JPS62104443U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62104443U JPS62104443U JP19785585U JP19785585U JPS62104443U JP S62104443 U JPS62104443 U JP S62104443U JP 19785585 U JP19785585 U JP 19785585U JP 19785585 U JP19785585 U JP 19785585U JP S62104443 U JPS62104443 U JP S62104443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- attached
- come
- operating rod
- alignment device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案の装置の作用を
示す説明図、第３図はこの考案実施例の正面図、
第４図は第３図のＡ―Ａ断面図、第５図は同じく
左側面図である。 １……ウエハー、２，２ａ……ローラー、９…
…シリンダー、１０……ロツド、１１……支持板
、１２……上板、１３，１３ａ……アーム、１４
……シリンダー、１５……ロツド、１８，１８ａ
……作動杆、２１……モーター。
示す説明図、第３図はこの考案実施例の正面図、
第４図は第３図のＡ―Ａ断面図、第５図は同じく
左側面図である。 １……ウエハー、２，２ａ……ローラー、９…
…シリンダー、１０……ロツド、１１……支持板
、１２……上板、１３，１３ａ……アーム、１４
……シリンダー、１５……ロツド、１８，１８ａ
……作動杆、２１……モーター。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 縦に保持されたウエハーの下縁に当接すべく
一対の駆動ローラーが離接自在に対向設置された
ウエハーの整列装置。 ２ 両ローラーは夫々水平軸に取付けられた各別
のアームの先端に取付けられた実用新案登録請求
の範囲第１項記載のウエハーの整列装置。 ３ 両アームには各別の作動杆の一端が夫々回転
自在に取付けられ、両作動杆の他端は縦に設置さ
れたシリンダーのロツド端に回転自在に取付けら
れた実用新案登録請求の範囲第２項記載のウエハ
ーの整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19785585U JPS62104443U (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19785585U JPS62104443U (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104443U true JPS62104443U (ja) | 1987-07-03 |
Family
ID=31158003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19785585U Pending JPS62104443U (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62104443U (ja) |
-
1985
- 1985-12-23 JP JP19785585U patent/JPS62104443U/ja active Pending