JPS6198864U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6198864U JPS6198864U JP18360584U JP18360584U JPS6198864U JP S6198864 U JPS6198864 U JP S6198864U JP 18360584 U JP18360584 U JP 18360584U JP 18360584 U JP18360584 U JP 18360584U JP S6198864 U JPS6198864 U JP S6198864U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering
- electromagnet
- embedded
- utility
- registration request
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案のスパツタ装置を示す断面図で
ある。 １……磁界発生用ヨーク、２……内側電磁石コ
イル、３……外側電磁石コイル、４……パツキン
グプレート、５……ヨーク、６……ターゲツト。
ある。 １……磁界発生用ヨーク、２……内側電磁石コ
イル、３……外側電磁石コイル、４……パツキン
グプレート、５……ヨーク、６……ターゲツト。
Claims (1)
- 環状磁極電極を用いてプラズマをコントロール
しながらスパツタリングする装置において、電磁
石と対向するパツキングプレートに磁性材を埋め
込んだことを特徴とするスパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18360584U JPS6198864U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18360584U JPS6198864U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6198864U true JPS6198864U (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=30741103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18360584U Pending JPS6198864U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6198864U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5347384A (en) * | 1976-10-13 | 1978-04-27 | Nec Corp | Sputtering apparatus |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP18360584U patent/JPS6198864U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5347384A (en) * | 1976-10-13 | 1978-04-27 | Nec Corp | Sputtering apparatus |