JPS62113090A - Ic tester for preheater - Google Patents
Ic tester for preheaterInfo
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- JPS62113090A JPS62113090A JP60251940A JP25194085A JPS62113090A JP S62113090 A JPS62113090 A JP S62113090A JP 60251940 A JP60251940 A JP 60251940A JP 25194085 A JP25194085 A JP 25194085A JP S62113090 A JPS62113090 A JP S62113090A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ICハンドラに設(づられるプリヒータを通
過するICを検出する装Mjtに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a device Mjt for detecting an IC passing through a preheater installed in an IC handler.
ICハンドラは、多数のICを順次に搬送してIC測定
ソケッ1〜に装着して゛電気的性能の検査に供し、かつ
、上記測定ソケットから離脱せしめたICを検査結果に
従って級5111に分類して搬出する自動機器である。The IC handler sequentially transports a large number of ICs, attaches them to the IC measurement sockets 1 to 1, tests their electrical performance, and classifies the ICs removed from the measurement sockets into class 5111 according to the test results. This is an automatic device for transporting items.
上記の電気的性能の検査は所定の温度条件で行われるの
で、該所定7I、、1度が室温よりも高いときはプリヒ
ータが設けられる。。Since the electrical performance test described above is performed under predetermined temperature conditions, a preheater is provided when the predetermined temperature is higher than room temperature. .
プリヒータは−・般に、ICをシュートレールによって
搬送しつつ、I c l/)搬送路に対向せしめてヒー
トブロックを設置し、搬送途中のICを加熱するように
構成される。A preheater is generally configured such that, while the IC is being transported by a chute rail, a heat block is placed opposite the I c l/) transport path to heat the IC during transport.
第5図は、シュートレール1によってIC2を搬送して
いる状態の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a state in which the IC 2 is being transported by the chute rail 1.
シュー1−レール]−の断面形状が不正E字形をしてい
るのは、大形、中形、小形のICを1個のシュートレー
ルで搬送できるようにしたものである。The reason why the cross-sectional shape of the shoe 1-rail is an irregular E-shape is that large, medium, and small ICs can be transported by one chute rail.
即ち、第6図に示すようにして小形のIC2aを搬送す
ることもでき、第7図に示すようにして中形のIC2b
を搬送することもでき、第8図に示すようにして大形の
IC2cを搬送することもできる。That is, a small IC 2a can be transported as shown in FIG. 6, and a medium-sized IC 2b can be transported as shown in FIG.
It is also possible to transport a large IC 2c as shown in FIG.
第9図は従来技術に係るプリヒータの一例を示し、1は
前述のシュートレール、2は搬送中のICである。FIG. 9 shows an example of a preheater according to the prior art, where 1 is the aforementioned chute rail and 2 is an IC being transported.
搬送中のICの上方に、微小間隙を介してヒートブロッ
ク3が設置される。3aはヒートブロックに埋設された
電気ヒータである。A heat block 3 is installed above the IC being transported with a small gap therebetween. 3a is an electric heater embedded in the heat block.
このプリヒータ装置は前述のIC測定用ソケット(図示
せず)の直前に設置され、プリヒータを通過したICは
測定用ソケッ1〜に装着される。This preheater device is installed immediately before the aforementioned IC measurement socket (not shown), and the IC that has passed through the preheater is installed in the measurement sockets 1 to 1.
従って、測定用ソケットの装着、離脱操作を自動的に行
うため、プリヒータを通過するII C2を検出して、
該検出信号を自動制御装置(図示せず)に入力させる必
要が有る。Therefore, in order to automatically attach and detach the measurement socket, detect II C2 passing through the preheater,
It is necessary to input the detection signal to an automatic control device (not shown).
そこで、従来技術においては、第9図に示すようにIC
2と交わる水平方向の光軸(鎖線矢印で示す)Aを設定
し、この先軸に治って水平に対向せしめてビームセン′
す°の没光’A:’f ’lと同受光器5とが設置され
る。Therefore, in the conventional technology, as shown in FIG.
Set a horizontal optical axis A (indicated by a chain arrow) that intersects with
A light receiver 5 is installed.
」二記ビームセンザlJ公知の機器で、例えばサンクス
製ビームセンザ(商標名)が市販さ才している。2. Beam Sensor IJ is a well-known device, for example Beam Sensor (trade name) manufactured by Sunkus, which is commercially available.
以」二のように構成したIC検出装置(第9図)によれ
ば、プリヒータを通過するIC2が光路Aを遮ったとき
受光器!5が入射光の消失を検知してIC2の通過を検
出することかでき、次工程の機器に信号を与えるのに便
利である。According to the IC detection device (FIG. 9) configured as described above, when IC2 passing through the preheater interrupts the optical path A, the light receiver! 5 can detect the disappearance of the incident light and detect the passage of the IC2, which is convenient for giving a signal to the equipment in the next process.
プリヒータに複数組のシフ−1〜レール]及びヒートブ
ロック3をN11行に、j旧11tする場合、前述の従
来技術(第9図)の検出装置を設けると、仮想線で示し
た隣接のヒートブロック3′及びシュートレール1′と
の間に投、受光器4,5′を設置しなければならないた
め、間隔寸法W0が大きくなり、プリヒータ装置全体を
大型、大重量化させる。When the preheater is equipped with multiple sets of shift-1 to rail] and the heat block 3 in the N11 row, if the detection device of the prior art (Fig. 9) described above is installed, the adjacent heat Since the emitter and light receiver 4, 5' must be installed between the block 3' and the chute rail 1', the interval dimension W0 increases, making the entire preheater device large and heavy.
その」二、第9図から容易に理解できるように、水平な
光軸Aに沿って、投、受光器を設けた構造では、・シュ
ートレール1上のICの有無は検知できるが、そのIC
が大形であるか、中形であるか、或いは小形であるかを
識別することができないという不具合が有る。Second, as can be easily understood from FIG.
There is a problem in that it is not possible to distinguish whether the image is large, medium, or small.
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、プリヒー
タ装置に設けられる複数対のヒートブロック及びシュー
トレール間の間隔寸法を拡大することなく、該プリヒー
タ装置を通過するICを検出することができ、しかも、
ICの存在を検知したときそのICが大形、中形、小形
の何れであるかを識別し得る装置を提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to detect ICs passing through a preheater device without increasing the distance between the plurality of pairs of heat blocks and chute rails provided in the preheater device. It is possible, and
An object of the present invention is to provide a device that can identify whether an IC is large, medium, or small when the presence of the IC is detected.
上記の目的を達成するため、本発明の装置は、小型IC
搬送レーン及び中型1C搬送レーン並びに大型IC搬送
レーンを((itえたICシュー1へレールを設置する
とともに、!−二記Cシュートレール上を搬送されるI
Cの頂面に対向せしめてヒートブロックを設置したプリ
ヒータを通過するICを検出する装置において、互いに
交差する2本の光軸を設定し、上記2本の光軸の内の−
・方は前記ICシュートレールの中形IC搬送レーンを
避け小形IC搬送レーンに交差させてほぼ」1下方向と
し、前記2本の光軸の内の他方は前記ICシュートレー
ルの小型IC搬送レーンを避け中形IC搬送レーンに交
差させてほぼ」1下方向とし、かつ、上記2本の光軸は
それぞれヒートブロック内に設けられているヒータと交
差しないように設定し、かつ、シュートレール及びピー
1〜ブロツクが上記2本の光軸と交わる部分をそれぞれ
切り欠いた形状にすると共に、該2本の光軸のそれぞれ
に沿って2組のビームセンサ受9発光l!蹄を対向設置
したことを特徴とする。In order to achieve the above object, the device of the present invention utilizes a small IC.
The transport lane, the medium-sized 1C transport lane, and the large IC transport lane are installed on the IC shoe 1 that has been installed (!-2).
In a device for detecting an IC passing through a preheater in which a heat block is installed opposite to the top surface of a C, two optical axes are set to intersect with each other, and - of the two optical axes is set.
・One side avoids the medium IC transport lane of the IC chute rail, crosses the small IC transport lane, and is directed approximately 1" downward, and the other of the two optical axes is the small IC transport lane of the IC chute rail. The two optical axes are set so that they do not intersect with the heaters installed in the heat block, and the chute rail and The parts of the blocks intersecting with the two optical axes are cut out, and two sets of beam sensor receivers 9 emit light along each of the two optical axes. It is characterized by having opposite hooves.
上記のように構成すると、受9発光器を対向せしめて設
置すべき光軸が水平方向でなく、斜」1下方向であるた
め、」二記受2発光器の設置によってピー1−ブロック
及びシュートレールの設置間隔が影響を受けない。その
上、前記2本の光軸に沿って行われる2組の投、受光の
何れが遮られ何れが遮られないかによって被検出ICの
犬、中、小形の区別を認識することができる。With the above configuration, since the optical axes that should be installed with receiver 9 emitter facing each other are not horizontal but diagonally downward, by installing receiver 2 emitter, P1 block and Chute rail installation spacing is not affected. Moreover, it is possible to distinguish whether the IC to be detected is small, medium, or small depending on which of the two sets of light emission and light reception performed along the two optical axes is blocked and which is not blocked.
第1図は本発明の一実施例の断面図である。 FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.
11はシュートレール、13はピー1〜ブロツク、+3
aは電気ヒータである。11 is shoot rail, 13 is P1~Block, +3
a is an electric heater.
シュートレール11」二を搬送される大形のIC2cに
交わるよう、2本の光1lilIIB、Cを互いに交差
させて、斜上下方向に設定する。The two beams of light 1liIIB and C are set diagonally up and down so that they intersect with the large IC 2c being transported on the chute rail 11'2.
上記の光軸B、Cは、ぽぼ−f−F方向とするが、ピー
1〜ブロツク13に埋設した電気ヒータ13aと交わら
ない程度に傾刺させる。The above-mentioned optical axes B and C are set in the Povo-F-F direction, but are tilted to such an extent that they do not intersect with the electric heaters 13a embedded in the blocks 1 to 13.
1−Wt: 2本の光l1illIB、Cの設定方法に
ついて更に詳しく説明する。1-Wt: The method of setting the two lights I1illIB and C will be explained in more detail.
第2図はシュー1へ1ノール11に設けられている小形
IC搬送レーンL +1に沿って小形IC2aが搬送さ
れている状態を、第3図は同じく中形T C搬送レーン
Lbに沿って中形1 (’; 21)が搬送されている
状態を、第4図は同じく人形IC搬送レーンLcに沿っ
て大形IC2を肋\IR4送されている状態をそれぞれ
示している、。Figure 2 shows a state in which a small IC 2a is being transported to the shoe 1 along the small IC transport lane L+1 provided in the 1-knoll 11, and Figure 3 shows a state where the small IC 2a is being transported to the shoe 1 along the medium TC transport lane Lb. Figure 4 shows a state in which a type 1 ('; 21) is being transported, and a state in which a large IC 2 is being transported along the doll IC transport lane Lc.
光軸Bは、第2図乃至第4図にボすごとく小形IC搬送
レーンi、 a−l”の中形1c2bと交わり、中形I
C搬送レーンL叫−の中形1’、 C21)と交わらず
、かつ、大形IC搬送レーンI、(2+の人形I C2
(:と交わるように設定する1゜
また、光軸Cは同様に、中形1.C21)、大形IC2
cとは交わり、小形T C211とは交わらないように
設定する。The optical axis B intersects with the medium size 1c2b of the small IC transport lane i, a-l'' as shown in Figures 2 to 4, and the medium size I
It does not intersect with the medium size 1', C21) of the C transport lane L, and the large IC transport lane I, (2+ doll I C2)
(Set so that it intersects with : 1° Also, the optical axis C is similarly set as medium 1.C21), large IC2
It is set so that it intersects with c and does not intersect with small TC211.
上記のように設定した光1i1+ It 、 Cが、ピ
ー1〜ブロツク13を通過する個所イNI近に透孔]:
1b、 13cを穿つと共に該光軸13.(’;がシュ
ートレール11を通過する個所付近に透孔111〕、
It4・を穿っ。There is a through hole near INI where the light 1i1+It, C set as above passes through blocks 1 to 13]:
1b, 13c and the optical axis 13. (There is a through hole 111 near the point where '; passes through the chute rail 11),
Wear It4・.
本発明を実施する際、上記の透孔Nlb、13c、1.
]b。When carrying out the present invention, the above-mentioned through holes Nlb, 13c, 1.
]b.
]、1cは必ずしも孔の形状でなくてもよく、溝であっ
てもよい。要するに光軸と干渉しないように切り欠いた
形状とする。], 1c does not necessarily have to be in the shape of a hole, but may be a groove. In short, it has a cutout shape so as not to interfere with the optical axis.
前記2本の光軸13.Cに沿って、二組の投、受光器4
b、5b及び4c、5cを、それぞれほぼ上下に対向せ
しめて設置する。The two optical axes 13. Along C, two sets of emitter, receiver 4
b, 5b and 4c, 5c are installed substantially vertically facing each other.
]−記の光軸B、光軸Cは電気ヒータ13aと交わらな
い範囲で而直に近く設定しであるため、この先軸に沿っ
て対向せしめた役、受光器4b、 5b、及び4 Cg
5 Cは、シュートレール11.ヒートブロック13
に対して斜」1下方向に位置することとなる。] - Since the optical axes B and C are set directly and close to each other without intersecting with the electric heater 13a, the optical receivers 4b, 5b, and 4Cg are placed opposite to each other along the axes.
5 C is chute rail 11. heat block 13
It will be located diagonally downward by 1".
このため、隣接するシュートレール11.’、 Il′
′、及び隣接するピー1−ブロック1.3’、13′と
の間隔寸法W、は、本発明装置の適用によって増加する
ことが無い。また、光軸B、Cに沿って設けた透孔(切
欠でもよい) 13b、 13cはピー1−ブロック1
3の電気ヒータ]、3aに掛からないので該ピー1−ブ
ロック13の機能を妨げる虞れが無い。For this reason, the adjacent chute rail 11. ', Il'
' and the distance W between adjacent P1-blocks 1.3' and 13' do not increase by applying the device of the present invention. In addition, the through holes (notches may be used) 13b and 13c provided along the optical axes B and C are P1-Block1.
3] and 3a, there is no risk of interfering with the function of the P1-block 13.
前述の光軸T3.Cはそれぞれ第2図乃至第4図につい
て説明したように設定しであるので、シュ−トレー月利
1」二を小形I C2aが通過する際は光軸Bに沿った
投、受光のみが瞬間的に遮らiシる。The aforementioned optical axis T3. Since C is set as explained in FIGS. 2 to 4, when the small IC2a passes through the Schuteley monthly rate 1"2, only the light emission and reception along the optical axis B are instantaneous. I will block you.
同様に、中形IC2bが通過する際は光1lIlllc
に沿った投、受光のみが瞬間的に)(!1l)4シる。Similarly, when the medium-sized IC2b passes, the light 1lIllc
Only the light emitted along the line and the light received instantaneously) (!1l) 4shi.
そして、人形T C: 2 (:が通:1i111ずろ
1県は光11i11113 。And the doll T C: 2 (:gatou: 1i111zuro 1 prefecture is light 11i11113.
Cに沿った投、受光の人力とIJが同I1.冒こ瞬間的
に遮られる。The human power for projection and reception along C and IJ are the same as I1. The blasphemy was interrupted momentarily.
このため、光軸1(、Cにl(ト)て設置l′1°した
2個の受光器5 b g 5 Cの人!:I−1ソ/l
li’ Jg I’Jれる状JNを検出すると、シュ
ー1〜iノールIILをICか通過したこと、及びその
ICが大、中、小形の何れであるかを検知することがで
きる。For this reason, two light receivers 5 b g 5 C's person!: I-1 So/l
li' Jg I'J When JN is detected, it is possible to detect that an IC has passed through shoes 1 to i-nord IIL, and whether the IC is large, medium, or small.
以」−説明したように、本発明の検出装置を適用すると
、ブリヒータ袋間に、1υづられる複数対のシュートレ
ール及びヒートブロック相互の間隔を増加せしめること
なく、該プリヒータを通過するICを検知すると共に、
その10の犬、中、小形の別を識別することができると
いう優れた実用的効果を奏する。As described above, when the detection device of the present invention is applied, it is possible to detect ICs passing through the preheater without increasing the distance between the multiple pairs of chute rails and heat blocks arranged 1υ between the preheater bags. At the same time,
It has an excellent practical effect of being able to distinguish between the 10 types of dogs, medium and small.
第1図は本発明のIC検出装置の一実施例を示し、模式
化して描いた断面図である。
第2図乃至第4図は上記実施例の構成並びに作動の説明
図である。
第5図はIC搬送用シュートレールの斜視図、第6図乃
至第8図はシュートレールの作用説明図、第9図は従来
のプリヒータ用IC検出装置の説明図である。
1・・・シュートレール、2・・・IC12a・・・小
形IC,2b・・・中形IC12c・・・大形ICl3
・・・ヒートブロック、3a・・・電気ヒータ、4,4
b、4c・・・ビームセンサの投光器、5,5b、5c
・・・ビームセンサの受光器、11・・・シュートレー
ル、11’、 11’・・・隣接するシュートレール、
llb、 llc・・・透孔(切欠)、13・・・ヒー
トブロック、13’ 、 13’・・・隣接するヒート
ブロック、13a・・・電気ヒータ、13b、 13c
・・・透孔(切欠)。
特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理
人弁理士 秋 本 正 実
第1図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the IC detection device of the present invention. FIGS. 2 to 4 are explanatory diagrams of the structure and operation of the above embodiment. FIG. 5 is a perspective view of an IC transport chute rail, FIGS. 6 to 8 are explanatory views of the operation of the chute rail, and FIG. 9 is an explanatory view of a conventional preheater IC detection device. 1... Shoot rail, 2... IC12a... Small IC, 2b... Medium IC12c... Large IC13
...Heat block, 3a...Electric heater, 4,4
b, 4c... Beam sensor floodlight, 5, 5b, 5c
...beam sensor light receiver, 11...chute rail, 11', 11'...adjacent chute rail,
llb, llc...Through hole (cutout), 13...Heat block, 13', 13'...Adjacent heat block, 13a...Electric heater, 13b, 13c
...Through hole (notch). Patent Applicant Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Representative Patent Attorney Tadashi Akimoto Figure 1
Claims (1)
IC搬送レーンを備えたICシュートレールを設置する
とともに、上記ICシュートレール上を搬送されるIC
の頂面に対向せしめてヒートブロックを設置したプリヒ
ータを通過するICを検出する装置において、互いに交
差する2本の光軸を設定し、上記2本の光軸の内の一方
は前記ICシュートレールの中形IC搬送レーンを避け
小形IC搬送レーンに交差させてほぼ上下方向とし、前
記2本の光軸の内の他方は前記ICシュートレールの小
型IC搬送レーンを避け中形IC搬送レーンに交差させ
てほぼ上下方向とし、かつ、上記2本の光軸はそれぞれ
ヒートブロック内に設けられているヒータと交差しない
ように設定し、かつ、シュートレール及びヒートブロッ
クが上記2本の光軸と交わる部分をそれぞれ切り欠いた
形状にすると共に、該2本の光軸のそれぞれに沿って2
組のビームセンサ受、発光器を対向設置したことを特徴
とするICハンドラのプリヒータ用のIC検出装置。IC chute rails equipped with small IC transport lanes, medium IC transport lanes, and large IC transport lanes are installed, and ICs transported on the IC chute rails are installed.
In a device for detecting an IC passing through a preheater in which a heat block is installed facing the top surface of the IC, two optical axes are set to intersect with each other, and one of the two optical axes is connected to the IC chute rail. Avoiding the medium-sized IC transport lane, cross the small-sized IC transport lane and make it almost vertically, and the other of the two optical axes avoid the small-sized IC transport lane of the IC chute rail and intersect with the medium-sized IC transport lane. The two optical axes are set so that they do not intersect with the heaters provided in the heat block, and the chute rail and the heat block intersect with the two optical axes. Each part is cut out, and two parts are cut out along each of the two optical axes.
An IC detection device for a preheater of an IC handler, characterized in that a set of beam sensor receivers and a light emitter are installed facing each other.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60251940A JPS62113090A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Ic tester for preheater |
KR1019860002732A KR940010664B1 (en) | 1985-04-25 | 1986-04-10 | Ic guiding apparatus and ic handler |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60251940A JPS62113090A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Ic tester for preheater |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62113090A true JPS62113090A (en) | 1987-05-23 |
JPH0358675B2 JPH0358675B2 (en) | 1991-09-06 |
Family
ID=17230237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60251940A Granted JPS62113090A (en) | 1985-04-25 | 1985-11-12 | Ic tester for preheater |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62113090A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5741359A (en) * | 1994-09-08 | 1998-04-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for zone-melting recrystallization of semiconductor layer |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP60251940A patent/JPS62113090A/en active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5741359A (en) * | 1994-09-08 | 1998-04-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for zone-melting recrystallization of semiconductor layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0358675B2 (en) | 1991-09-06 |
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