JPS62108378A - 画像補正方式 - Google Patents

画像補正方式

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JPS62108378A
JPS62108378A JP60247943A JP24794385A JPS62108378A JP S62108378 A JPS62108378 A JP S62108378A JP 60247943 A JP60247943 A JP 60247943A JP 24794385 A JP24794385 A JP 24794385A JP S62108378 A JPS62108378 A JP S62108378A
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image
correction
distortion
sensor
kernel
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JP60247943A
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English (en)
Inventor
Nobuo Hamano
浜野 亘男
Fuminobu Furumura
文伸 古村
Yoichi Seto
洋一 瀬戸
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、走査型電子顕m、鏡(以下、SEMと略す)
や衛星等に搭載のセンサによりm像された画像のディジ
タル処理方式に係り、特に撮影対象物の起伏に起因する
観測画像の不等間隔型とセンサ開口特性による観測画像
の劣化等を高精度に同時に補正するのに好適な画像補正
方式に関する。
〔発明の背景〕
まず、従来技術の第1の問題点について述べる。
SEM観測画像には、機器振動、電子ビームの走査乱れ
などに起因する形状歪が存在する。更に電子ビームの有
限スポットサイズに起因する画像のボケ歪がある。これ
らの歪については例えば次の文献の3章及び5章に詳細
が解説されている。
「走査型電子顕微鏡の基礎と応用J日本電子顕微鏡学会
関東支部編、井守出版。
従って、SEMによる観察、検査の精度を亮ぬるには上
記歪を補正する必要がある。
形状歪は歪をモデル化し、そのモデルによって定まる補
正画像の各点に対応する位置の画像強度を観測画像デー
タをリサンプリングして求めることにより補正すること
ができる。リサンプリングを行うには、観測画像データ
を内挿カーネルにより重み付けしてその総和を算出する
のが一般的である。ここで内挿カーネルは、* f1M
画像データからfs/2(fsはサンプリング周波数)
以上の周波数成分を減衰させるのが目的であり、その減
註。
衰特性の良否は内挿結果中の雑芥の量に結び付くもので
ある。
一方、ボケ歪はセンサの開口による積分効果により生じ
るもので、開口特性を補償するフィルタを用いることに
よりボケの量を減少させることができる。
上記の2種類の処理を各々個別に観測画像に施す場合に
は、その都度観測画像全体へのアクセスが必要となり処
理時間の増加が生じる。これに対し、上記処理をまとめ
て1段とする方式が下記論文により提案されている。
「センサ開口特性を考慮したディジタル画像拡大法」林
 隆也他、第5回リモートセンシングシンポジウム、昭
和54年11月27日。
この方式は内挿と開口補正の効果を合せ持つカーネルを
設計する上で、実空間上で無限に続く関数を有限サンプ
ル長で打切る方法として3次スプライン関数による近似
を使っているが、その周波数特性、従って補正画像の画
質に与える影響を定量的に把握することができない。高
画質の補正画像を得るには所望の周波数特性を持つカー
ネルとする必要があるが、上記従来方式ではこの目的を
達成できないという問題があった。
つぎに、従来技術の第2の問題点について述べる。
人工衛星や航空機に搭載されたセンサによる胡i!+1
1画像は形状歪を持っている。形状歪は、飛翔体の軌道
、姿勢のゆらぎや地球の大局的な球形状。
センサの光学系2機械系に、電気系による内部歪などに
起因する画像全体に連続的な低周波歪と、地形の局所的
な起伏形状に起因する高周波パララックス歪とに分けら
れる。観測画像を地球の調査。
vJt視などに利用するためにはこの形状歪を補正する
必要がある。この補正は一般にディジタル処理により行
われる。
観測画像の歪補正処理の第1の従来技術として、土R氏
らによる日立評論62巻3号における「全ディジタル方
式による高精度地球視測aj星画像情報処理技術Jと題
する論文があり、これは形状重味の間の幾何学的関係モ
デルを利用して観測画像の各画素に対応する地表点の座
標を求める。次に二の座標にもとづいて、補正済画僅と
して、所定の地図投影法に従う画像の各画素に対応する
観測画像の強度をリサンプリング処理により求める。
ここでリサンプリング処理は等間隔と見なせる観測画像
データに対し施すので、リサンプリングの補間関数の選
択としてはニアレストネイバ法、キュービックコンポル
ージョン法などが可能である。
この方法により低周波歪が補正できるのでランドサット
衛星のマルチスペクトルスキャナなどのセンサによる観
測画像(地表分解能80m)に有効に適用できる。
しかるにスポット衛星のHRV(ハイレゾル−ションビ
ジブル)センサは地表で10mないし20mという高い
分N能を持ち地表の起伏による高周波パララックス歪が
観測画像に顕著になる。
観測画像の利用目的によってはこの高周波歪を補正する
必要が生ずる場合がある。このための歪補正の第2の従
来技術として本発明者らによる先願(特開昭59−20
0370号)がある。この技術では地球を滑らかな曲面
ではなく、起伏を持つ形状としてモデル化する。通常は
地表の数10mないしLoom程度の間隔の点について
標高を与えたモデルすなわちD T M (Digit
al Terrain Model)を用いる。そして
上述の第1の技術と同様に衛星。
センサ、地球の幾何学的関係から観測画像の各画素に対
応する地表点の座標を求める。ここで第1の従来技術で
は地球を回転楕円体でモデル化しているので11!11
測画像の画素に対応する地表点は局所的に等間隔に分布
する。そのためニアレストネイバ法、キュービックコン
ポルージョン法などのリサンプリング法が適用できた。
しかるに第2の従来技術のごとく厳密なモデルに従えば
、観測画像の各画素に対応する地表点の分布は不等間隔
となる。そこで、この不等間隔に応じたリサンプリング
を行う、これによりバララックス歪も補正できる。
一方、観測画像はセンサの開口特性によるボケの影響を
受は画質が劣化している。これに対し一般にセンサの開
口特性が既知であればそれを利用して観測画像の劣化を
補正することが可能である。
与えられた開口特性から補正用フィルタを設計し得られ
るフィルタのカーネル関数と観測画像とを畳み込み積分
すればよい。そこでamg画像からりモートセンシング
の各利用目的に供する高精度画像を得るために、観測画
像に対しまず開口補正をほどこした後さらに形状歪補正
をほどこすことが考えられる。しかるにこの方法では開
口補正と歪補正のリサンプリングとで2回の畳み込み積
分が必要となり演算処理量が増大するという問題がある
。これに対し2つの畳み込み積分のカーネルを合成した
カーネルを用意し、1回の畳み込み積分で開口補正と歪
補正を同時に行うことが考えられる。しかるに第2の従
来技術では、対象地表の起伏状態と、センサからの視線
の角度を考慮して求めた地表での観測画像の画素対応点
分布にもとづいて補正を行う。このとき地表でのセンサ
開口特性分布は、地表の起伏と視線の角度に依存して画
素ごとに変化する。そのため観測画像全体に共通した開
口補正カーネルを設けることができず、歪補正と開口補
正とを同時に行うことが困難であるという問題があった
〔発明の目的〕
本発明の第1の目的は上記従来技術の間厘点を解決し、
開口補正と内挿を同時に行うためのカーネルとして所望
の周波数特性を持つものを設計する方式を提供すること
にある。
また、本発明の第2の目的は対象地形の起伏により高周
波な形状歪を生じた1112Il!1画像に対し高精度
な形状歪とセンサ開口特性による劣化の補正を同時に実
現する方式を提供することにある。
〔発明の概要〕
上記第1の目的を達成するため1本発明は、センサによ
る観測画像の形状歪を算出する手段と該歪にもとづいて
リサンプリング処理により観測画像の歪を補正する手段
とよりなる画像処理装置において、内挿、リサンプリン
グ処理用内挿カーネルとしてセンサ開口特性を補償する
フィルタと画像のサンプリング周波数の1/2以上の周
波数成分を減衰させるためのフィルタとフィルタを削減
する窓関数とを合成した単一の関数を用いることに特徴
がある。
また、上記第2の目的を達成するため本発明は、歪を持
つ観測画像データを格納するファイルと該データの歪補
正処理を行う処理装置と補正済画像データを格納するフ
ァイルより成る画像処理システムにおいて、観測画像を
得たセンサを搭載した移動体の軌道・姿勢データとセン
サの構造モデルと観測対象の起伏形状モデルから所定の
地図投影法に従う観測画像の各画素点に対応する観81
り画像の画素位置を算出する機能と、センサの開口特性
にもとづいて観測画像データとの畳み込み積分によりセ
ンサ開口特性を補償するためのカーネル関数を算出する
機能と、上記観測画像の画素位置情報とカーネル関数を
用いてX 8111画像のリサンプリング処理を行う機
能とを処理装置に備えた点に特徴がある。
〔発明の実施例〕
以下、第1の目的に関連した本発明の一実施例を図を用
いて説明する。第1図に本発明による画像補正装置の全
体構成図を示す、センサ11により電気信号に変換され
た画像はA/D変換器12によりディジタル化された1
131 HTQ画像バッファ13に格納される。処理装
置14では、E側画像バッファ13より画像データを読
み出し、これに対しセンサ開口特性の補正処理及び画像
幾何学歪補正処理を施し結果を表示袋@15に表示ある
いは補正画像バッファ16に格納する。
第2図は処理装置14の内部構成を示すものである。歪
補正量算出部21においr I 8111画像の幾何歪
量が基準幾何パターン24及び観測画像バッファ13の
内容を用いて算出される。この時の歪補正量の算出手順
を第3図を用いて次に説明する。
(1) m副画像31から補正画像32への幾何学的対
応を表わす写像ψを求める。写像では構造が既知のテス
ト試料たとえば格子をSEMで撮影して得た観測画像と
テスト試料の幾何構造を記録した基準幾何パターン24
との間の対応点を用い、次の1,2式の高次多項式で定
まる写像の係数alJ、b□を最小二乗法によれ決定す
ることにより求めることができる。
x=”、:、 ’、4.c++au’−” v’−” 
   (1)y=:’X、、  XTo+Ju’−’ 
 V’−”         (2)(u、v):観測
画像座標系 (x、y):補正画像座標系 (2)補正画像上の任意の画素位置(x、y)に対応す
る観測画像上の点(u、v)を写像ψの逆写像y−1に
より求める。逆写像y−1は写像ψの繰返し収束計算に
より求める。
このようにして求まった観測画像上の点(u+V)は、
リサンプラー22へ供給され、観測画像の内挿位置を定
める。リサンプラー22は内挿位置(u、v)における
観測画像の強度を、カーネル23を用いた内挿演算によ
り求める。この結果を補正画像上の位@(x、y)に格
納することにより補正画像を得ることができる。
次にカーネル23の求め方を第4図を用いて説明する。
まず、センサのP S F (Point 5prea
d Function)データ45を用い、開口補正フ
ィルタ係数算出処理41を行う。このためには例えばチ
ュー・マクギレン(Chu−阿cGillem)による
PSF幅最小化方式などを用いることができる。本方式
について。
r点像波がり関数の白領域における1−0重みづけにも
とづく画像修復フィルタJ、音響音声信号処理に関する
IEEE論文集、27巻、第5号(”ImageRCs
toration Filters Ba5ecl o
n a 1−OWeightingover the 
Do+nain of 5upport、 of th
e PSF”IEEETransaction on 
ASSP vol 27.Nn5)に詳述されている。
このフィルタ係数をh^(nAu、mΔV)とする。こ
こでΔU、ΔVは#2′arfj像のu、v方向のそれ
ぞれサンプリング間隔を示す。
次に内挿用低域通過フィルタ係数算出処理42を実行す
る。このフィルタの役割りは、ディジタルデータが本来
的に持っている周期isの周期的周波数スペクトルのう
ち、fs/2.以内の周波数成分を抽出することである
。さて、従来の画像幾何歪補正では、このためにsin
 C関数を3次スプライン関数で近似したキュービック
コンボリューション関数(以下CC関数と略記)が最も
一般的に使われている。このCC関数の)f6波数特性
は、fsの整数倍周波数を中心として極めて狭い減衰極
を持っているが、それ以外のJ、1波数での減衰特性は
良くない。従って内挿の対象となる画像のエネルギーが
通常の場合のように0周波数を中心として低周波域に集
中しているものに対しては、このCC関数は有効である
が1本発明のように、観測画像に開口補正を施して、画
像のボケを減少させた画像ではそのエネルギーが高域周
波数にまで拡がるため、従来のCC関数による内挿では
、高周波雑音によるl#質の劣化をきたす。以上の考察
にもとづき、本発明では、内挿用低域通過フィルタとし
て、fs/2以上の広範囲の周波数帯域にわたり良好な
硯1.衰特性を持っF I R(FiniteIi+p
ulse Re5ponse) フィルタを用いる。こ
のフィルタ係数の算出には例えば[I&適有限インパル
ス応答線形位相ディジタルフィルタを設計するためのコ
ンピュータプログラムコマクレラン他t、 IEEE。
AU−21号(“A Camputcr Progra
m for DesigningOptimal FI
RLinear Phase Digital Fil
ter”McClellan et al、IEU!、
E AU−21)に説明されている汎用のFIRフィル
タ設第1プログラムを用いることができ、設計パラメー
タの設定により所望の周波数特性を得ろことができる。
但し、最小の内挿間隔をΔu / Lとした場合、fS
 −Lを内挿フィルタのサンプリング周波数と考え、こ
の中で1s72以上を減衰させるような周波数特性とな
るように設計パラメータを設定することが必要である。
求めた低域通過フィルタ係数をhr (n’ ΔU/L
 、 m’  Δv/L)とする。
次に、フィルタ係数コンボリューション演算処理43を
実施する。ここでは、h^(nΔU。
mΔV)とhr (n’Δu/L、m’Δv / L 
)とのコンボリューションを求めることにより、2組の
フィルタ係数を1組の内挿カーネルに合成する。
この時雨フィルタのサンプリング間隔が異なるため、h
r (nΔu、mΔV)のサンプ点間にL−を個の0″
を挿入したと見なしてコンボリューション計算を行う。
最後に窓関数乗算処理44を行い、合成された内挿カー
ネルの長さを必要に応じて削減をする。
窓関数としては通常のハニング窓などを使うことができ
る。
以上の処理により生成された単一の内挿カーネルはカー
ネル23の記憶媒体に格納される。
以上の実施例によれば所望の周波数特性を持つカーネル
を設計できる効果がある。
つぎに、第2の目的に関連した本発明の一実施例を図を
用いて詳細に説明する。
第5図は本発明による画像歪の補正方式の全体構成を示
す図である。写像算出処理装!i¥51は衛星からのテ
レメトリデータあるいは地上における衛星の追跡観測に
より得られる軌道・姿勢データ52とDTM53を入力
として、所望の地図投影法に従う補正法画像の各画素点
についてそれに対応する観測画像の画素座標を算出する
。カーネル関数算出処理袋fi54はセンサの開口特性
55にもとづいて観81哩画像の形状歪補正のための補
間と開口補正とを同時に行うために用いる畳み込み積分
用カーネル関数を算出する。リサンプリング処理装置5
6は写像算出処理装置51の出力として与えられた画素
座標についてカーネル関数算出処理袋[54の出力とし
て与えられたカーネル関数を用いて、IjHlllJ画
像データ57に対してリサンプリング処理を施し、補正
法画像の着目した画素の強度を求めこれを補正法画像デ
ータ58として出力する。以上の処理のうちカーネル関
数算出処理装置54の処理は与えら九たセンサについて
あらかじめ一度行えばよい、写像算出処理装[51とリ
サンプリング処理袋[56の処理は、補正法画像の各画
素について繰り返す。以下、各処理装置の処理内容を詳
述する。
写像算出処理装置51の処理内容を第6図にもとづき説
明する。第6図はvft測の幾何学的モデルを説明する
ための図である。センサの構造モデルを用いて観測画像
の着目した画素に対応する観測時刻と、センサから見た
該画素に対応する視線ベクトルが得られる。一方、衛星
の軌道データから地球固定座標系60における当該時刻
の衛星61の位置が得られる。さらに衛星の姿勢データ
から求まる当該時刻の衛星の姿勢角と上記視線ベクトル
と衛星位置情報とから、着目画素に対応する視線62の
座標系60における位置が得られる。一方、DTMから
地表の起伏形状63が与えられるので、これと視線62
との交点として画素に対応する地表点64の位置が求ま
る。それから所定の地図投影法に従い対応する補正法画
像の画素座標を算出する。
第7図は上述の幾何学的モデルを用いた演算により求ま
る、観測画像と補正法画像の対応関係を示す図である。
HfIlll WI像の画素の配列の成す格子730を
考える。格子の間隔はセンサ面上の相対的な画素間隔を
示すものとする。CCDのリニアアレイセンサでは走査
方向に検出器が等間隔に並んでいるとみなせるので格子
730の横方向は等間隔になる。また、ランドサット衛
星搭載のマルチスペクトルスキャナに代表される鏡を用
いた走査型センサでも検出器の出力信号を一定の時間間
隔でサンプリングして画素値を得るのでこれも横方向に
等間隔に並ぶ。一方、格子730の縦方向の間隔はマル
チスペクトルスキャナのごとく複数検出器による同時並
行走査を行う場合には等間隔とみなせる。1列のCCD
リニアアレイセンサの場合や上記の並列走査の連続する
2回の走査の間隔は衛星の飛行速度に依存するが、通常
衛星の速度変動は小さいのでこれも等間隔とみなすこと
ができる。さて観測画像の格子730の各点の画素につ
いて第6図に示す幾何学的モデルに従い補正法画像空間
に写像して得られる格子731は地表の起伏の影響を受
けて図のごとく局所的に不等間隔となる。一方補正済画
像としては等間隔の格子732の各点の画素値を必要と
する。そこで、上記処理装置51ではこの格子732の
各点に対応するlet 8111画像上の位置を算出す
る。補正法画像の代表格子点733(P)を例に対応点
734(Q)を求める方法を第8図を参照して以下に述
べる。
補正法画像空間で着目した点Pを囲む格子731の4角
形735の頂点である4点CI、Cz。
C8,C4を抽出する。このとき求める観測画像空間の
点Qは、C1,Cz+ Ca+ C4に対応する格子7
30の4点R1,R1Ran Raが作る4角形736
の中にある。いま補正法画像の座標系737を(x、y
) 、観測画像の座標系738を(u、v)とし1局所
的に(x、y)から(unV)への写像を7フイン変換 で近似する。ここに係数Gは2×2行列、また−S−は
2×1ベクトルである。このとき第9図に示すアルゴリ
ズムにより点Pに対応する点Qの座標が求められる。
以下、第9図の処理手順を説明する。
ステップ90:iを1とする。
ステップ91:Pの近傍で観測画像上の位置が既知の3
点を選ぶ。i=1のときはCt ” C4のうち上へ近
い3点を選ぶ。i≧2のときは後述のステップ94で求
まったP+−tに対し、Pi−zを求めるのに使った3
点のうち最もPに遠いものを捨て代りにPl−1を加え
た3点を選ぶ。
ステップ92:上記3点の座標値から(3)式のアフィ
ン変換の係数G、旦を求める。
ステラフ93:上記係数を用いてPt1l−観測画像空
間に写像して点Q1 を求める。
ステップ94:Q、 を第6図の幾何学モデルに従い補
正法画像空間に写像して点P1を求める。
ステップ95:P+ とPの距離を求め、これが十分小
さい閾値より小さいか判定する。もし小さくなればQ、
を所望のQとする。もし小さくなければステップ96で
iに1を加算し、ステップ91から上記手順を繰返す。
以上のアルゴリズムにより処理装置51は補正法画像の
各画素に対応する点を求めることができる。
次に、処理装置54の処理内容を説明する。開側対象で
ある地表の放射強度分布をF (x)とし、センサの開
口特性P S F (Point 5pread Fu
nction)をH(x)とする。ここにXは距離座標
とする。
このとき1131測データの強度分布G (x)はG 
 (x)  =H(x)  申 F  (X)    
    (4)と表わせる。但し傘は畳み込み積分を表
わす。そこでG (x)からF (x)を推定するには
F (x) =K (X)  傘G (X)     
(5)なる処理を施こせばよい。ここにカーネルK (
x)は、H−’(x)を近似するもので例えばウイーナ
フィルタの方法により求めることができる。このカーネ
ルを用いることにより開口特性の補正と歪補正のための
補間を同時に行うことができる6与えられたセンサの横
方向、縦方向の開口特性に応じて上記方法によりカーネ
ルを別に用意する。またXの連続関数ではなく微小間隔
、例えば1/16画素でサンプリングした値を補間用重
み係数として蓄えておけばよい。
最後に処理装置56の処理内容を説明する。第10図の
ごとく着目したn1測画他の点734(Q)の周囲の所
定数の格子点730の画素強度から点Qの強度を補間す
る。この補間は通常縦・横に分けて2段階の処理として
行われる。(3)式を間数的に表わすと、 z という積和の形に表わせる。まず横方向に格子730の
強度G (i)から各走査線についてQの座標(ut 
υ)のうちUに対応する点160の強度を6式により求
めろ。ここにカーネルには処理装置54で作られた横方
向のカーネルを用いる。
次に各走査線上の点160の強度から6式によりVに対
応する点の強度を求める。ここにカーネルには処理袋[
54で作られた縦方向のカーネルを用いる。こうして得
られた強度が所望の点Qの強度である。これを補正法画
像の点Pの強度とすればよい。なおこのとき、センサの
感度特性に従って濃淡歪の補正を同時に行ってもよい。
例えば強度Fを F’ =aF+b          (7)という式
で補正する。ここにa、bは感度特性からあらかじめ求
めた補正係数である。
以上により画像の歪補正が達成できる。
〔発明の効果〕
本発明によればセンサ開口特性によるボケと形状歪を持
つtiR測画像画像正できるので画像解析利用に有用な
高精度画像を生成でき効果がある。
なお、本方式はSEMに限らず一般のセンサによるlB
!測画像画像適用可能なことはもちろんである。
さらに、本発明によれば対象物の起伏形状のために高周
波不等間隔歪を生じた観測画像に対し、センサ開口特性
による画像の劣化の補正と歪補正を同時に行うことがで
きるので、衛星、航空機等に搭載された高分解能センサ
による観測画像から画像解析利用のための高精度画像を
生成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による画像補正装置の第1の実施例の全
体構成図、第2図は処理装置の内部の構成図、第3図は
幾何歪補正の手順を示す模式図、第4図は内挿カーネル
算出の処理手順を示すフローチャート、第5図は本発明
による画像補正装置の第2の実施例の全体図構成図、第
6図は83!測の幾何学的モデルを示す図、第7図はt
pA測画像画補正法画像の対応関係を示す図、第8図は
上記両画像の対応点検探索の原理を説明する図、第9図
は対応点検探索の処理手順を示すフローチャート、第1
0図はリサンプリング処理を説明する図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、センサによる観測画像の形状歪を算出する手段と該
    歪にもとづいてリサンプリング処理により観測画像の歪
    を補正する手段とよりなる画像処理装置において、リサ
    ンプリング処理用内挿カーネルとしてセンサ開口特性を
    補償するフィルタと画像のサンプリング周波数の1/2
    以上の周波数成分を減衰させるためのフィルタとフィル
    タ長を削減する窓関数とを合成した単一の関数を用いる
    ことを特徴とする画像補正方式。 2、歪を持つ観測画像データを格納するファイルと該デ
    ータの歪補正処理を行う処理装置と補正済画像データを
    格納するファイルより成る画像処理装置において、観測
    画像を得たセンサを搭載した移動体の軌道・姿勢データ
    とセンサの構造モデルと観測対象の起伏形状モデルから
    所定の地図投影法に従う観測画像の各画素点に対応する
    観測画像の画素位置を算出する処理と、センサの開口特
    性にもとづいて観測画像データとの畳み込み積分により
    センサ開口特性を補償するためのカーネル関数を算出す
    る処理と、上記観測画像の画素位置情報とカーネル関数
    を用いて観測画像のリサンプリング処理とにより歪補正
    をおこなうことを特徴とする画像補正方式。
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