JPS62126537A - 加速電源の制御装置 - Google Patents
加速電源の制御装置Info
- Publication number
- JPS62126537A JPS62126537A JP26484685A JP26484685A JPS62126537A JP S62126537 A JPS62126537 A JP S62126537A JP 26484685 A JP26484685 A JP 26484685A JP 26484685 A JP26484685 A JP 26484685A JP S62126537 A JPS62126537 A JP S62126537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- side power
- output voltage
- differential amplifier
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は加速電源の制、御装置に係り、特にイオンを加
速して試料にイオンを打ち込むイオン打ち込み装置等の
加速電源に好適な制御装置に関するものである。
速して試料にイオンを打ち込むイオン打ち込み装置等の
加速電源に好適な制御装置に関するものである。
イオン打ち込み装置の構成は、第３図に示すように、イ
オン源２１にてプラズマ化され、かつ。
オン源２１にてプラズマ化され、かつ。
加速されたイオンビーム２２け、分離磁石２３によって
イオンの選択分離が行われ、イオンビーム２２は偏向磁
石２４によって偏向されて打ち込み室２５または２６の
中に実装されている試料２７に打ち込まれる構成となっ
ている。
イオンの選択分離が行われ、イオンビーム２２は偏向磁
石２４によって偏向されて打ち込み室２５または２６の
中に実装されている試料２７に打ち込まれる構成となっ
ている。
第４図はイオン源の概略構成図である。第４図σマイク
ロ波イオン源であって、イオン源に導入されたガス３１
をマグネトロン３２から供給されるマイクロ波パワーと
コイル３３からの磁界が共存する中でマイクロ波放電さ
せ、イオン化箱３４の中でプラズマを発生きせる。この
プラズマは。
ロ波イオン源であって、イオン源に導入されたガス３１
をマグネトロン３２から供給されるマイクロ波パワーと
コイル３３からの磁界が共存する中でマイクロ波放電さ
せ、イオン化箱３４の中でプラズマを発生きせる。この
プラズマは。
電極３５．３６闇に印加された高電圧３７．３８によっ
てイオンビームとなって引き出される。
てイオンビームとなって引き出される。
３９はアイソレータで、プラズマ励起しないときにイオ
ン化箱３４から戻ってくるマイクロ波の反射波によって
マグネトロン３２が破損しないようにするためのもので
ｈＤ、４０はチョークフランジで、接地側にあるマグネ
トロン３２と高圧電極３５との間の高圧絶縁を行うもの
であり、４１は真空ソール板で、マイクロ波伝送路は大
気であるが、イオン化箱３４は真空であるため、真空絶
縁を行う。また、４２は高宵圧に対する絶縁碍子である
。
ン化箱３４から戻ってくるマイクロ波の反射波によって
マグネトロン３２が破損しないようにするためのもので
ｈＤ、４０はチョークフランジで、接地側にあるマグネ
トロン３２と高圧電極３５との間の高圧絶縁を行うもの
であり、４１は真空ソール板で、マイクロ波伝送路は大
気であるが、イオン化箱３４は真空であるため、真空絶
縁を行う。また、４２は高宵圧に対する絶縁碍子である
。
第５図は従来のイオン源への加速電圧印加構成図であり
、第６図は従来の出力設定目盛と出力電圧との関係上水
す線図である。第５図において。
、第６図は従来の出力設定目盛と出力電圧との関係上水
す線図である。第５図において。
引出し１！極１ （＠４図の電極３５に相当する）と中
間を極２と接地電極３には、 ｕｌ、源４，５よシミ圧
が印加される。例えば、電源４および電源５は。
間を極２と接地電極３には、 ｕｌ、源４，５よシミ圧
が印加される。例えば、電源４および電源５は。
それぞれ最大出力６５ＫＶとすると、電源４のθと電源
５の■とが接続されているため、引出し、電極１と中間
電極２０間には６５ＫＶが、また、中間電極２と接地電
極３の間にもａｓｍｖが印加される結果、引出し電ｔｉ
ｊｉｉｌと接地電極３の間には１３０ＫＶが印加される
ことになる。ただし１通常、電源として１ｄ６０ＫＶを
使用範囲とするので。
５の■とが接続されているため、引出し、電極１と中間
電極２０間には６５ＫＶが、また、中間電極２と接地電
極３の間にもａｓｍｖが印加される結果、引出し電ｔｉ
ｊｉｉｌと接地電極３の間には１３０ＫＶが印加される
ことになる。ただし１通常、電源として１ｄ６０ＫＶを
使用範囲とするので。
１２０ＫＶが最大のカロ速電圧となる。
次に、上記の電源４，５の出力設定制御系について述べ
る。高圧側を源４の出力は分割抵抗６゜７によって分割
されてノ帝還され、ＨＶ、設定器８の信号とが差動増幅
器９で比較増幅され、電源４の出力設定と安定化がはか
られる。また、接地側電源５の出力は、同様に分割抵抗
１０．ＩＩＫよって分割されて帰還され、ＨＶ ２設定
器１２の信号とが差動増幅器１３で比較増幅され、１源
５の出力設定と安定化がはかられる。
る。高圧側を源４の出力は分割抵抗６゜７によって分割
されてノ帝還され、ＨＶ、設定器８の信号とが差動増幅
器９で比較増幅され、電源４の出力設定と安定化がはか
られる。また、接地側電源５の出力は、同様に分割抵抗
１０．ＩＩＫよって分割されて帰還され、ＨＶ ２設定
器１２の信号とが差動増幅器１３で比較増幅され、１源
５の出力設定と安定化がはかられる。
上記構成における出力設定は第６図に示すようになる。
設定器８をまず６０ＫＶに設定しく図の■）１次いで設
定器１２を６０ＫＶに設定しく図の■）、最後に設定器
８に設定して（図の■）１２０ＫＶを印加する。また、
イオン源と電源４゜５の安全をはかる比め、ＨＶＩ
ＨＶ２ ＜ ６５に■となるように制約している。また
、ＨＶ２を最初に６０ＫＶに設定、したからＨＶ Ｉを
設定すると、イオン源内の電界状態が適当でなくなるた
め、イオン源内の不安定等が発生するので、上記した３
つの手順で１２０ＫＶまで高圧印加するようにしている
。
定器１２を６０ＫＶに設定しく図の■）、最後に設定器
８に設定して（図の■）１２０ＫＶを印加する。また、
イオン源と電源４゜５の安全をはかる比め、ＨＶＩ
ＨＶ２ ＜ ６５に■となるように制約している。また
、ＨＶ２を最初に６０ＫＶに設定、したからＨＶ Ｉを
設定すると、イオン源内の電界状態が適当でなくなるた
め、イオン源内の不安定等が発生するので、上記した３
つの手順で１２０ＫＶまで高圧印加するようにしている
。
しかし、上記した構成では、最大出力設定時には、３つ
の操作手順が必要であり、非常に操作が面倒である。
の操作手順が必要であり、非常に操作が面倒である。
〔見回の目的〕・
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とす
るところは、操作性を改善することができる加速電源の
制御装置を提供することにある。
るところは、操作性を改善することができる加速電源の
制御装置を提供することにある。
本発明の特徴は、高圧側型・源用差動増幅器には高圧側
電源の出力電圧と接地側電源の出力電圧との差を帰還す
る構成とした点にある。
電源の出力電圧と接地側電源の出力電圧との差を帰還す
る構成とした点にある。
以下本発明を第１図に示した実施例および第２図を用い
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第１図は本発明の加速電源の制御装置の一実施例を示す
構成図である。第１図において、ｌは引出し電極、２は
中間電極、３Ｆｉ接地電極、４は高圧側電源、５は接地
側電源、６，７，１０．１１は分割抵抗、８はＨＶ ＋
設定器、９．】３は差動増幅器、１２はＨＶｚ緯定器で
、これらは従来の第５図と同様で作用も同一であるので
、ここでは説明を省略する。ところで、第１図において
は、電源４の出力電圧の分割抵抗６，７で分割された電
圧と、電源５の出力電圧の分割抵抗１０．１１で分割さ
れた電圧とを差動増幅器１４に導いて、その差を増幅し
てＨＶ Ｉ設定器８から設定電圧が入力されている差動
増幅器９に入力して、その差を増幅して電源４を制御す
るようにしである。ただし、電源５の出力電圧を分割抵
抗１０．１１で分割（−てＨＶ ２設定器１２から設定
電圧が入力されている差動増幅器１３に入力して、その
差を増して電源５を制御することは従来と同様である。
構成図である。第１図において、ｌは引出し電極、２は
中間電極、３Ｆｉ接地電極、４は高圧側電源、５は接地
側電源、６，７，１０．１１は分割抵抗、８はＨＶ ＋
設定器、９．】３は差動増幅器、１２はＨＶｚ緯定器で
、これらは従来の第５図と同様で作用も同一であるので
、ここでは説明を省略する。ところで、第１図において
は、電源４の出力電圧の分割抵抗６，７で分割された電
圧と、電源５の出力電圧の分割抵抗１０．１１で分割さ
れた電圧とを差動増幅器１４に導いて、その差を増幅し
てＨＶ Ｉ設定器８から設定電圧が入力されている差動
増幅器９に入力して、その差を増幅して電源４を制御す
るようにしである。ただし、電源５の出力電圧を分割抵
抗１０．１１で分割（−てＨＶ ２設定器１２から設定
電圧が入力されている差動増幅器１３に入力して、その
差を増して電源５を制御することは従来と同様である。
上記の内容を式で示すと次のようになる。すなわち、抵
抗６．７による分割比を１／ｋｔ、抵抗１０．１１によ
る分割比をｌ／に、 とし、引出し電極１の電圧をＡ
、°中間電極２の電圧をＢとすると、差動増幅器１４の
出力は、に、：＝に２とすると。
抗６．７による分割比を１／ｋｔ、抵抗１０．１１によ
る分割比をｌ／に、 とし、引出し電極１の電圧をＡ
、°中間電極２の電圧をＢとすると、差動増幅器１４の
出力は、に、：＝に２とすると。
（Ａ十Ｂ）／に、−Ｂ／に２＝Ａ／に！ ・・・（
１）となる。
１）となる。
第２図は１ｇ１図の場合の出力設定目盛と出力電圧との
関係線図で、まず、ＨＶ ＋ を先に６０ＫＶに設定し
てからＨＶ ２を設定することにより、底上げするよう
に最大出力ＭＥＥｆ設定することができ、したがって、
２８作にて設定可能となる。
関係線図で、まず、ＨＶ ＋ を先に６０ＫＶに設定し
てからＨＶ ２を設定することにより、底上げするよう
に最大出力ＭＥＥｆ設定することができ、したがって、
２８作にて設定可能となる。
以上説、明したように１本発明によれば、最大出力電圧
を設定するときの操作性を改善できるという効果がある
。
を設定するときの操作性を改善できるという効果がある
。
へ＼
第″１図は本発明の加速電源の制御装置の一実施゛′ノ
ー 例を丁す構成図、第２図は第１図の場合の出力設定目盛
りと出力電圧との関係線図、第３図はイオン打ち込み装
置の概略構成図、第４図はイオン源の概略構成図、第５
図は従来の加速電源の制御装置の構成図５第６図は第５
図の場合の出力設定目盛と出力′ＩＪＩＥＥとの関係線
図である。 ４・・・高［１０電源、５・・・接地側電源、６，７．
！０゜１１・・・分割抵抗、８・・・ＨＶ ｌ設定器、
９，１３゜＃ ｌ 目 茅２ 口 ＨＶ２阪足目ａ 茅３ 目 竿４ 目
ー 例を丁す構成図、第２図は第１図の場合の出力設定目盛
りと出力電圧との関係線図、第３図はイオン打ち込み装
置の概略構成図、第４図はイオン源の概略構成図、第５
図は従来の加速電源の制御装置の構成図５第６図は第５
図の場合の出力設定目盛と出力′ＩＪＩＥＥとの関係線
図である。 ４・・・高［１０電源、５・・・接地側電源、６，７．
！０゜１１・・・分割抵抗、８・・・ＨＶ ｌ設定器、
９，１３゜＃ ｌ 目 茅２ 口 ＨＶ２阪足目ａ 茅３ 目 竿４ 目
Claims (1)
- １、高圧側電源と接地側電源を含む２つ以上の電源を備
え、これらの電源の出力電圧を直列接続することによっ
て高電圧を発生させ、前記高圧側電源および接地側電源
の出力電圧をそれぞれ設定電圧との差を比較増幅する差
動増幅器に帰還して該各差動増幅器の出力によってそれ
ぞれ前記高圧側電源および接地側電源の出力電圧の設定
と安定化をはかるようにしてなる加速電源において、前
記高圧側電源用差動増幅器には前記高圧側電源の出力電
圧と前記接地側電源の出力電圧との差を帰還する構成と
したことを特徴とする加速電源の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26484685A JPS62126537A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 加速電源の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26484685A JPS62126537A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 加速電源の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62126537A true JPS62126537A (ja) | 1987-06-08 |
Family
ID=17409024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26484685A Pending JPS62126537A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 加速電源の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62126537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016528680A (ja) * | 2013-07-09 | 2016-09-15 | フェニックス ニュークリア ラブズ エルエルシー | 高信頼性長寿命負イオン源 |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP26484685A patent/JPS62126537A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016528680A (ja) * | 2013-07-09 | 2016-09-15 | フェニックス ニュークリア ラブズ エルエルシー | 高信頼性長寿命負イオン源 |
| US9847205B2 (en) | 2013-07-09 | 2017-12-19 | Phoenix Llc | High reliability, long lifetime, negative ion source |
| US10950409B2 (en) | 2013-07-09 | 2021-03-16 | Phoenix Llc | High reliability, long lifetime, negative ion source |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940013298A (ko) | 고 임피던스 플라즈마 이온 주입 방법 및 장치 | |
| SE8700017L (sv) | Jonplasmaelektrokanon | |
| US4608513A (en) | Dual filament ion source with improved beam characteristics | |
| GB1060309A (en) | A source of ions or electrons | |
| SE8801145D0 (sv) | Ion plasma electron gun with dose rate control via amplitude modulation of the plasma discharge | |
| JPH06176725A (ja) | イオン源 | |
| JPS62126537A (ja) | 加速電源の制御装置 | |
| US3890535A (en) | Ion sources | |
| JP2662960B2 (ja) | イオン注入装置 | |
| JP3368695B2 (ja) | イオン源 | |
| GB1454196A (en) | Electron beam apparatus | |
| JPH0836982A (ja) | イオンビーム発生方法及びそのイオンビーム源 | |
| JPS63279552A (ja) | イオンビ−ム照射装置 | |
| JP2580943Y2 (ja) | イオン源 | |
| JP3105931B2 (ja) | 電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法 | |
| JP2822249B2 (ja) | イオン源 | |
| JPH05225935A (ja) | イオン照射装置とその制御方法 | |
| SU1023446A1 (ru) | Устройство дл регистрации зар женных частиц | |
| GB843172A (en) | Ion source for calutrons | |
| JPH0411975B2 (ja) | ||
| JPS5887747A (ja) | イオン打込装置 | |
| JPH08236056A (ja) | イオン源装置 | |
| JPH0228227B2 (ja) | ||
| JPS617542A (ja) | マイクロ波イオン源 | |
| JPH01161699A (ja) | 高速原子線源 |