JPS6214058A - 自動探傷走査装置 - Google Patents
自動探傷走査装置Info
- Publication number
- JPS6214058A JPS6214058A JP60152517A JP15251785A JPS6214058A JP S6214058 A JPS6214058 A JP S6214058A JP 60152517 A JP60152517 A JP 60152517A JP 15251785 A JP15251785 A JP 15251785A JP S6214058 A JPS6214058 A JP S6214058A
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- Japan
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- pulse
- scanning
- linear encoder
- frequency
- probe
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、被検体を自動走査して探傷する装置に関し、
特に、セラミックス等の各種新素材、ＩＣ，ＬＳＩなど
の電子部品、各種精密機械部品などにおける微細な内部
欠陥を探傷するのに好適な自動探傷走査装置に関する。
特に、セラミックス等の各種新素材、ＩＣ，ＬＳＩなど
の電子部品、各種精密機械部品などにおける微細な内部
欠陥を探傷するのに好適な自動探傷走査装置に関する。
被検体を自動走査して探傷する装置は、近年各種のもの
が提供され、大量生産される部品や重要部品などの各種
被検体の良否判定に使用されている。被検体の良否判定
のための情報は、自動探傷走査装置による超音波探傷結
果の情報の観察により行われるが、その判定に際し、１
つ１つの欠陥部について欠陥の位置・形状・大きさ・質
などの実体を知ることと共に、併せて被検体全体につい
て欠陥部が及ぼしている影響の度合い、つまり欠陥の多
少および分布の状應をも知ることが、適確な判定に対す
る情輔となる。しかして、現在の超音波探傷結果の主た
る表示法であるＡスコープ。
が提供され、大量生産される部品や重要部品などの各種
被検体の良否判定に使用されている。被検体の良否判定
のための情報は、自動探傷走査装置による超音波探傷結
果の情報の観察により行われるが、その判定に際し、１
つ１つの欠陥部について欠陥の位置・形状・大きさ・質
などの実体を知ることと共に、併せて被検体全体につい
て欠陥部が及ぼしている影響の度合い、つまり欠陥の多
少および分布の状應をも知ることが、適確な判定に対す
る情輔となる。しかして、現在の超音波探傷結果の主た
る表示法であるＡスコープ。
Ｂスコープ、Ｃスコープの各図形表示およびその記録は
、探傷目的や被検体の形状などにより、その特徴を生か
して使い分けがなされている。すなわち、Ａスコープは
１つ１つの欠陥についての、いわゆる「点」についての
情報、Ｂスコープは探触子の走査線下の、いわゆる断面
図的な情報が得られ、Ｃスコープは被検体の平面的な欠
陥分布情報が得られる特徴を有する。
、探傷目的や被検体の形状などにより、その特徴を生か
して使い分けがなされている。すなわち、Ａスコープは
１つ１つの欠陥についての、いわゆる「点」についての
情報、Ｂスコープは探触子の走査線下の、いわゆる断面
図的な情報が得られ、Ｃスコープは被検体の平面的な欠
陥分布情報が得られる特徴を有する。
ところで、近年種々の新素材が開発・利用されている。
それらのうち例えばセラミックスなどの低脆性材料では
、数十μ量ないし数μ腸程度の微細な欠陥が材料の強度
や信頼性に重大な影響を及ぼすため、これらの微細な内
部欠陥を探傷することが要望されておりこれに超音波を
応用する検査法が採用されるようになった。また近年Ｉ
Ｃ，ＬＳＩ等の電子部品の生産および使用量は膨大であ
り、これを用いた装置あるいは機構の良否は、これがそ
の制御の中枢部を占めていることから電子部品の良否に
よって左右されるといえる。このためその検査は厳密を
要し電気的、物理的な試験のほか。
、数十μ量ないし数μ腸程度の微細な欠陥が材料の強度
や信頼性に重大な影響を及ぼすため、これらの微細な内
部欠陥を探傷することが要望されておりこれに超音波を
応用する検査法が採用されるようになった。また近年Ｉ
Ｃ，ＬＳＩ等の電子部品の生産および使用量は膨大であ
り、これを用いた装置あるいは機構の良否は、これがそ
の制御の中枢部を占めていることから電子部品の良否に
よって左右されるといえる。このためその検査は厳密を
要し電気的、物理的な試験のほか。
近年超音波による非破壊試験が行われるようになった。
前記Ｃスコープによる自動探傷走査装置の従来の装置の
１例を第２図により説明する０図において、１はＸ方向
駆動装置で、探触子４を保持してガイドバー上を矢印ｘ
−ｘ’方向に移動する。２はＹ方向駆動装置で、ベース
２０上をｘ−ｘ’力方向直角方向の符号Ｙ、Ｙ’方向に
移動可能である。
１例を第２図により説明する０図において、１はＸ方向
駆動装置で、探触子４を保持してガイドバー上を矢印ｘ
−ｘ’方向に移動する。２はＹ方向駆動装置で、ベース
２０上をｘ−ｘ’力方向直角方向の符号Ｙ、Ｙ’方向に
移動可能である。
３はＺ方向駆動装置で、Ｘ方向駆動装置１のガイドバー
を有しており、ベース２０上に直立して設けられた支柱
２１をガイドにして、ｘ−ｘ’力方向よびＹ、Ｙ’力方
向直角の矢印ｚ−ｚ’方向に移動可能である。Ｘ、Ｙお
よびＺの各駆動装置１，２および３の駆動には、それぞ
れステッピングモータが使用されており、また駆動抵抗
を減少するためボールネジが使用されている。５は水５
′を貯えた水浸タンクで、探触子４を水浸させ、またそ
の底部に被検体６が置かれている。Ｐは以上の構成から
なる探触子保持装置（以下ポジショナ−という）である
、８はパルサーで、探触子４に対してパルスを発信する
発信回路、９はレシーバ−で、探触子４が被検体６から
受信した音圧信号を受信する回路、１０はピークディテ
クターで、レシーバ−９の受信信号のピーク値に比例し
たアナログ電圧をＡ／Ｄ変換器１２に送る装置である。
を有しており、ベース２０上に直立して設けられた支柱
２１をガイドにして、ｘ−ｘ’力方向よびＹ、Ｙ’力方
向直角の矢印ｚ−ｚ’方向に移動可能である。Ｘ、Ｙお
よびＺの各駆動装置１，２および３の駆動には、それぞ
れステッピングモータが使用されており、また駆動抵抗
を減少するためボールネジが使用されている。５は水５
′を貯えた水浸タンクで、探触子４を水浸させ、またそ
の底部に被検体６が置かれている。Ｐは以上の構成から
なる探触子保持装置（以下ポジショナ−という）である
、８はパルサーで、探触子４に対してパルスを発信する
発信回路、９はレシーバ−で、探触子４が被検体６から
受信した音圧信号を受信する回路、１０はピークディテ
クターで、レシーバ−９の受信信号のピーク値に比例し
たアナログ電圧をＡ／Ｄ変換器１２に送る装置である。
７はオシロスコープで、レシーバ−９の出力信号が入力
されて表示される。１１はＣＰＵ１３と接続され、ＣＰ
ｔＪ１３より送られてくる制御信号を前記Ｘ、Ｙおよび
Ｚの各駆動装置１，２および３のステッピングモータに
送信する制御装置である。ＣＰＵ１３はＡ／Ｄ変換器１
２の信号を受け、それを画像処理装置１４へ送り、画像
処理装置１４は画素メモリデータをモニタＴＶ１５へ送
り、Ｃスコープ表示する０以上の構成からなる自動探傷
走査装置において、被検体６に体する走査は、ＣＰＵ１
３において設定された一定時間間隔で行われていたから
、駆動装置たとえばＸ方向駆動装置１のステッピングモ
ータが始動してから一定の速度になるまでの時間や、減
速して停止までの時間は、速度変化があるため走査間隔
が一定にならず正確な走査ができない、このため速度変
化がある距離だけ走査する距離を延長しなければならず
、そのための余分な走査時間を必要としていた。また各
駆動装置のステッピングモータに回転ムラが生じると、
走査間隔が等距離にならないから、走査して得られた図
形にひずみが生じるという欠点があった。したがって探
傷結果の正確な情報が得られないという問題があった。
されて表示される。１１はＣＰＵ１３と接続され、ＣＰ
ｔＪ１３より送られてくる制御信号を前記Ｘ、Ｙおよび
Ｚの各駆動装置１，２および３のステッピングモータに
送信する制御装置である。ＣＰＵ１３はＡ／Ｄ変換器１
２の信号を受け、それを画像処理装置１４へ送り、画像
処理装置１４は画素メモリデータをモニタＴＶ１５へ送
り、Ｃスコープ表示する０以上の構成からなる自動探傷
走査装置において、被検体６に体する走査は、ＣＰＵ１
３において設定された一定時間間隔で行われていたから
、駆動装置たとえばＸ方向駆動装置１のステッピングモ
ータが始動してから一定の速度になるまでの時間や、減
速して停止までの時間は、速度変化があるため走査間隔
が一定にならず正確な走査ができない、このため速度変
化がある距離だけ走査する距離を延長しなければならず
、そのための余分な走査時間を必要としていた。また各
駆動装置のステッピングモータに回転ムラが生じると、
走査間隔が等距離にならないから、走査して得られた図
形にひずみが生じるという欠点があった。したがって探
傷結果の正確な情報が得られないという問題があった。
本発明は、上記問題点を解消し、Ｃスキャンする被検体
の全面にわたり、正確な探傷結果の情報を短時間に得ら
れる自動探傷走査装置を提供するにある。
の全面にわたり、正確な探傷結果の情報を短時間に得ら
れる自動探傷走査装置を提供するにある。
本発明は、探触子が被検体に対して各駆動装置によりＸ
、Ｙ、Ｚの方向に走査可能に保持されている探触子保持
装置と、ＣＰＵに接続され、前記ポジショナ−の各駆動
装置の走査位置を制御する制御信号を送信する制御装置
と、前記探触子に対し、各走査位置における音圧信号を
送信し、がっ探触子が被検体から受信した信号を受信す
る装置と、該装置からの出力信号をＡ／Ｄ変換器を介し
て前記ＣＰＵに入力し、ＣＰｔＪを介して処理されたＣ
スキャンの内容が自動的に記録表示される表示装置とか
らなる自動探傷走査装置において、前記探触子保持装置
の駆動装置にリニアエンコーダを取り付け、該リニアエ
ンコーダを取り付けた駆動装置の走査の単位変位量に応
じて、前記リニアエンコーダから出力されるパルスを分
周する分周回路を設け、該分周回路の出力信号が、前記
Ａ／Ｄ変換器のトリガ信号となるように構成し、Ｃスキ
ャンする被検体の全面にわたり、正確な探傷結果情報を
短時間に得られるようにしたものである。
、Ｙ、Ｚの方向に走査可能に保持されている探触子保持
装置と、ＣＰＵに接続され、前記ポジショナ−の各駆動
装置の走査位置を制御する制御信号を送信する制御装置
と、前記探触子に対し、各走査位置における音圧信号を
送信し、がっ探触子が被検体から受信した信号を受信す
る装置と、該装置からの出力信号をＡ／Ｄ変換器を介し
て前記ＣＰＵに入力し、ＣＰｔＪを介して処理されたＣ
スキャンの内容が自動的に記録表示される表示装置とか
らなる自動探傷走査装置において、前記探触子保持装置
の駆動装置にリニアエンコーダを取り付け、該リニアエ
ンコーダを取り付けた駆動装置の走査の単位変位量に応
じて、前記リニアエンコーダから出力されるパルスを分
周する分周回路を設け、該分周回路の出力信号が、前記
Ａ／Ｄ変換器のトリガ信号となるように構成し、Ｃスキ
ャンする被検体の全面にわたり、正確な探傷結果情報を
短時間に得られるようにしたものである。
本発明の１実施例を第１図により説明する。図において
第２図と同じ符号のものは同じものを示す。図はｘ、ｙ
、ｚの各駆動装置のうち、探触子４を保持してガイドバ
ー上を矢印ｘ−ｘ’方向に走査するＸ方向駆動装置１に
リニアエンコーダ１７を取り付け、リニアエンコーダ１
７から出力されるパルスを分周する分周回路１６を設け
た実施例である。分周回路１６は、リニアエンコーダ１
７とＡ／Ｄ変換器１２との間に設けられている。いまＣ
ＰＵ１３の指令により制御装置１１１がらポジショナ−
Ｐの各駆動装置１，２および３のステッピングモータに
パルスを送信すると、各ステッピングモータは送信され
るパルス数に応じて回転するから、各駆動装置１，２お
よび３は、そのパルス数に対応してそれぞれの方向に変
位する。たとえばＸ方向駆動装置１についてみると、１
パルス当りのステッピングモータの回転角と、Ｘ方向駆
動装置１のボールネジのピッチとから、Ｘ方向駆動装置
１の１パルス当りのｘ−ｘ’力方向走査の単位変位量Δ
Ｘが決定される。Ｘ方向駆動装置１にはリニアエンコー
ダ１７が取り付けられており、リニアエンコーダ１７か
ら出力されるパルスを、前記単位変位量ΔＸごとに１パ
ルスづつ発生させて分周回路１６に入力すれば、リニア
エンコーダ１７から出力されるパルスは分周されて出力
される。つまり、分周回路１６の分周数をＮとすれば、
Ｘ方向駆動装置１の単位変位量ΔＸのＮ倍ごとに分周回
路１６からパルスが出力されることになる。分周回路１
６からのパルスはＡ／Ｄ変換器１２のトリガ信号として
入力されるから、Ｘ方向駆動装置１は、Δｚ Ｘ Ｎの
変位量ごとに走査されることになる。分周回路１６の分
周数Ｎを任意に変えられる場合には、Ｘ方向駆動装置１
は任意の変位量ごとに走査されることになる。
第２図と同じ符号のものは同じものを示す。図はｘ、ｙ
、ｚの各駆動装置のうち、探触子４を保持してガイドバ
ー上を矢印ｘ−ｘ’方向に走査するＸ方向駆動装置１に
リニアエンコーダ１７を取り付け、リニアエンコーダ１
７から出力されるパルスを分周する分周回路１６を設け
た実施例である。分周回路１６は、リニアエンコーダ１
７とＡ／Ｄ変換器１２との間に設けられている。いまＣ
ＰＵ１３の指令により制御装置１１１がらポジショナ−
Ｐの各駆動装置１，２および３のステッピングモータに
パルスを送信すると、各ステッピングモータは送信され
るパルス数に応じて回転するから、各駆動装置１，２お
よび３は、そのパルス数に対応してそれぞれの方向に変
位する。たとえばＸ方向駆動装置１についてみると、１
パルス当りのステッピングモータの回転角と、Ｘ方向駆
動装置１のボールネジのピッチとから、Ｘ方向駆動装置
１の１パルス当りのｘ−ｘ’力方向走査の単位変位量Δ
Ｘが決定される。Ｘ方向駆動装置１にはリニアエンコー
ダ１７が取り付けられており、リニアエンコーダ１７か
ら出力されるパルスを、前記単位変位量ΔＸごとに１パ
ルスづつ発生させて分周回路１６に入力すれば、リニア
エンコーダ１７から出力されるパルスは分周されて出力
される。つまり、分周回路１６の分周数をＮとすれば、
Ｘ方向駆動装置１の単位変位量ΔＸのＮ倍ごとに分周回
路１６からパルスが出力されることになる。分周回路１
６からのパルスはＡ／Ｄ変換器１２のトリガ信号として
入力されるから、Ｘ方向駆動装置１は、Δｚ Ｘ Ｎの
変位量ごとに走査されることになる。分周回路１６の分
周数Ｎを任意に変えられる場合には、Ｘ方向駆動装置１
は任意の変位量ごとに走査されることになる。
以上の説明は、Ｙ、Ｚの各駆動装置についても同しであ
る。また、リニアエンコーダの取り付けは、本実施例の
ようにいずれか１つの駆動装置でも、あるいはすべての
駆動装置でもよく、被検体の大きさ、量などにより任意
に決定される。分局回路１６を設けたことにより、従来
ＣＰＵ１３から出力されていたＡ ／ Ｄ変換器１２の
走査用のトリガ信号を出力する必要がなくなり、そのた
めのＣＰＵ１３における計算時間が省略され、それだけ
走査速度が速くなり、走査時間が短縮される。
る。また、リニアエンコーダの取り付けは、本実施例の
ようにいずれか１つの駆動装置でも、あるいはすべての
駆動装置でもよく、被検体の大きさ、量などにより任意
に決定される。分局回路１６を設けたことにより、従来
ＣＰＵ１３から出力されていたＡ ／ Ｄ変換器１２の
走査用のトリガ信号を出力する必要がなくなり、そのた
めのＣＰＵ１３における計算時間が省略され、それだけ
走査速度が速くなり、走査時間が短縮される。
以上説明したように本発明は、被検体の微細な内部欠陥
をＣスキャンにより探傷する自動探傷走査装置において
、ポジショナ−の駆動装置にリニアエンコーダを取付け
、該リニアエンコーダを取付けた駆動装置の走査の単位
変位量に応じて、前記リニアエンコーダから出力される
パルスを分周する分周回路を設け、該分周回路の出力信
号をＡ／Ｄ変換器のトリガ信号としたので、ポジショナ
−の各駆動装置装置の加減速時においても正確な探傷結
果情報が得られ、従来加減速時における距離だけ余分に
走査していたものが省略できるので、走査時間を短縮す
ることができる。また各駆動装置のモータにたとえ回転
ムラが生じても、影響を受けず、駆動装置の走査距離に
応じて常に等距離間隔で正確に走査が可能となるので、
走査して得られた図形のひずみはなく、一層正確な探傷
結果情報が得られる。
をＣスキャンにより探傷する自動探傷走査装置において
、ポジショナ−の駆動装置にリニアエンコーダを取付け
、該リニアエンコーダを取付けた駆動装置の走査の単位
変位量に応じて、前記リニアエンコーダから出力される
パルスを分周する分周回路を設け、該分周回路の出力信
号をＡ／Ｄ変換器のトリガ信号としたので、ポジショナ
−の各駆動装置装置の加減速時においても正確な探傷結
果情報が得られ、従来加減速時における距離だけ余分に
走査していたものが省略できるので、走査時間を短縮す
ることができる。また各駆動装置のモータにたとえ回転
ムラが生じても、影響を受けず、駆動装置の走査距離に
応じて常に等距離間隔で正確に走査が可能となるので、
走査して得られた図形のひずみはなく、一層正確な探傷
結果情報が得られる。
第１図は本発明の１実施例の説明図、第２図は従来例の
説明図である。 Ｐ・・・ポジショナ−１１・・・Ｘ方向駆動装置、２・
・Ｙ方向駆動装置、３・・・Ｚ方向駆動装置、４・・・
探触子、５・・・水浸タンク、６・・・被検体、１１・
・・制御装置。 １２・・・Ａ／Ｄ変換器、 １３・・・ＣＰＵ、１６・
・・分周回路、１７・・・リニアエンコーダ。 特許出願人 日立建機株式会社 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図
説明図である。 Ｐ・・・ポジショナ−１１・・・Ｘ方向駆動装置、２・
・Ｙ方向駆動装置、３・・・Ｚ方向駆動装置、４・・・
探触子、５・・・水浸タンク、６・・・被検体、１１・
・・制御装置。 １２・・・Ａ／Ｄ変換器、 １３・・・ＣＰＵ、１６・
・・分周回路、１７・・・リニアエンコーダ。 特許出願人 日立建機株式会社 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図
Claims (1)
- 探触子が、被検体に対して各駆動装置によりＸ、Ｙ、Ｚ
の方向に走査可能に保持されている探触子保持装置と、
ＣＰＵに接続され前記探触子保持装置の各駆動装置の走
査位置を制御する制御信号を送信する制御装置と、前記
探触子に対し、各走査位置における音圧信号を送信し、
かつ探触子が被検体から受信した信号を受信する装置と
、該装置からの出力信号をＡ／Ｄ変換器を介して前記Ｃ
ＰＵに入力し、ＣＰＵを介して処理されたＣスキャンの
内容を自動的に記録表示する表示装置とからなる自動探
傷走査装置において、前記探触子保持装置の駆動装置に
リニアエンコーダを取り付け、該リニアエンコーダを取
り付けた駆動装置の走査の単位変位量に応じて、前記リ
ニアエンコーダから出力されるパルスを分周する分周回
路を設け、該分周回路の出力信号を前記Ａ／Ｄ変換器の
トリガ信号としたことを特徴とする自動探傷走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152517A JPS6214058A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 自動探傷走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152517A JPS6214058A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 自動探傷走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214058A true JPS6214058A (ja) | 1987-01-22 |
Family
ID=15542172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60152517A Pending JPS6214058A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 自動探傷走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214058A (ja) |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP60152517A patent/JPS6214058A/ja active Pending
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