JPS62137532A - 高圧力用容量性変換器 - Google Patents

高圧力用容量性変換器

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JPS62137532A
JPS62137532A JP61219844A JP21984486A JPS62137532A JP S62137532 A JPS62137532 A JP S62137532A JP 61219844 A JP61219844 A JP 61219844A JP 21984486 A JP21984486 A JP 21984486A JP S62137532 A JPS62137532 A JP S62137532A
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diaphragm
high pressure
insulating
pressure
capacitive transducer
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ｌｅｄあたり数十ｋｇ（数千ｐｓｉ）以上の
圧力を計測する高圧力用容量性変換器に関する。
〔従来の技術〕
数千ｋｇ（数千ポンド）という高圧力を測定するための
圧力変換器は知られてはいるが、いずれも相当に大型あ
り、かつ高価となりがちである。
１９８３年６月１４日に登録された米国特許第４　、３
８８　、６６８号、１９８３年８月１６日に登録された
米国特許第４，３９８，４２６号。

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）力学的ヒステリシスの小さな材料で作られ、わず
    かに離隔した絶縁板よりなる容量性圧力変換素子であっ
    て、前記絶縁板のそれぞれが、電極を形成する対向面に
    導電性材料の層を有し、かつ前記絶縁板の少くとも１枚
    が、高圧下に可撓性があるダイアフラムであり、このダ
    イアフラムが他の絶縁板の方向へ偏位することにより、
    前記電極同士の間のキャパシタンスを変化させるように
    した容量性圧力変換素子と、 高圧流体供結源に接続するためのカップリング及び前記
    絶縁ダイアフラムを収容しうる大きさの高圧チャンバを
    備え、前記容量性圧力交換素子を収容する高圧ハウジン
    グと、 前記高圧チャンバを密閉し、かつ高圧流体が前記圧力変
    換素子と触れないように、前記ハウジングに接続された
    、可撓性の金属薄板製ダイアフラムと、 前記ハウジング内で、前記金属薄板製ダイアフラムと前
    記絶縁ダイアフラムを前記圧力変換素子に固定する装置
    とを備え、 それにより、前記カップリングにかけられた高圧が変化
    する時に、それに応じて、前記金属薄板製ダイアフラム
    と絶縁ダイアフラムの偏位度が変化し、こうして変化し
    た前記変換器の出力キャパシタンスが、新しい圧力値を
    示すようになっている高圧力用容量性変換器。
  2. （２）絶縁板が、アルミナで作られている特許請求の範
    囲第（１）項に記載の高圧力用容量性変換器。
  3. （３）ハウジング並びに金属薄板製ダイアフラムが、ス
    テンレス鋼で作られている特許請求の範囲第（１）項に
    記載の高圧力用容量性変換器。
  4. （４）絶縁ダイアフラムの厚さが、少くとも２．５４ｍ
    ｍである特許請求の範囲第（１）項に記載の高圧力用容
    量性変換器。
  5. （５）金属薄板製ダイアフラムの厚さが、７．５６×１
    ０＾−＾３ｃｍないし３０．５×１０＾−＾３ｃｍであ
    る特許請求の範囲第（１）項に記載の高圧力用容量性変
    換器。
  6. （６）金属薄板製ダイアフラムが、２枚の絶縁板を高圧
    力から保護するために、ハウジングに溶接され、かつシ
    ールされている特許請求の範囲第（１）項に高圧力用容
    量性変換器。
  7. （７）２枚の絶縁板ならびに金属板製ダイアフラムの形
    状が円形である特許請求の範囲第（１）項に記載の高圧
    力用容量性変換器。
  8. （８）絶縁板が、圧縮強さの大きい材料で作られている
    特許請求の範囲第（１）項に記載の高圧力用容量性変換
    器。
  9. （９）固定装置が、絶縁ダイアフラムを金属薄板製ダイ
    アフラムに密着させながら２枚の絶縁板を保持するため
    、前記ハウジングにネジ込まれる止め輪を備えている特
    許請求の範囲第（１）項に記載の高圧力用容量性変換器
    。
  10. （１０）力学的ヒステリシスの小さな材料で作られ、わ
    ずかに離隔した２枚の絶縁板で作られた容量性圧力変換
    素子であって、前記絶縁板のそれぞれが、電極を形成す
    る対向面に導電性の材料の層を有し、この電極が、互い
    にわずかに離隔しており、前記絶縁板の少くとも１枚が
    、高圧下に可撓性があるダイヤフラムであり、このダイ
    ヤフラムが、他の絶縁板の方向へ偏位することにより、
    前記電極同士の間のキャパシタンスを変化させるように
    した容量性圧力変換素子を。 高圧流体源に接続するために、３５１．５ｋｇ／ｃｍ＾
    ２（５０００ｐｓｉ）以上の圧力に耐えうるカップリン
    グ、及び前記絶縁ダイアフラムを収容しうる大きさの高
    圧チャンバを備え、前記容量性圧力変換素子を固定し、
    収容するための高圧ハウジングと、前記ハウジング内で
    、前記金属薄板製ダイアフラムと前記絶縁ダイアフラム
    を、前記圧力変換素子に固定するための装置とを備え、 この固定装置が、前記絶縁ダイアフラムを、前記金属薄
    板製ダイアフラムとかたく結合して、２枚の前記絶縁板
    を保持するために、前記ハウジングとねじ溝により結合
    された重い保持リングを備え、それにより、前記カップ
    リングにかかる高圧が変化した時に、前記金属薄板製ダ
    イアフラムと前記絶縁ダイアフラムの偏位度が変化し、
    この変化により生成した出力キャパシタンスが、新たな
    圧力値を示すようになっている高圧力用容量性変換器。
  11. （１１）絶縁板が、アルミナで作られている特許請求の
    範囲第（１０）項に記載の高圧力用容量性変換器。
  12. （１２）ハウジング並びに金属薄板製ダイアフラムが、
    ステンレス鋼で作られている特許請求の範囲第（１０）
    項に記載の高圧力用容量性変換器。
  13. （１３）絶縁ダイアフラムの厚さが、少なくとも２．５
    ４ｍｍである特許請求の範囲第（１０）項に記載の高圧
    力用容量性変換器。
  14. （１４）金属薄板製ダイアフラムの厚さが、７．５６×
    １０＾−＾３ｃｍないし３０．５×１０＾−＾３ｃｍで
    ある特許請求の範囲第（１０）項に記載の高圧力用容量
    性変換器。
  15. （１５）金属薄板製ダイアフラムが、２枚の絶縁板を高
    圧力から保護するために、ハウジングに溶接され、かつ
    シールされている特許請求の範囲第（１０）項に記載の
    高圧力用容量性変換器。
  16. （１６）２枚の絶縁板ならびに金属薄板製ダイアフラム
    の形状が円形である特許請求の範囲第（１０）項に記載
    の高圧力用容量性変換器。
  17. （１７）絶縁板が、圧縮強さの大きい材料で作られてい
    る特許請求の範囲第（１０）項に記載の高圧力用容量性
    変換器。
  18. （１８）ハウジングが、絶縁ダイアフラムをはめ込むた
    めの肩部を有し、前記肩部は、前記絶縁ダイアフラムを
    密接してはめ込むために、前記肩部の表面と前記金属薄
    板製ダイアフラムの表面が同じ高さになるように、前記
    金属薄板製ダイアフラムをはめ込むくぼみを有している
    特許請求の範囲第（１０）項に記載の高圧力用容量性変
    換器。
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JP2008516230A (ja) * 2004-10-07 2008-05-15 エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド 静電容量センサのハウジングとダイヤフラムとの間にシールを形成する方法

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