.
It is desirable that the amount is 500 parts by weight, especially 230 to 500 parts by weight. In this case, in order to obtain an epoxy resin composition with high thermal conductivity, the above-mentioned crystalline silica is used as an inorganic filler, and the total amount is The epoxy resin of (1) above and (2)
) 400 per 100 parts of total weight with phenolic resin
~550: ffi'Ji parts, particularly preferably 450 to 500 parts by weight.

更に、エポキシ樹脂組成物の熱伝導率を高めるために、
本発明の無機充填剤に加えて、(BH)x等の水素化硼
素、窒化アルミニウム、アルミナ、酸化マグネシウム、
炭化珪素などの熱伝導率の高い無機充填剤を適宜併用す
ることができる。
Furthermore, in order to increase the thermal conductivity of the epoxy resin composition,
In addition to the inorganic filler of the present invention, boron hydride such as (BH)x, aluminum nitride, alumina, magnesium oxide,
An inorganic filler with high thermal conductivity such as silicon carbide can be used in combination as appropriate.

本発明の組成物には、更に必要によりその目的、用途な
どに応じ、各種の添加剤を配合することができる。例え
は、ワックス類、ステアリン酸などの脂肪酸及びその金
属塩等の離型剤、カーデンブラック等の顔料、染料、難
燃化剤、表面処理剤(γ−グリシドキシプロビルトリメ
トキシシラン等)、酸化防止剤、シリコーン系の可焼性
付与剤、その他の添加剤を配合することは差支えない。
The composition of the present invention may further contain various additives depending on its purpose, use, etc., if necessary. For example, waxes, mold release agents such as fatty acids such as stearic acid and their metal salts, pigments such as carden black, dyes, flame retardants, and surface treatment agents (γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, etc.) , antioxidants, silicone-based sinterability agents, and other additives may be blended.

上記添加剤のうち、離型剤としてカルナバワックスを本
発明に係る会合体と併用した場合には、本発明のエポキ
シ樹脂組成物の接着性が数段と向上するものであり、本
発明のエポキシ樹脂組成物に接着性の向上のためにカル
ナバワックスを添加することが好ましい。
Among the above additives, when carnauba wax is used as a mold release agent in combination with the aggregate according to the present invention, the adhesiveness of the epoxy resin composition of the present invention is improved to a large extent. It is preferable to add carnauba wax to the resin composition to improve adhesiveness.

本発明の組成物は、上述した成分の所用−を均一に攪拌
、混合し、予め70〜95℃に加熱しであるロール、ニ
ーダ−などにより混練、冷却し、粉砕するなどの方法で
得ることができる。なお、成分の配合順序に特に制限は
ない。
The composition of the present invention can be obtained by stirring and mixing the above-mentioned components uniformly, heating the mixture to 70 to 95°C, kneading with a roll, kneader, etc., cooling, and pulverizing. I can do it. Note that there is no particular restriction on the order of blending the components.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、I C、LSI。The epoxy resin composition of the present invention is applicable to IC, LSI.

トランジスタ、サイリスタ、ダイオード等の半導体装置
の封止剤、プリント回路板の製造などに使用される。な
お、半導体装置の封止を行なう場合は、従来より採用さ
れている成形法、例えばトランスファ成形、インジェク
ション成形、注型法などを採用して行なうことができる
。この場合、エポキシ樹脂組成物の成形温度は150〜
180 ’C、ポストキュアーは150〜180℃で2
〜16時間行なうことが好ましい。
It is used as a sealant for semiconductor devices such as transistors, thyristors, and diodes, and in the production of printed circuit boards. Note that when sealing the semiconductor device, conventionally employed molding methods such as transfer molding, injection molding, and casting methods can be employed. In this case, the molding temperature of the epoxy resin composition is 150~
180'C, post cure at 150-180'C
It is preferable to carry out the treatment for 16 hours.

発明の詳細 な説明したように、本発明はエポキシ樹脂と、硬化剤と
してフェノール樹脂と、無機充填剤とを含有するエポキ
シ樹脂組成物において、エポキシ樹脂として有機酸の含
有量が100 ppm以下、塩素イオンの含有量が2 
ppm以下、加水分解性塩素の含有量が500 ppm
以下、エポキシ当量が180〜230のクレゾールノブ
ラックエポキシ樹脂を決用し、フェノール樹脂として軟
化点が80〜120℃、有機酸の含有量が100 pp
m以下、遊離のNa 、 C2が2 ppm以下、フリ
ーのフェノールが1チ以下のノボラック型フェノール樹
脂を使用すると共に、該エポキシ樹脂のエポキシM (
a)と、該フェノール樹脂のフェノール性水酸基(b)
 トのモル比(a/b )を0.8〜1.5の範囲に調
整し、更に特定の分子内にカルがキシル基とエステル基
とを併有する化合物とイミダゾール化合物との会合体を
添加したことにより、耐湿性、高温電気特性に優れ、か
つニッケル等に対する接着性、保存安定四に優れ、半導
体装置封止用等として好適に用いられるエポキシ樹脂組
成物が得られるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION As described in detail, the present invention provides an epoxy resin composition containing an epoxy resin, a phenol resin as a curing agent, and an inorganic filler, wherein the epoxy resin has an organic acid content of 100 ppm or less, chlorine The content of ions is 2
ppm or less, hydrolyzable chlorine content is 500 ppm
Hereinafter, a cresol black epoxy resin with an epoxy equivalent of 180 to 230 is used, and as a phenol resin, a softening point is 80 to 120 °C and an organic acid content of 100 pp.
m or less, free Na, C2 is 2 ppm or less, free phenol is 1 H or less, and the epoxy M (
a) and the phenolic hydroxyl group (b) of the phenolic resin
Adjust the molar ratio (a/b) of the two to a range of 0.8 to 1.5, and further add an aggregate of an imidazole compound and a compound in which Cal has both a xyl group and an ester group in a specific molecule. As a result, an epoxy resin composition can be obtained which has excellent moisture resistance, high-temperature electrical properties, adhesion to nickel, etc., and storage stability, and is suitably used for encapsulating semiconductor devices.

以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明す
るが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically explained by showing examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

〔実施例1〜4.比較例1.2〕 エポキシ当量196のクレゾールノボラックエポキシ樹
脂(塩素イオン’ ppm l加水分解性塩素300 
ppm 、有機酸含有量20 ppm ) 、及び軟化
点100℃のフェノール型ノボラック樹脂(有機酸含有
率10 ppm h Naイオン、 Ctイオン各々l
ppm。
[Examples 1 to 4. Comparative Example 1.2] Cresol novolak epoxy resin with epoxy equivalent weight 196 (chloride ion' ppm l hydrolyzable chlorine 300
ppm, organic acid content 20 ppm), and phenolic novolac resin with a softening point of 100°C (organic acid content 10 ppm h Na ion, Ct ion each 1
ppm.

フリーのフェノール0.1%)の配合亘割合を第1表に
示したものとし、これらの合計i 100 止=部に三
酸化アンチモン30重量部、溶融石英230MW部、カ
ルナバワックス1重量部、カーボンブラックl=里部、
γ−グリシドキシプロビルトリメトキシシラン1重最部
、更に硬化促進剤として前記式(2)で示される分子内
にカルボキシル茫とエステル基と全併有する化合物とイ
ミダゾール化合物との等モル会合体(以下、会合体Aと
称する)0.5〜30重量部全添加した組成物を充分に
混合した後、加熱ロールで混練し、次いで冷却してから
粉砕してエポキシ樹脂組成物(実施例1〜4゜比較例1
,2)を得た。
The blending ratios of free phenol (0.1%) are shown in Table 1, and the total i 100 parts include 30 parts by weight of antimony trioxide, 230 MW parts of fused quartz, 1 part by weight of carnauba wax, and 1 part by weight of carnauba wax. Black l = Satobe,
An equimolar association of γ-glycidoxyprobyltrimethoxysilane monomer, a compound having both carboxyl and ester groups in the molecule represented by the above formula (2) as a curing accelerator, and an imidazole compound. (Hereinafter, referred to as aggregate A) After thoroughly mixing the composition to which 0.5 to 30 parts by weight was added, the mixture was kneaded with a heating roll, cooled, and then ground to form an epoxy resin composition (Example 1). ~4° Comparative Example 1
, 2) was obtained.

これらのエポキシ樹脂組成物を用い、二次転移温度Tg
、及び以下のA−Eの諸測定を行なった。
Using these epoxy resin compositions, the secondary transition temperature Tg
, and the following measurements A-E were performed.

A、スパイラルフロー EMMI規格に準じた金型にエポキシ樹脂を充填し、成
形温度175℃、成形圧カフ0φ価2の条件下で測定し
た。
A. A mold conforming to the spiral flow EMMI standard was filled with epoxy resin, and measurements were taken under the conditions of a molding temperature of 175° C. and a molding pressure of 0 φ value.

B、パーコール硬度 エポキシ樹脂を成形温度175℃、成形圧カフ 0 ’
Kg/cm2.成形時間90秒で成形し、成形金型解体
後パーコール硬度935にて成形物の熱時硬反を測定し
た。
B. Molding temperature of Percoll hardness epoxy resin 175℃, molding pressure cuff 0'
Kg/cm2. The molding time was 90 seconds, and after dismantling the mold, the hardness of the molded product was measured at a Percoll hardness of 935.

C0体様抵抗率の測定 成形温度160℃、成形圧カフ 0 kg/m2.成形
時間2分の条件で成形して直径6 cm +厚さ2mの
円板を作り、これを180℃で4時間ポストキュアーし
たテストピースについて、150℃での体4’lil抵
抗率をJIS−に−6911に準じて測定した。
Measurement of C0 body-like resistivity Molding temperature 160°C, molding pressure cuff 0 kg/m2. For a test piece that was molded under conditions of 2 minutes of molding time to make a disk with a diameter of 6 cm and a thickness of 2 m, and post-cured at 180°C for 4 hours, the body 4'lil resistivity at 150°C was determined by JIS- -6911.

D、耐湿特性の測定 上記Aと同様の成形条件、ポストキーア条件で得たテス
トピースを121℃の水蒸気中に500時間保持した後
、JIS−に−6911に準じて60Hzによる誘電率
および誘電正接を測定した。
D. Measurement of moisture resistance properties Test pieces obtained under the same molding conditions and post-key conditions as in A above were held in water vapor at 121°C for 500 hours, and then the dielectric constant and dielectric loss tangent at 60Hz were measured according to JIS-6911. It was measured.

E、  At腐食テスト チップにAt配装tおこなっている14ビンICをトラ
ンスファー成形材にて100個成形し、成形品を180
℃、4時間ポストキュアし、その後121℃の水蒸気中
に500時間放置し、アルミニウム配線のIfrii検
出して不良判定を行なった。
E. At corrosion test: 100 14-bin ICs with At placement on the chip were molded using transfer molding material, and 180 molded products were obtained.
C. for 4 hours, and then left in water vapor at 121.degree. C. for 500 hours. Ifrii of the aluminum wiring was detected and determined to be defective.

以上の諸試験の結果を第1表に示す。The results of the above tests are shown in Table 1.

g41表の結果から、クレゾールノボラックエポキシ樹
脂のエポキシ基とノボラック型フェノール樹脂のフェノ
ール基とのモル比(エポキシ基/フェノール基)が本発
明の範囲外、即ち0.8未満の場合あるいは1.5ヲ越
える場合は、いずれも体積抵抗率、耐湿性が劣り、At
腐食が顕著になるが、本発明の範囲を満足する場合には
体積抵抗率、耐湿特性に優れ、At腐食率の良好なエポ
キシ樹脂組成物が得られることが確認された。
From the results in Table g41, the molar ratio (epoxy group/phenol group) between the epoxy group of the cresol novolak epoxy resin and the phenol group of the novolac type phenol resin is outside the range of the present invention, that is, when it is less than 0.8 or 1.5. If it exceeds At
Although corrosion becomes noticeable, it was confirmed that when the range of the present invention is satisfied, an epoxy resin composition having excellent volume resistivity, moisture resistance, and a good At corrosion rate can be obtained.

次に、成形性、特にブリードの発生率をみるために20
0キヤビテイの14ピンICの金型に実施例3及び比較
例1のエポキシ樹脂組成物を充填し、金型温度175℃
、成形時間2.5分、射出圧カフ 0 kg7cm2の
条件で1ooo個の14ピンICi作り、ブリードの発
生率をみた。この場合、ICの足から1簡以上ブリード
がでた場合を不良として数えた。上記ブリードの発生率
1r測定、した結果、実施例3では不良率0.1%であ
ったが、比較例1では不良率18%であった。
Next, in order to check the moldability, especially the incidence of bleeding,
A 14-pin IC mold with 0 cavity was filled with the epoxy resin compositions of Example 3 and Comparative Example 1, and the mold temperature was 175°C.
100 pieces of 14-pin ICi were made under the conditions of a molding time of 2.5 minutes and an injection pressure cuff of 0 kg and 7 cm2, and the incidence of bleeding was observed. In this case, a case where one or more bleeds appeared from the legs of the IC was counted as a defect. As a result of measuring the occurrence rate of bleeding 1r, Example 3 had a defective rate of 0.1%, but Comparative Example 1 had a defective rate of 18%.

〔実施例5,6.比較例3〜9〕 実施例3において使用したクレゾールノボラックエポキ
シ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂の純度を第2表に
示したものとしたほかは実施例3と同一の添加剤、配合
比及び製造条件にてエポキシ樹脂組成物(実施例5,6
及び比較例3〜9)を作9、上記EのAt腐食テスト及
び下記Fの成形不良率の試験を行なった。
[Example 5, 6. Comparative Examples 3 to 9] The same additives, blending ratio, and manufacturing conditions as in Example 3 were used, except that the purity of the cresol novolac epoxy resin and novolac type phenol resin used in Example 3 was as shown in Table 2. Epoxy resin composition (Examples 5 and 6)
and Comparative Examples 3 to 9) were prepared and subjected to the At corrosion test in E above and the molding defect rate test in F below.

F、成形不良率の測定 トランスファー成形機で100個取りの14PINIC
用金型を用いて10シヨツト成形し、この時の外観不良
率(ディト、未充填、スネークアイ等の不良)を測定し
た。
F. Measurement of molding defect rate 14 PINIC with 100 pieces in transfer molding machine
Ten shots were molded using the mold, and the appearance defect rate (defects such as defects, unfilled, snake eyes, etc.) was measured.

以上のE、Fの測定結果を第2表に示す。The above measurement results of E and F are shown in Table 2.

第2表の結果から、クレゾールノボラックエポキシ樹脂
の加水分解性塩素、塩素イオン、有機酸含有率、又はノ
ボラック型フェノール樹脂の有機酸含有率、Na、C2
−、フリーのフェノールが本発明の範囲を越えるとAt
配線の腐食が発生し、特に有機酸の含有率が多いと極端
にAt腐食の不良率が増加すること、またノボラック型
フェノール樹月旨のフリーのフェノールが本発明の範囲
を越えると成形品の不良率が上昇することが確認された
From the results in Table 2, the hydrolyzable chlorine, chlorine ion, and organic acid content of cresol novolac epoxy resin, or the organic acid content, Na, and C2 of novolak type phenolic resin
-, if free phenol exceeds the scope of the present invention, At
Corrosion of wiring occurs, especially when the content of organic acids is high, the defective rate of At corrosion increases extremely, and if free phenol such as novolak-type phenol exceeds the scope of the present invention, molded products may be damaged. It was confirmed that the defective rate increased.

〔実施例7〜9.比較例10.111 実施例3において使用した)?ラック型フェノール樹脂
の軟化点を第3表に示したものとしたほかは実施例3と
同様の条件にてエポキシ樹脂組成物(実施ftl 7〜
9.比較例10.11)を作り、これを用いてTg及び
前記A、Fの測定を行なった。
[Examples 7-9. Comparative Example 10.111 (used in Example 3)? An epoxy resin composition (Execution ftl 7~
9. Comparative Example 10.11) was prepared and used to measure Tg and the above A and F.

結果を第3表に示す。The results are shown in Table 3.

第3表 第3表の結果から、ノブラック型フェノール樹脂の軟化
点が上昇、下降するとTgが上下し、軟化点が80℃以
下になるとスフ4イラルフローが短くなり、逆に、軟化
点が120℃をこえると成形作業性が劣シ、本発明の範
囲を外れる場合にはいずれも成形品の不良率が増加する
ことが確認された。
Table 3 From the results in Table 3, as the softening point of the Noblak type phenolic resin increases or decreases, the Tg increases or decreases, and when the softening point becomes 80°C or lower, the sulfur 4 yral flow becomes shorter, and conversely, when the softening point decreases to 120°C, the Tg increases or decreases. It was confirmed that molding workability deteriorates when the temperature exceeds .degree. C., and when the temperature exceeds the range of the present invention, the defective rate of molded products increases.

〔実施例10〜14.比較例12〜14〕クレゾールノ
ボラックエポキシ樹脂(日本化系社製EOCN −10
2*エポキシ当量215.塩素イオン2 ppm 、加
水分解性塩素500 ppm 、有機酸含有量100 
ppm ) 60部、臭素化エポキシ樹脂(日本化系社
製BREN :エポキシ当量280.塩素イオン2 p
pm +加水分解性塩素450 ppm 、有機酸含有
量20 ppm ) 10部、フェノール型ノボラック
樹脂(犬日本インク社製TD−2093:軟化点93℃
、有機酸含有fit 20 ppm m Nmイオン、
ctイオン各2ppm以下、フリーのフェノール1%以
下)30部、結晶性シリカ六(タラモリ社製クリスタラ
イト5に;5IO2含有率98短上)475部、γ−グ
リシドキシトリメトキシシラン1.5部、カービンブラ
ック1部、三酸化アンチモン5部、更に第4表に示す種
類・量の硬化促進剤及び第4表に示す量のカルナバワッ
クスを添加した組成物を充分に混合した後、加熱・加圧
下においてニーグー及びミキシングローラーで混練し、
次いで冷却してから粉砕してエポキシ樹脂組成物(実施
例10〜14.比較例12〜14)を得た。
[Examples 10-14. Comparative Examples 12 to 14] Cresol novolak epoxy resin (EOCN-10 manufactured by Nippon Kakei Co., Ltd.)
2*Epoxy equivalent weight 215. Chlorine ion 2 ppm, hydrolyzable chlorine 500 ppm, organic acid content 100
ppm) 60 parts, brominated epoxy resin (BREN manufactured by Nippon Kakei Co., Ltd.: Epoxy equivalent 280. Chlorine ion 2 p
pm + hydrolyzable chlorine 450 ppm, organic acid content 20 ppm) 10 parts, phenolic novolac resin (TD-2093 manufactured by Inu Nippon Inc., softening point 93°C
, organic acid containing fit 20 ppm m Nm ions,
(2 ppm or less each of ct ions, 1% or less of free phenol), 30 parts of crystalline silica 6 (Crystallite 5 manufactured by Taramori; 5IO2 content 98 short), 475 parts of γ-glycidoxytrimethoxysilane 1.5 parts , 1 part of carbine black, 5 parts of antimony trioxide, a curing accelerator of the type and amount shown in Table 4, and carnauba wax of the amount shown in Table 4 were thoroughly mixed, and then heated and heated. Knead with a niegu and mixing roller under pressure,
The mixture was then cooled and pulverized to obtain epoxy resin compositions (Examples 10 to 14 and Comparative Examples 12 to 14).

これらのエポキシ樹脂組成物を用い、前述のA。Using these epoxy resin compositions, the above-mentioned A.

B、E、Fの測定及び以下のG、Hの測定を行なったO G、接着性 第4表に示す材質からなる6w幅X11w長×200μ
m厚の金属片2枚を用い、第1,2図に示すように、こ
れら金属片m * m eエポキシ樹脂組成物nに封止
した。この場合、両金属片m、mはその先端6mnが互
に対向するようにエポキシ樹脂組成物nに封止した。ま
た、エポキシ樹脂組成物りは成形温度180℃、成形圧
カフ0kg/17n2、成形時間2分で成形して樹脂封
止し、これを180℃で16時間ポストキュアーして測
定用サンプルを得た。
B, E, F measurements and the following G, H measurements were taken O G, adhesiveness 6w width x 11w length x 200μ made of the material shown in Table 4
Two metal pieces having a thickness of m were used, and as shown in FIGS. 1 and 2, these metal pieces were sealed in an m*me epoxy resin composition n. In this case, both metal pieces m, m were sealed in an epoxy resin composition n so that their tips 6mn faced each other. In addition, the epoxy resin composition was molded and sealed with resin at a molding temperature of 180°C, a molding pressure of 0 kg/17n2, and a molding time of 2 minutes, and this was post-cured at 180°C for 16 hours to obtain a measurement sample. .

1ぢられた6(1[定用サンプルの左右の金頼片を引張
り試験機にb1足して引っ張り、接着力を測定した。
The adhesion strength was measured by pulling the left and right gold pieces of the standard sample on a tensile tester with 1 added to 6 (1).

H,保存安定性 エポキシ樹脂組成物を温度40℃の雰囲気下に24時間
放置した後、前記Aのス・ぐイラルフロー耐測定し、こ
のスパイラルフローの値とスパイラルフローの初期値に
よりスフ4イラルフローの保持率を求めて保存安定性を
評価した。
H. Storage stability After the epoxy resin composition was left in an atmosphere at a temperature of 40°C for 24 hours, the spiral flow resistance of the above A was measured, and the spiral flow resistance was determined based on the spiral flow value and the initial value of the spiral flow. Storage stability was evaluated by determining the retention rate.

1xll−/7′Iポ)1牛乃rt評価の結果を第4表
に示す。
Table 4 shows the results of the 1xll-/7'Ipo) 1ushinort evaluation.

第4表の結果から、エポキシ樹脂組成物中の硬化促進剤
の配合量が同じでも、硬化促進剤として本発明の範囲の
分子内にカルボキシル基及びエステル基を併有する化合
物とイミダゾール化合物との等モル会合体を使用した場
合は、本発明の範囲から外れた2−イミダゾール化合物
を使用した場合に比し、Atk食テステスト形不良率、
半導体フレームの表面に用いられている金属材質との接
着性、保存安定性がはるかに優れ、かつスパイラルフロ
ー、パーコール硬度の値も同等以上である。
From the results in Table 4, it can be seen that even if the amount of curing accelerator in the epoxy resin composition is the same, a compound having both a carboxyl group and an ester group in the molecule within the scope of the present invention as a curing accelerator and an imidazole compound are the same. When a molar aggregate is used, the Atk food test form defective rate,
It has much better adhesion and storage stability with the metal material used on the surface of the semiconductor frame, and its spiral flow and Percoll hardness values are also at least the same.

また、本発明の範囲’ft ’7N4足する種類の硬化
促進剤を使用したとしても、硬化促進剤の童が不発明の
範囲を満足せず、0,5部未満の場合には、架橋密度が
低く、成形後の物性低下及び成形物の物理変化が大きく
、又、30部を越える場合には、反応性が高く、製造中
に反比、しケ゛ル状半硬化物が多くなり、しかも流動性
が悲くなり完全な成形物ができない状態となり、本発明
の範囲全満足する硬化促進剤の添加量により、成形性、
電気特性、1町湿性、物理特性、保存安定性などの特性
が十分に良好なものとなるものであり、以上のことから
本発明の効果が確認された。
Furthermore, even if a curing accelerator that falls within the scope of the present invention 'ft' 7N4 is used, if the amount of the curing accelerator does not satisfy the scope of non-invention and is less than 0.5 parts, the crosslinking density If the amount exceeds 30 parts, the reactivity is high, resulting in a large amount of scaly semi-cured material during production, and the flowability is low. However, by adding an amount of curing accelerator that satisfies the scope of the present invention, moldability and
The properties such as electrical properties, humidity, physical properties, and storage stability were sufficiently good, and from the above, the effects of the present invention were confirmed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1,2図はエポキシ樹脂組成物の接着力を評価するた
めの金属片を封止したエポキシ樹脂組成物サンプルを示
し、第1図は平面図、第2図は正面図である。 m・・・金属片、n・・・エポキシ樹脂組成物。 出原人 信越化学工業株式会社
1 and 2 show an epoxy resin composition sample in which a metal piece is sealed for evaluating the adhesive strength of the epoxy resin composition, FIG. 1 is a plan view, and FIG. 2 is a front view. m...Metal piece, n...Epoxy resin composition. Source: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、エポキシ樹脂と、硬化剤としてフェノール樹脂と、
無機充填剤とを含有するエポキシ樹脂組成物において、
エポキシ樹脂として有機酸の含有量が100ppm以下
、塩素イオンの含有量が2ppm以下、加水分解性塩素
の含有量が500ppm以下、エポキシ当量が180〜
230のクレゾールノボラックエポキシ樹脂を使用し、
フェノール樹脂として軟化点が75〜120℃、有機酸
の含有量が100ppm以下、遊離のNa、Clが2p
pm以下、フリーのフェノールが1%以下のノボラック
型フェノール樹脂を使用すると共に、該エポキシ樹脂の
エポキシ基(a)と該フェノール樹脂のフェノール性水
酸基(b)とのモル比(a/b)を0.8〜1.5の範
囲に調整し、更に硬化促進剤として下記式(1)▲数式
、化学式、表等があります▼…(1) (但し、式中Rは炭素数1〜17のアルキル基、フェニ
ル基、ベンジル基及びシクロヘキシル基から選ばれる一
価の有機基である。)で示される分子内にカルボキシル
基とエステル基とを併有する化合物とイミダゾール化合
物との等モル会合体を添加したことを特徴とするエポキ
シ樹脂組成物。 2、等モル会合体の添加量がエポキシ樹脂とフェノール
樹脂との合計量100重量部当り0.5〜30重量部で
ある特許請求の範囲第1項記載のエポキシ樹脂組成物。 3、無機充填剤の配合量が該エポキシ樹脂と該フェノー
ル樹脂との合計量100重量部当り200〜500重量
部である特許請求の範囲第1項又は第2項記載のエポキ
シ樹脂組成物。 4、無機充填剤として結晶性シリカをエポキシ樹脂組成
物を構成する全樹脂成分の合計量100重量部当り40
0〜500重量部使用した特許請求の範囲第3項記載の
エポキシ樹脂組成物。 5、イミダゾール化合物が2−フェニルイミダゾールで
ある特許請求の範囲第1項乃至第4項のいずれか1項に
記載のエポキシ樹脂組成物。
[Claims] 1. An epoxy resin, a phenol resin as a hardening agent,
In an epoxy resin composition containing an inorganic filler,
As an epoxy resin, the content of organic acids is 100 ppm or less, the content of chlorine ions is 2 ppm or less, the content of hydrolyzable chlorine is 500 ppm or less, and the epoxy equivalent is 180 ~
Using 230 cresol novolac epoxy resin,
As a phenolic resin, the softening point is 75-120°C, the content of organic acid is 100 ppm or less, and free Na and Cl are 2 parts.
pm or less and a novolac type phenolic resin with free phenol of 1% or less, and the molar ratio (a/b) of the epoxy group (a) of the epoxy resin and the phenolic hydroxyl group (b) of the phenol resin. The curing accelerator is adjusted to a range of 0.8 to 1.5, and the following formula (1) ▲ Numerical formula, chemical formula, table, etc. is available ▼... (1) (However, in the formula, R is a carbon number of 1 to 17. A monovalent organic group selected from an alkyl group, a phenyl group, a benzyl group, and a cyclohexyl group.) An equimolar aggregate of a compound having both a carboxyl group and an ester group in the molecule and an imidazole compound is added. An epoxy resin composition characterized by: 2. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the equimolar aggregate is added in an amount of 0.5 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of epoxy resin and phenol resin. 3. The epoxy resin composition according to claim 1 or 2, wherein the inorganic filler is blended in an amount of 200 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of the epoxy resin and the phenol resin. 4. Crystalline silica as an inorganic filler per 100 parts by weight of the total amount of all resin components constituting the epoxy resin composition.
The epoxy resin composition according to claim 3, which is used in an amount of 0 to 500 parts by weight. 5. The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the imidazole compound is 2-phenylimidazole.
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