JPS621175U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS621175U JPS621175U JP9282285U JP9282285U JPS621175U JP S621175 U JPS621175 U JP S621175U JP 9282285 U JP9282285 U JP 9282285U JP 9282285 U JP9282285 U JP 9282285U JP S621175 U JPS621175 U JP S621175U
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Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例に係わるボンデ
イングパツドを示す平面図イとそのＡ〜Ａ矢視断
面図ロ、第２図は第１図の絶縁層を示す平面図イ
とそのＢ―Ｂ矢視断面図ロ、第３図は本考案の第
２の実施例に係わるボンデイングパツドを示す平
面図イとそのＣ―Ｃ矢視断面図ロ、第４図は本考
案の第３の実施例に係わるボンデイングパツドを
示す平面図イとそのＤ―Ｄ矢視断面図ロ、第５図
は磁気バブルメモリ素子のボンデイングパツドを
示す模式平面図イと該パツドの拡大断面図ロ、第
６図は前記パツドにプローブを当接した平面図イ
とその側面図ロ、第７図は従来技術の問題点を説
明するための平面図、である。 第１図〜第４図において、１１，２１，３１は
絶縁層、１２，２２，３２は導体層、１２ａ，２
２ａ，３２ａはプローブ当接領域、を示す。
イングパツドを示す平面図イとそのＡ〜Ａ矢視断
面図ロ、第２図は第１図の絶縁層を示す平面図イ
とそのＢ―Ｂ矢視断面図ロ、第３図は本考案の第
２の実施例に係わるボンデイングパツドを示す平
面図イとそのＣ―Ｃ矢視断面図ロ、第４図は本考
案の第３の実施例に係わるボンデイングパツドを
示す平面図イとそのＤ―Ｄ矢視断面図ロ、第５図
は磁気バブルメモリ素子のボンデイングパツドを
示す模式平面図イと該パツドの拡大断面図ロ、第
６図は前記パツドにプローブを当接した平面図イ
とその側面図ロ、第７図は従来技術の問題点を説
明するための平面図、である。 第１図〜第４図において、１１，２１，３１は
絶縁層、１２，２２，３２は導体層、１２ａ，２
２ａ，３２ａはプローブ当接領域、を示す。
Claims (1)
- 計測用プローブの当接領域１２ａ，２２ａ，３
２ａが、少なくとも他の所要領域との境界より低
面に形成されてなることを特徴とするプローブ当
接用パツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9282285U JPS621175U (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9282285U JPS621175U (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621175U true JPS621175U (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=30649959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9282285U Pending JPS621175U (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621175U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5353266A (en) * | 1976-10-26 | 1978-05-15 | Seiko Epson Corp | Probe card |
| JPS58166730A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置のボンデイング用電極 |
| JPS5923530A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-07 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP9282285U patent/JPS621175U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5353266A (en) * | 1976-10-26 | 1978-05-15 | Seiko Epson Corp | Probe card |
| JPS58166730A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置のボンデイング用電極 |
| JPS5923530A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-07 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |