JPS62104286U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62104286U JPS62104286U JP19623985U JP19623985U JPS62104286U JP S62104286 U JPS62104286 U JP S62104286U JP 19623985 U JP19623985 U JP 19623985U JP 19623985 U JP19623985 U JP 19623985U JP S62104286 U JPS62104286 U JP S62104286U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- substrates
- electro
- anodic oxidation
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
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- Liquid Crystal (AREA)
Description
第１図・第２図は、本考案のシヨートパターン
形成の実施例を示す図。 １……基板、２……タンタルパターン、３，３
′……導電性金属薄膜。 第３図は、本考案において陽極酸化の実施例を
示す図。 ４……シヨートパターンを形成した基板、５…
…マイナス電極板、６……電解液。 第４図は、本考案において酸化絶縁膜が形成さ
れた断面図。 ７……基板、８……タンタル、９……五酸化タ
ンタル。 第５図は、本考案における端子上断面図。 １０……基板、１１……端子、１２……導電性
金属薄膜、１３……レジスト。 第６図は、従来のシヨートパターンを示す図。
形成の実施例を示す図。 １……基板、２……タンタルパターン、３，３
′……導電性金属薄膜。 第３図は、本考案において陽極酸化の実施例を
示す図。 ４……シヨートパターンを形成した基板、５…
…マイナス電極板、６……電解液。 第４図は、本考案において酸化絶縁膜が形成さ
れた断面図。 ７……基板、８……タンタル、９……五酸化タ
ンタル。 第５図は、本考案における端子上断面図。 １０……基板、１１……端子、１２……導電性
金属薄膜、１３……レジスト。 第６図は、従来のシヨートパターンを示す図。
Claims (1)
- 基板の少なくとも一方の基板に、非線型特性を
有する素子を設置し、前記２枚の行と列の電極か
らなる基板により液晶物質を挾持してなる電気光
学装置の製造方法で、前記２枚の基板の少なくと
も一方の基板にタンタル薄膜を形成し、前記タン
タル薄膜を陽極酸化して絶縁物を形成する工程に
おいて、前記タンタル薄膜によつて形成された電
極パターンの全外部端子を導電性金属薄膜でシヨ
ートさせ陽極酸化を行うことを特徴とする電気光
学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19623985U JPS62104286U (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19623985U JPS62104286U (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104286U true JPS62104286U (ja) | 1987-07-03 |
Family
ID=31154877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19623985U Pending JPS62104286U (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62104286U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09230368A (ja) * | 1997-03-24 | 1997-09-05 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP19623985U patent/JPS62104286U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09230368A (ja) * | 1997-03-24 | 1997-09-05 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
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