JPS62124394A - 低温流体用輸送管 - Google Patents
低温流体用輸送管Info
- Publication number
- JPS62124394A JPS62124394A JP60264130A JP26413085A JPS62124394A JP S62124394 A JPS62124394 A JP S62124394A JP 60264130 A JP60264130 A JP 60264130A JP 26413085 A JP26413085 A JP 26413085A JP S62124394 A JPS62124394 A JP S62124394A
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- Japan
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- gas
- low
- temperature
- outer tube
- Prior art date
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- Granted
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- Thermal Insulation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業−１−の利用分野）
この発明は、外管の中に、低温流体を輸送する内管をｉ
Ｔ通させた低温流体用輸送管に関する。
Ｔ通させた低温流体用輸送管に関する。
（従来の技術）
従来、低温流体用輸送管は、第２図に示すように、外管
１の中に、（１１１に沿って周壁３に接触しないように
、内’ｌ’ｉ’５を貫通させ、外管ｌをその１・Ｔ４端
を閉塞して密封している。そして内管５の外周に、温度
の低ドとともにガスを吸着していく吸着部材６を取付け
ているや 前記吸着部材６はアルミノ珪酸１ム（商品名：モレキュ
ラーシーブ５Ａ、１３Ｘ、リンデ社製）、活性炭、シリ
カゲル等からなり、また内管５への取付けはガス放出の
小さい例えばエポキシ系接着剤で取付けるか、もしくは
メツシュによって吸着部材６を取囲むようにして取イ・
１ける。
１の中に、（１１１に沿って周壁３に接触しないように
、内’ｌ’ｉ’５を貫通させ、外管ｌをその１・Ｔ４端
を閉塞して密封している。そして内管５の外周に、温度
の低ドとともにガスを吸着していく吸着部材６を取付け
ているや 前記吸着部材６はアルミノ珪酸１ム（商品名：モレキュ
ラーシーブ５Ａ、１３Ｘ、リンデ社製）、活性炭、シリ
カゲル等からなり、また内管５への取付けはガス放出の
小さい例えばエポキシ系接着剤で取付けるか、もしくは
メツシュによって吸着部材６を取囲むようにして取イ・
１ける。
そして真空ポンプ７によって、外管１と内管５とで形成
される空間９を、所定圧力量ｆまで抽気して空間９の断
熱効果を高め、その後、バルブ１１を閉じて所定圧力に
維持しておき、その断熱効果が低下しないようにしてお
く。
される空間９を、所定圧力量ｆまで抽気して空間９の断
熱効果を高め、その後、バルブ１１を閉じて所定圧力に
維持しておき、その断熱効果が低下しないようにしてお
く。
使用に際しては、真空ポンプ７を撤去して、内ｆ庁５の
一端を液体窒素のタンク１３に接続し、他端を例えば超
高真空排気装置１５や分子線エピタキシー装置１７等の
冷却装置に接続して、液体窒素を内管５を通して冷却装
置に供給するようにしてい液体′ネ素の供給中、内管５
の外壁や外管１の内ｉＢ？からガスが放出された場合、
吸着部材６は内管５を通る液体窒素によって温度が低下
しているので、そのガスを吸着していく、このため空間
部９はｆ４空状態を維持し、その断熱効果が低下しない
。したがって液体窒素は温度上昇することなく冷却装置
に供給される。
一端を液体窒素のタンク１３に接続し、他端を例えば超
高真空排気装置１５や分子線エピタキシー装置１７等の
冷却装置に接続して、液体窒素を内管５を通して冷却装
置に供給するようにしてい液体′ネ素の供給中、内管５
の外壁や外管１の内ｉＢ？からガスが放出された場合、
吸着部材６は内管５を通る液体窒素によって温度が低下
しているので、そのガスを吸着していく、このため空間
部９はｆ４空状態を維持し、その断熱効果が低下しない
。したがって液体窒素は温度上昇することなく冷却装置
に供給される。
（本発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記輸送管では、真空ポンプ７によって
外Ｉ′ｉ？１と内管５とで形成される空間９を予めＵ１
気しなければならず、このため真空ポンプ等の排気装置
が必要であった。また輸送管を冷却装置に取イ・１けた
後も、一定期間経過後、前記空間９を排気装置によって
排気しなければならないので、輸送管を冷却装置内の細
部に取付けである場合、外管ｌに７１１気装置を取付け
る際、排気装置が大規模であるためその取付けが困難で
あった。さらに前記空間９のＵ１気のたびに、排気装置
の取付、取外し作業や、バルブの開閉作業等を行なわな
ければならない等の煩わしさがあった。
外Ｉ′ｉ？１と内管５とで形成される空間９を予めＵ１
気しなければならず、このため真空ポンプ等の排気装置
が必要であった。また輸送管を冷却装置に取イ・１けた
後も、一定期間経過後、前記空間９を排気装置によって
排気しなければならないので、輸送管を冷却装置内の細
部に取付けである場合、外管ｌに７１１気装置を取付け
る際、排気装置が大規模であるためその取付けが困難で
あった。さらに前記空間９のＵ１気のたびに、排気装置
の取付、取外し作業や、バルブの開閉作業等を行なわな
ければならない等の煩わしさがあった。
この発明は、υＦ気装置を使用せずに＋ｉｉｆ記空間を
排気できるようにして、１−記問題を解消するようにし
た低温流体用輸送管を提供することをＬＩ的とする。
排気できるようにして、１−記問題を解消するようにし
た低温流体用輸送管を提供することをＬＩ的とする。
（問題を解決するための手段）
この発明は、」二記の［Ｊ的を達成するために、外管の
中に、低温流体を輸送する内管を貫通させ、両管の間に
密封された空間部を形成するとともに、ｒｉｉｊ記内管
の外周面に、温度の低下にともなってガスを吸着してい
く吸ｉｉ部材を取付けた低温流体用輸送管において、前
記の密封した空間部を加熱する加熱手段と、その空間部
の圧力が大気用具１：のとき、前記空間部内の気体を排
出する排出手段とを＋ｉＱけだものである。
中に、低温流体を輸送する内管を貫通させ、両管の間に
密封された空間部を形成するとともに、ｒｉｉｊ記内管
の外周面に、温度の低下にともなってガスを吸着してい
く吸ｉｉ部材を取付けた低温流体用輸送管において、前
記の密封した空間部を加熱する加熱手段と、その空間部
の圧力が大気用具１：のとき、前記空間部内の気体を排
出する排出手段とを＋ｉＱけだものである。
（本発明の作用）
加熱ｒ段によって密Ｊ、）した外管内を加熱すると、吸
着部材や外管の内壁および内管の外壁などからガスが放
出され、このガス放出と、外管内の空気の温度−１−’
ｔｊによって外管内の圧力が大気用具１−になり、ｔＪ
１出手段が外管内の空気およびガスをＪＪＩ出する。所
定時間経過後加熱を停止すると、外管内の温度が低下し
７ていき、吸着部材がその温度低トとともに、外管内の
残りの空気およびガスを吸着していくので外管内は真空
状態になる。そして内省に低温流体を通すと、その低温
流体によって吸着、・■材の温度かさらに低下して、吸
１ｉ効来が増加するので、外管内の断熱効果がにる。
着部材や外管の内壁および内管の外壁などからガスが放
出され、このガス放出と、外管内の空気の温度−１−’
ｔｊによって外管内の圧力が大気用具１−になり、ｔＪ
１出手段が外管内の空気およびガスをＪＪＩ出する。所
定時間経過後加熱を停止すると、外管内の温度が低下し
７ていき、吸着部材がその温度低トとともに、外管内の
残りの空気およびガスを吸着していくので外管内は真空
状態になる。そして内省に低温流体を通すと、その低温
流体によって吸着、・■材の温度かさらに低下して、吸
１ｉ効来が増加するので、外管内の断熱効果がにる。
（未発明の効果）
この発明によれば外管内の断熱効果が１−るので、低温
流体の温度をＬ： ’ｉｔさせることなく）輸送するこ
とかできる。また外管内の加熱により、その外管内を工
°↓空状可、にすることができるので、従来のように真
空ポンプ等のり１気装置や、さらにＪＪ１気のｔ−めの
忙わしい作業音・を必要としない。また冷ノ４ｊ装置Ｉ
Ｙ１のｍ１１部にＩ−記輸送管を取イ・１けて、１す度
１」気を行なう場合も、ヒータで加熱するだけでよいの
で、１ノ［気を筒中に行なうことができる。
流体の温度をＬ： ’ｉｔさせることなく）輸送するこ
とかできる。また外管内の加熱により、その外管内を工
°↓空状可、にすることができるので、従来のように真
空ポンプ等のり１気装置や、さらにＪＪ１気のｔ−めの
忙わしい作業音・を必要としない。また冷ノ４ｊ装置Ｉ
Ｙ１のｍ１１部にＩ−記輸送管を取イ・１けて、１す度
１」気を行なう場合も、ヒータで加熱するだけでよいの
で、１ノ［気を筒中に行なうことができる。
（発明の実施例）
第１図において、２１は外管で、その中に輔に沿って周
壁２３に接触しないように内管２５が頁通し、その周壁
２３と内管とで空間部２７を形成している。外管２１は
その両端を閉塞して密」・Ｉ状態になっている。そして
内管２５の外周に、温度の低下とともにガスを吸着して
いく吸着部材２９が取付けられている。吸着部材２９は
従来と同様なので、その説明は省略する。
壁２３に接触しないように内管２５が頁通し、その周壁
２３と内管とで空間部２７を形成している。外管２１は
その両端を閉塞して密」・Ｉ状態になっている。そして
内管２５の外周に、温度の低下とともにガスを吸着して
いく吸着部材２９が取付けられている。吸着部材２９は
従来と同様なので、その説明は省略する。
＋ｉｉｆ記外管２１の外周には加熱手段たるヒータ３０
が設けられており、さらにその外管２１に逆止弁３１が
接続され、空間部２７の圧力が大気圧以上になったとき
のみ開ブＣして、その空間部２７内のガスを排出するよ
うになっている。
が設けられており、さらにその外管２１に逆止弁３１が
接続され、空間部２７の圧力が大気圧以上になったとき
のみ開ブＣして、その空間部２７内のガスを排出するよ
うになっている。
いま、内／ｌ″ｉ′２５の一端を液体窒素のタンクに、
他端を分子線エピタキシ装２２等の冷却装置に接続しく
第２図払照）、ヒータ３０に電圧を印加して前記空間部
２７を加熱する。この加熱によって、吸着部材２９や外
／ｉ？２ （の内壁および内／ｉ？２５の外壁からＨ２
Ｏなどのガスか放出され、このガスと、空間部２７の空
気の温度上′ｊ１によって空間ｒ：Ｂ２７の圧力が大気
用具１−になる。そして空間部２７の空気およびガスが
適正ゴｐ３１を介して抽気されるので、空間部２７に存
在する空気およびガス品が減少していく。
他端を分子線エピタキシ装２２等の冷却装置に接続しく
第２図払照）、ヒータ３０に電圧を印加して前記空間部
２７を加熱する。この加熱によって、吸着部材２９や外
／ｉ？２ （の内壁および内／ｉ？２５の外壁からＨ２
Ｏなどのガスか放出され、このガスと、空間部２７の空
気の温度上′ｊ１によって空間ｒ：Ｂ２７の圧力が大気
用具１−になる。そして空間部２７の空気およびガスが
適正ゴｐ３１を介して抽気されるので、空間部２７に存
在する空気およびガス品が減少していく。
所定時間経過後、ヒータ３０による加熱を停止すると、
空間部２７の温度が低下していく、この温度低ドによっ
て、吸着部材２９が空ｕ１１部２７に残存している空気
およびガスを吸着していき、その空間部２７は真空状ｙ
ａｉになり、断熱効果が高くなる。このように、ヒータ
３０の加熱で空間部２７を真空状態にすることができる
ので、排気装置が必要でなく、従来のように排気装置の
数例、取外し作業等の煩わしさがない。
空間部２７の温度が低下していく、この温度低ドによっ
て、吸着部材２９が空ｕ１１部２７に残存している空気
およびガスを吸着していき、その空間部２７は真空状ｙ
ａｉになり、断熱効果が高くなる。このように、ヒータ
３０の加熱で空間部２７を真空状態にすることができる
ので、排気装置が必要でなく、従来のように排気装置の
数例、取外し作業等の煩わしさがない。
そして、内管２５に液体窒素を通すと、空間部２７の温
度がさらに下り、吸着部材２９がさらに空気およびガス
を吸着していき、空間部２７は高真空となり、空間部２
７の断熱効果が一段と高くなる。したがって液体窒素等
の低温流体を温度−１−昇させることなく輸送すること
ができる。
度がさらに下り、吸着部材２９がさらに空気およびガス
を吸着していき、空間部２７は高真空となり、空間部２
７の断熱効果が一段と高くなる。したがって液体窒素等
の低温流体を温度−１−昇させることなく輸送すること
ができる。
また分子線エピタキシ装置に複数設近されている冷却装
置間に、−に記の輸送管を適用したところ、分子線エピ
タキシ装置自体のベーキングと並行して空１ｊ（１部２
７をベーキングすることにより、特別な処理時間を間す
ることなく真空を維持することかできた。
置間に、−に記の輸送管を適用したところ、分子線エピ
タキシ装置自体のベーキングと並行して空１ｊ（１部２
７をベーキングすることにより、特別な処理時間を間す
ることなく真空を維持することかできた。
なお、］二記実施例ではヒータ３０を外管２１の外周に
、没けているが、空間部２７に設けてもよく、また逆１
【三方を用いているが、これに限定されるものではなく
、空間部２７の圧力が大気圧以上になったとき、その空
＋？Ｊ１部２７を排気するものであればよい。
、没けているが、空間部２７に設けてもよく、また逆１
【三方を用いているが、これに限定されるものではなく
、空間部２７の圧力が大気圧以上になったとき、その空
＋？Ｊ１部２７を排気するものであればよい。
第１図は実施例の断面図、第２図は従来の断面図である
。
。
Claims (1)
- 外管の中に、低温流体を輸送する内管を貫通させ、両管
の間に密封された空間部を形成するとともに、前記内管
の外周面に、温度の低下にともなってガスを吸着してい
く吸着部材を取付けた低温流体用輸送管において、前記
の密封した空間部を加熱する加熱手段と、その空間部の
圧力が大気圧以上のとき、前記空間部内の気体を排出す
る排出手段とを設けたことを特徴とする低温流体用輸送
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60264130A JPS62124394A (ja) | 1985-11-25 | 1985-11-25 | 低温流体用輸送管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60264130A JPS62124394A (ja) | 1985-11-25 | 1985-11-25 | 低温流体用輸送管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124394A true JPS62124394A (ja) | 1987-06-05 |
| JPH0337079B2 JPH0337079B2 (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=17398880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60264130A Granted JPS62124394A (ja) | 1985-11-25 | 1985-11-25 | 低温流体用輸送管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62124394A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53113391U (ja) * | 1977-02-17 | 1978-09-09 | ||
| JPS60113892A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-20 | 日立電線株式会社 | 冷媒輸送管 |
-
1985
- 1985-11-25 JP JP60264130A patent/JPS62124394A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53113391U (ja) * | 1977-02-17 | 1978-09-09 | ||
| JPS60113892A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-20 | 日立電線株式会社 | 冷媒輸送管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0337079B2 (ja) | 1991-06-04 |
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