JPS6214006A - 光フアイバ母材の形状測定装置 - Google Patents
光フアイバ母材の形状測定装置Info
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- JPS6214006A JPS6214006A JP15355185A JP15355185A JPS6214006A JP S6214006 A JPS6214006 A JP S6214006A JP 15355185 A JP15355185 A JP 15355185A JP 15355185 A JP15355185 A JP 15355185A JP S6214006 A JPS6214006 A JP S6214006A
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- optical fiber
- base material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、高速かつ高精度な光ファイバ母材の形状測定
装置に関するものである。
装置に関するものである。
（従来の技術）
第１図は、従来のこの種の８ｉａｌの概念図であって、
１はレーザ光束の送出（走査）部、２はレーザ光束、３
は受光部（系）、４は被測定物である。
１はレーザ光束の送出（走査）部、２はレーザ光束、３
は受光部（系）、４は被測定物である。
これを動作するには、レーザ光栄の走査部１により、レ
ーザ光束２を第１図の矢印の方向に被測定物４に対し走
査し、その「影」の出力を、受光系３で検出し、測定値
は簡単な演韓ののち表示部５に表示される。ここで受光
系３により検出される光出力は、不透明物体の場合模式
的に第２図のような形状となり、図中の光強度の減衰す
る時間ｔｏを測定することにより、被測定物４の外径が
求められる。
ーザ光束２を第１図の矢印の方向に被測定物４に対し走
査し、その「影」の出力を、受光系３で検出し、測定値
は簡単な演韓ののち表示部５に表示される。ここで受光
系３により検出される光出力は、不透明物体の場合模式
的に第２図のような形状となり、図中の光強度の減衰す
る時間ｔｏを測定することにより、被測定物４の外径が
求められる。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の装置は、第１図に示すごとくレーザ光束の送出部
１と受光部３の間は空間であり、この空間に被測定物４
を配置する構成となっていたので、線状物体の外径又は
透明ガラス管の外径、肉厚等の測定を行うことはできた
が、光ファイバ母材のごとくその内部に微少な（数％以
下）屈折率差のある透明物体の内部の寸法を測定づるこ
とができない欠点があった。
１と受光部３の間は空間であり、この空間に被測定物４
を配置する構成となっていたので、線状物体の外径又は
透明ガラス管の外径、肉厚等の測定を行うことはできた
が、光ファイバ母材のごとくその内部に微少な（数％以
下）屈折率差のある透明物体の内部の寸法を測定づるこ
とができない欠点があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、高精度に調整された屈折率調整油の満
たされた容器内に被測定光ファイバ母材を配置し、光フ
ァイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、コア非
円率、コア偏心率を同時に測定できる光ファイバ母材の
形状測定装置を提供することにある。
たされた容器内に被測定光ファイバ母材を配置し、光フ
ァイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、コア非
円率、コア偏心率を同時に測定できる光ファイバ母材の
形状測定装置を提供することにある。
（問題点を解決Ｊるための手段）
本発明は上記目的を達成するため、外径を計測する被測
定物の中心軸に対し垂直方向にレーザ光束を走査し、該
レーデ光束が該測定物によって遮られる時間を電気的に
計測することによって、該測定物の外径を高精度で測定
する外径測定ＶｔＭにおいて、該光束の送出部と受光部
の中間に、該光束に対し垂直な面内に前＠２枚の透明な
窓材を有する容器を配し、該容器内に光束と直角方向に
被測定の光ファイバ母材の中心軸を回転可能に配し、か
つ該容器内に満たされた屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足するようになしたことを特徴とし、或い
は外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向にレ
ーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によって遮
られる時間を電気的に計測することによって、該測定物
の外径を高精度で測定する外径測定装置において、該光
束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な面内
に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容器内
に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心軸を
回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率調整
油の屈折率ｎが なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする。
定物の中心軸に対し垂直方向にレーザ光束を走査し、該
レーデ光束が該測定物によって遮られる時間を電気的に
計測することによって、該測定物の外径を高精度で測定
する外径測定ＶｔＭにおいて、該光束の送出部と受光部
の中間に、該光束に対し垂直な面内に前＠２枚の透明な
窓材を有する容器を配し、該容器内に光束と直角方向に
被測定の光ファイバ母材の中心軸を回転可能に配し、か
つ該容器内に満たされた屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足するようになしたことを特徴とし、或い
は外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向にレ
ーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によって遮
られる時間を電気的に計測することによって、該測定物
の外径を高精度で測定する外径測定装置において、該光
束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な面内
に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容器内
に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心軸を
回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率調整
油の屈折率ｎが なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする。
（作用）
光ファイバ母材における屈折率差の彰胃を受けることな
く光ファイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、
コア非円率、コア偏心率を同時に測定できる。
く光ファイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、
コア非円率、コア偏心率を同時に測定できる。
（実施例）
第３図は本発明の実施例の概念図であって、６は非接触
のレーザ形状測定部の光学系で、レーザ光束の送出（走
査部）６ａと受光部（系）６ｂとを一体に連結してなる
。７は測定対采の石英系の光ファイバ母材、８は光ファ
イバ母材７を保持する一対のチャック、９は屈折率調整
油を収容するガラス容器、１０はレーザ光束１１と直角
な面内にある石英製の透明な窓材、１２はチャック８と
連結した回転シャフト１３とガラス容器９内の気密を保
持するＡイルシール軸受、１４はガラス容器９内に充填
された屈折率調整油、１５は回転シャフト１３を一定角
度毎に回転させる機能を有するパルスモータ、１５′は
回転シャフト１３の軸受、１６は光学系６を光ファイバ
母材７の軸方向へ一定の間隔で移動せしめるパルスモー
タ、１７はパルスモータ１６の駆動力を伝達Ｊるネジ付
回転シャフトで、前記光学系６の一部に螺装されでおり
、この回転シャフト１７の回転により光学系６が光ファ
イバ７の軸方向に対して前進後退する。
のレーザ形状測定部の光学系で、レーザ光束の送出（走
査部）６ａと受光部（系）６ｂとを一体に連結してなる
。７は測定対采の石英系の光ファイバ母材、８は光ファ
イバ母材７を保持する一対のチャック、９は屈折率調整
油を収容するガラス容器、１０はレーザ光束１１と直角
な面内にある石英製の透明な窓材、１２はチャック８と
連結した回転シャフト１３とガラス容器９内の気密を保
持するＡイルシール軸受、１４はガラス容器９内に充填
された屈折率調整油、１５は回転シャフト１３を一定角
度毎に回転させる機能を有するパルスモータ、１５′は
回転シャフト１３の軸受、１６は光学系６を光ファイバ
母材７の軸方向へ一定の間隔で移動せしめるパルスモー
タ、１７はパルスモータ１６の駆動力を伝達Ｊるネジ付
回転シャフトで、前記光学系６の一部に螺装されでおり
、この回転シャフト１７の回転により光学系６が光ファ
イバ７の軸方向に対して前進後退する。
１８は回転シャフト１７の軸受、１９は光学系６で測定
した１１号を処理する電気信号処理部、２０は装置全体
を制ｔＩＩＩづると共に処理された電気信号を演算処理
するミニコンビ」−タ、２１は演算結果を表示するＸ−
Ｙプロッタである。
した１１号を処理する電気信号処理部、２０は装置全体
を制ｔＩＩＩづると共に処理された電気信号を演算処理
するミニコンビ」−タ、２１は演算結果を表示するＸ−
Ｙプロッタである。
これを動作するには、先ず石英系の単−七−ド用光ファ
イバ母材７をチャック８により固定し、ガラス容器９の
内部に屈折率１．４５７０のシリコンオイル（屈折率調
整油１４）を満だ１０ついで、光学系６を動作さぜ、Ｈ
ｅ−Ｎ（！レーザの平行光束１１を光ファイバ母材７の
中心軸に対し直角方向に走査し、そのとぎの受光信号を
、電気信号処理部１つへ送出する。第４図は受光信号の
測定例を模式的に示したものであり、信号強度が８しく
減少する△及びＡ′点は九）メイバ母材７のクラッド部
と屈折率調整油１４との境界を、同様にＢ及びＢ一点は
、光ファイバ母材７のクラッド部とコア部の境界に対応
する。ここで、これらのパルス状信号間の時間ｔ 及び
ｔ２を゛電気的に測定することにより光ファイバ母材７
のコア径、外径を決定りることができる。さらにレーザ
光束の走査は、適当な偏向器を用いることにより１走査
当り数ｍ５ｅｃ以下の速度で行なえるため高速の測定及
び信号の平均化処理を容易に行うことができる。なお、
第４図に示すような光信号が得られることは、後で詳述
する。
イバ母材７をチャック８により固定し、ガラス容器９の
内部に屈折率１．４５７０のシリコンオイル（屈折率調
整油１４）を満だ１０ついで、光学系６を動作さぜ、Ｈ
ｅ−Ｎ（！レーザの平行光束１１を光ファイバ母材７の
中心軸に対し直角方向に走査し、そのとぎの受光信号を
、電気信号処理部１つへ送出する。第４図は受光信号の
測定例を模式的に示したものであり、信号強度が８しく
減少する△及びＡ′点は九）メイバ母材７のクラッド部
と屈折率調整油１４との境界を、同様にＢ及びＢ一点は
、光ファイバ母材７のクラッド部とコア部の境界に対応
する。ここで、これらのパルス状信号間の時間ｔ 及び
ｔ２を゛電気的に測定することにより光ファイバ母材７
のコア径、外径を決定りることができる。さらにレーザ
光束の走査は、適当な偏向器を用いることにより１走査
当り数ｍ５ｅｃ以下の速度で行なえるため高速の測定及
び信号の平均化処理を容易に行うことができる。なお、
第４図に示すような光信号が得られることは、後で詳述
する。
次に、これらのデータは電気信号処理部１９で数十回か
ら数千回の平均化処理を行なった後、ミニコンピユータ
２０に内臓された記憶装置に記憶される。ついで、ミニ
コンピユータ２０よりパルス七−夕１５にパルス信号を
送り、回転シャフト１３を５°回転せしめ、上記と同様
の測定を行う。
ら数千回の平均化処理を行なった後、ミニコンピユータ
２０に内臓された記憶装置に記憶される。ついで、ミニ
コンピユータ２０よりパルス七−夕１５にパルス信号を
送り、回転シャフト１３を５°回転せしめ、上記と同様
の測定を行う。
この際、第４図のＡ、／Ｍ、Ｂ、Ｂ−の各点はそれらの
相対的な時間位置もデータとしＣ記録される。これらの
データは、第４図においてコアが偏心している場合、そ
の偏心量を、さらにコア径及び外径の非円率を決定する
のに用いることができる。
相対的な時間位置もデータとしＣ記録される。これらの
データは、第４図においてコアが偏心している場合、そ
の偏心量を、さらにコア径及び外径の非円率を決定する
のに用いることができる。
以下、上記と同様な測定を、全回転角（３６０’方向）
について実施しく測定点７２点）、それらのデータをミ
ニコンピユータ２０に記録する。
について実施しく測定点７２点）、それらのデータをミ
ニコンピユータ２０に記録する。
ついで、ミニコンピユータ２０より、パルスモータ１６
へパルスを送出し回転シャフト１７を回転させ光学系６
を光ファイバ母材７の軸方向へ１Ｑｍｍ移動せしめ、上
記と同様の測定（測定点７２点）を実施する。以下、光
学系６を１０ｍｍ間隔で繰り返し移動させながら上記の
測定を実施し結果をプロッタ２１で表示すれば、光ファ
イバ母材７の軸方向での外径、外径非円率、コア径、コ
アの非円率、コアの偏心率の長手方向依存性が：１精度
で求められる。また、測定間隔は、所要の範囲で任意に
選定できる。
へパルスを送出し回転シャフト１７を回転させ光学系６
を光ファイバ母材７の軸方向へ１Ｑｍｍ移動せしめ、上
記と同様の測定（測定点７２点）を実施する。以下、光
学系６を１０ｍｍ間隔で繰り返し移動させながら上記の
測定を実施し結果をプロッタ２１で表示すれば、光ファ
イバ母材７の軸方向での外径、外径非円率、コア径、コ
アの非円率、コアの偏心率の長手方向依存性が：１精度
で求められる。また、測定間隔は、所要の範囲で任意に
選定できる。
なお、外径及びコア径の非円率、コア径の偏心率は、単
一モードファイバ母材の場合、次式で与えられる。
一モードファイバ母材の場合、次式で与えられる。
外径の非円率−（最大外径−最小外径）／（標準外径）
Ｘ１００（％） 」ア径の非円率＝（最大コア径−最小」ア１￥）／（標
準コア径）Ｘ１００（％） コアの偏心率＝（母材の中心と］アの中心との距ｌ１ｌ
） ／ （標準外径）Ｘ１００（％）ここに、母材の中
心及びコアの中心は、前記の３６０″方向の測定値（測
定点７２点）に対し最小二乗法を適用して容易に決定さ
れる。
Ｘ１００（％） 」ア径の非円率＝（最大コア径−最小」ア１￥）／（標
準コア径）Ｘ１００（％） コアの偏心率＝（母材の中心と］アの中心との距ｌ１ｌ
） ／ （標準外径）Ｘ１００（％）ここに、母材の中
心及びコアの中心は、前記の３６０″方向の測定値（測
定点７２点）に対し最小二乗法を適用して容易に決定さ
れる。
第５図は、上記の測定の一例を示づもので、良さ約４０
ｃｍの甲−モード光ファイバ母材のコアの偏心率の長手
方向依存性である。この測定から、測定に用いた光ファ
イバ母材の偏心率は０．５２％以内にあることが確認さ
れた。
ｃｍの甲−モード光ファイバ母材のコアの偏心率の長手
方向依存性である。この測定から、測定に用いた光ファ
イバ母材の偏心率は０．５２％以内にあることが確認さ
れた。
なお、本実施例では、光ファイバ母相を横に保持する場
合について説明したが、装置構成上縦型にすることでき
る。
合について説明したが、装置構成上縦型にすることでき
る。
以下では、屈折率調整油の屈折率の条件と第４図に承り
信号が得られる原理について説明する。
信号が得られる原理について説明する。
第６図は、本測定装置の動作に関する説明図であって、
第３図の光学系６の断面を示したものであり、２２は集
光レンズ、２３は光探知器である。
第３図の光学系６の断面を示したものであり、２２は集
光レンズ、２３は光探知器である。
第６図に４３いて、Ｐ−Ｐ”、Ｑ−Ｑ′、Ｒ−Ｒ。
５−８−、Ｔ−Ｔ′はＸ方向に走査された１−Ｉｅ −
Ｎｅレーザ光束を示しており、Ｘ方向での光束の位置と
受信される光信号の関係はｎ＜ｎｌの場合以下の通りで
ある。ここで第６図は、窓材１０が屈折率ｎ１の石英か
らなる場合について示しており、このようにすることに
より屈折率調整油１４との間の無用の反射を低減するこ
とができる。窓材の屈折率のｎｌからのずれは、測定に
本質的な影響を与えることはない。
Ｎｅレーザ光束を示しており、Ｘ方向での光束の位置と
受信される光信号の関係はｎ＜ｎｌの場合以下の通りで
ある。ここで第６図は、窓材１０が屈折率ｎ１の石英か
らなる場合について示しており、このようにすることに
より屈折率調整油１４との間の無用の反射を低減するこ
とができる。窓材の屈折率のｎｌからのずれは、測定に
本質的な影響を与えることはない。
＊ただし、０〈ε＜＜ａ、ｎ＜ｎｌ
すなわち、窓材１０に対し垂直方向に入射した）１ｅ−
Ｎｅレーザ光束は、光ファイバ母材７のクラッド及びコ
アに接する際、接点における媒質相互間の屈折率の大小
関係によって、屈折又は反射し集光系２２から外れるた
め光検知器２３にほとんど受光されなくなる。屈折又は
反射の条件は下記の通りである。
Ｎｅレーザ光束は、光ファイバ母材７のクラッド及びコ
アに接する際、接点における媒質相互間の屈折率の大小
関係によって、屈折又は反射し集光系２２から外れるた
め光検知器２３にほとんど受光されなくなる。屈折又は
反射の条件は下記の通りである。
（１）光ファイバ母材７のクラッド外周上での屈折と反
射 （ａ）ｎ＜ｎｌの場合屈折する。
射 （ａ）ｎ＜ｎｌの場合屈折する。
（ｂ）ｎ＞ｎｌの場合反射する。
（２）光ファイバ母材７のコア外周での屈折（ａ）常に
ｎ ＜ｎｏであるため屈折する。
ｎ ＜ｎｏであるため屈折する。
上記の接点以外では、各媒質間の屈折率の差は少ないた
め光束はほぼ直進し、集光系２２により集光され、光検
知器２３に受光される。
め光束はほぼ直進し、集光系２２により集光され、光検
知器２３に受光される。
以上のような理由で、第４図にようなパルス状の光出力
がＩＪられることが説明された。ここで、このパルスが
ある程度の幅を有するのは、入射光束のスポットサイズ
が有限でありかつその強度分布がほぼガウス状の分布を
してなり、光検知器の受光面がある程度の大きざを有し
ているためである。第４図の測定例では、スポットサイ
ズは０゜３ｍｍφ（１／ｅ２）、受光器の閉口は幅０．
５ｍｍであり、受光器の前の集光レンズの焦点距離は１
１０ｍｍであった。こうしたパルスの広がりによる測定
誤差は、基準サンプルを用いて較正ザることにより十分
な精度まで容易に低減することができる。
がＩＪられることが説明された。ここで、このパルスが
ある程度の幅を有するのは、入射光束のスポットサイズ
が有限でありかつその強度分布がほぼガウス状の分布を
してなり、光検知器の受光面がある程度の大きざを有し
ているためである。第４図の測定例では、スポットサイ
ズは０゜３ｍｍφ（１／ｅ２）、受光器の閉口は幅０．
５ｍｍであり、受光器の前の集光レンズの焦点距離は１
１０ｍｍであった。こうしたパルスの広がりによる測定
誤差は、基準サンプルを用いて較正ザることにより十分
な精度まで容易に低減することができる。
つぎに、クラッド表面での光束の屈折によって生じる誤
差は、以下のように求められる。第６図においてスネル
の法則により次式が得られる。
差は、以下のように求められる。第６図においてスネル
の法則により次式が得られる。
ｓｉｎθ２ ｎ （１）一方、光束
ＳがＱ′点で接したとき、第６図の距離ｄは ｄ−ｂｓ ｉ ｎｏ１ （２）で与えられる
。
ＳがＱ′点で接したとき、第６図の距離ｄは ｄ−ｂｓ ｉ ｎｏ１ （２）で与えられる
。
また三角形ｓ”ｏｏ−で、０Ｏ−−ａ、ｓ”０−ｂ、−
：ｏ”ｓ”ｏ−θ２であるから、次式が得られる。
：ｏ”ｓ”ｏ−θ２であるから、次式が得られる。
ｂｓｉｎθ２＝ａ （３）式（１）〜（
３）式より、光束Ｓがコアに接するときのコア半径に相
当する測定値ｄは ｄ＝ユと ｎ （４） で与えられる。
３）式より、光束Ｓがコアに接するときのコア半径に相
当する測定値ｄは ｄ＝ユと ｎ （４） で与えられる。
したがって、コア！￥ ２ ａの測定誤差ΔＦは次式％
式％ 一般に、光ファイバ母材の非円率及び偏心率は１〜２％
以下であり、これを高精度で決定するには、母材形状の
測定精度として少なくとも０．１％以下が競求されるた
め、次式の条件が必要となる。
式％ 一般に、光ファイバ母材の非円率及び偏心率は１〜２％
以下であり、これを高精度で決定するには、母材形状の
測定精度として少なくとも０．１％以下が競求されるた
め、次式の条件が必要となる。
また、クラッドの形状を測定するためには、第４図の△
及びＡ′の信号を得る必要があり、その条件は次式で与
えられる。
及びＡ′の信号を得る必要があり、その条件は次式で与
えられる。
ｎ １％ ｎ （７）なお、クラ
ツド径の計測に関しては、光束がクラッドに接する以前
に屈折の要因がないため、上記の屈折率″Ｊ４整油によ
る誤差要因はない。
ツド径の計測に関しては、光束がクラッドに接する以前
に屈折の要因がないため、上記の屈折率″Ｊ４整油によ
る誤差要因はない。
（発明の効果）
以上説明したように、第１の発明によれば、レーザ光束
を走査しつつ光ファイバは材を回転させることにより、
屈折率差の影響を受けることなく九ファイバ母材の形状
を的確に測定できる。また第２の発明によれば、光ファ
イバ母材の外径、外径の非円率、コア径、コア径の非円
率、コアの偏心率を長平方向におい−（非破壊かつ高精
度に連続自動測定できるため、光ファイバ母材の品質管
理に楊めて有効である利点がある。
を走査しつつ光ファイバは材を回転させることにより、
屈折率差の影響を受けることなく九ファイバ母材の形状
を的確に測定できる。また第２の発明によれば、光ファ
イバ母材の外径、外径の非円率、コア径、コア径の非円
率、コアの偏心率を長平方向におい−（非破壊かつ高精
度に連続自動測定できるため、光ファイバ母材の品質管
理に楊めて有効である利点がある。
第１図は従来のこの種の装置の概念図、第２図はその測
定例を示すグラフ、第３図は本発明の実施例を示す装置
全体の概念図、第４図は本発明装置による受光信号の測
定例の説明図、第５図は本発明装置による光ファイバ母
Ｈのコア偏心率長手方向依存性の測定例を示すグラフ、
第６図は本発明装置の動作原理及び測定誤差算出の説明
図、第７図は本発明装置による測定のフローチャートで
ある。 ６・・・レーザ形状測定部の光学系、７・・・光ファイ
バ母材、８・・・チャック、９・・・ガラス容器、１０
・・・窓材、１１・・・レーザ光束、１２・・・オイル
シール軸受、１３・・・回転シＸ・フト、１４・・・屈
折率調整油、１５・・・試料回転用のパルスモータ、１
６・・・光学系移初用のパルスモータ、１７・・・ネジ
付回転シャフト、１８・・・軸受、１９・・・電気信号
処理部、２０・・・ミニコンピユータ、２１・・・Ｘ−
Ｙプロッタ、２２・・・集光レンズ、２３・・・光検知
器。
定例を示すグラフ、第３図は本発明の実施例を示す装置
全体の概念図、第４図は本発明装置による受光信号の測
定例の説明図、第５図は本発明装置による光ファイバ母
Ｈのコア偏心率長手方向依存性の測定例を示すグラフ、
第６図は本発明装置の動作原理及び測定誤差算出の説明
図、第７図は本発明装置による測定のフローチャートで
ある。 ６・・・レーザ形状測定部の光学系、７・・・光ファイ
バ母材、８・・・チャック、９・・・ガラス容器、１０
・・・窓材、１１・・・レーザ光束、１２・・・オイル
シール軸受、１３・・・回転シＸ・フト、１４・・・屈
折率調整油、１５・・・試料回転用のパルスモータ、１
６・・・光学系移初用のパルスモータ、１７・・・ネジ
付回転シャフト、１８・・・軸受、１９・・・電気信号
処理部、２０・・・ミニコンピユータ、２１・・・Ｘ−
Ｙプロッタ、２２・・・集光レンズ、２３・・・光検知
器。
Claims (2)
- （１）外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向
にレーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によっ
て遮られる時間を電気的に計測することによって、該測
定物の外径を高精度で測定する外径測定装置において、
該光束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な
面内に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容
器内に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心
軸を回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率
調整油の屈折率ｎが ｜［（ｎ＿１−ｎ）／ｎ］｜＜１０＾−＾３、ｎ＿１≠
ｎ（ただし、ｎ＿１は光ファイバ母材のクラッドの屈折
率を表す。） なる関係を満足するようになしたことを特徴とする光フ
ァイバ母材の形状測定装置。 - （２）外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向
にレーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によっ
て遮られる時間を電気的に計測することによって、該測
定物の外径を高精度で測定する外径測定装置において、
該光束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な
面内に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容
器内に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心
軸を回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率
調整油の屈折率ｎが ｜［（ｎ＿１−ｎ）／ｎ］｜＜１０＾−＾３、ｎ＿１≠
ｎ（ただし、ｎ＿１は光ファイバ母材のクラッドの屈折
率を表わす。） なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする光ファイバ
母材の形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15355185A JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15355185A JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214006A true JPS6214006A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0627646B2 JPH0627646B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=15564977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15355185A Expired - Lifetime JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627646B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195505A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバ母材の形状測定方法 |
| WO2005090939A1 (ja) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材のコア部非円率の測定方法及びその装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4825430B2 (ja) | 2005-02-22 | 2011-11-30 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材のコア部非円率測定方法。 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15355185A patent/JPH0627646B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195505A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバ母材の形状測定方法 |
| WO2005090939A1 (ja) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材のコア部非円率の測定方法及びその装置 |
| US7633608B2 (en) | 2004-03-23 | 2009-12-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Measurement method of non-circularity of core optical fiber base material and apparatus therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627646B2 (ja) | 1994-04-13 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |