JPS6197501A - 精密測定ヘツドの駆動方式 - Google Patents
精密測定ヘツドの駆動方式Info
- Publication number
- JPS6197501A JPS6197501A JP21837484A JP21837484A JPS6197501A JP S6197501 A JPS6197501 A JP S6197501A JP 21837484 A JP21837484 A JP 21837484A JP 21837484 A JP21837484 A JP 21837484A JP S6197501 A JPS6197501 A JP S6197501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- axis
- guide bar
- move
- measuring head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、精密測定機の測定ヘッドの移動に係り、特に
半導体露光装置や検査装置に用いられる高精度クエハス
テージに好適な精密測定ヘッドの駆動方式に関するもの
である。
半導体露光装置や検査装置に用いられる高精度クエハス
テージに好適な精密測定ヘッドの駆動方式に関するもの
である。
従来の方式は、実開昭５２−１０３８６８号公報に示す
如く、測定ヘッドの移動はラックとビニオンを用い、る
方式が多い。
如く、測定ヘッドの移動はラックとビニオンを用い、る
方式が多い。
この方式は、構成が簡単であるが、バックラッシュおよ
び振動等が大きいという問題があり、超精密の測定機や
加工機の駆動方式としては問題がある。
び振動等が大きいという問題があり、超精密の測定機や
加工機の駆動方式としては問題がある。
本発明の目的は、測定ヘッドの移動を高精度に行うため
、軸の駆動系にバックラック、や振動等が発生する歯車
を用いることなく、ローラを用いた精密測定ヘッドの駆
動方式を提供するものである。
、軸の駆動系にバックラック、や振動等が発生する歯車
を用いることなく、ローラを用いた精密測定ヘッドの駆
動方式を提供するものである。
上記の目的を達成するため１本発明は測定ヘッドの軸に
案内バーを取りつけ、案内バーとローラの摩擦で測定ヘ
ッドの移動を行う方式であり、その方法としては軸に直
接ローラを押しつけて移動させる方式もあるが１本発明
は軸の案内にエアベアリングを用いているため、ローラ
な軸に押しつけて駆動させると、軸に傷がついたり、微
細なゴミが発生して軸と軸受のすき間に入り、走行精度
を悪化させる要因となるため。
案内バーを取りつけ、案内バーとローラの摩擦で測定ヘ
ッドの移動を行う方式であり、その方法としては軸に直
接ローラを押しつけて移動させる方式もあるが１本発明
は軸の案内にエアベアリングを用いているため、ローラ
な軸に押しつけて駆動させると、軸に傷がついたり、微
細なゴミが発生して軸と軸受のすき間に入り、走行精度
を悪化させる要因となるため。
案内バーを取りつけて、駆動させる方式としたものであ
る。
る。
以下に不発明の一実施例を第１図〜第５図を用いて説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例を示す三次元測定機の外観を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
この三次元測定機は、Ｘスライダ１およびＹスライダ２
．２′とＺ軸３は全てエアベアリングで案内されており
、駆動方法はＸ−Ｙ軸とも非接触駆動ができるリニアモ
ータ４，５を用いているが％Ｚ軸３の駆動はフリクシ冒
ンローラを用いている。（Ｚ軸はＸ−Ｙ軸に比べて重量
が軽い等の理由で高価なりニアモータを使用する必要が
ない） Ｚ軸３の下端部に取付けられている測定用グローブ５で
、測定用テーブル７に載置している測定物８をレーザ測
定器（図示せず）およびリニアスケール（図示せず）を
用いて高精度に測定する三次元測定機である。
．２′とＺ軸３は全てエアベアリングで案内されており
、駆動方法はＸ−Ｙ軸とも非接触駆動ができるリニアモ
ータ４，５を用いているが％Ｚ軸３の駆動はフリクシ冒
ンローラを用いている。（Ｚ軸はＸ−Ｙ軸に比べて重量
が軽い等の理由で高価なりニアモータを使用する必要が
ない） Ｚ軸３の下端部に取付けられている測定用グローブ５で
、測定用テーブル７に載置している測定物８をレーザ測
定器（図示せず）およびリニアスケール（図示せず）を
用いて高精度に測定する三次元測定機である。
次に本発明の要点であるＺＭ３の駆動方法を第２図〜第
５図を用いて説明する。
５図を用いて説明する。
第２図は本発明の一実施例の駆動系を示す平面図、第６
図はｚＩｄ１５を上下方向に移動させる機構を示す正面
図、第４図は第２図の右側面図。
図はｚＩｄ１５を上下方向に移動させる機構を示す正面
図、第４図は第２図の右側面図。
第５図は案内バー１１に付加されている魔擦力を軽減す
る機構を示す第３図のＡ−Ａから見た断面図である。
る機構を示す第３図のＡ−Ａから見た断面図である。
まず、第３図において、２軸３の駆動はＺ軸３の上端部
に案内バー取付板２６を介して取付けられている案内バ
ー１１を駆動ローラ１２とビン１５で回動自由の押付は
ローラ１４を引張りばね１５で挟み、さらに案内バー１
１と案内バー１１を挟んでいる２つのローラ１２，１４
間の摩擦力を増大させるためにビン１６で回動自由のバ
ックアップローラ１７を押付け、ローラ１４に固定され
ている当て板１８に引張りばね１９で引張り、案内バー
１１と２ ″つのローラ１２ 、１４間の摩擦力
を増大させている。
に案内バー取付板２６を介して取付けられている案内バ
ー１１を駆動ローラ１２とビン１５で回動自由の押付は
ローラ１４を引張りばね１５で挟み、さらに案内バー１
１と案内バー１１を挟んでいる２つのローラ１２，１４
間の摩擦力を増大させるためにビン１６で回動自由のバ
ックアップローラ１７を押付け、ローラ１４に固定され
ている当て板１８に引張りばね１９で引張り、案内バー
１１と２ ″つのローラ１２ 、１４間の摩擦力
を増大させている。
したがって、案内バー１１と２つのローラの摩擦力で２
軸３を上下方向に移動させるため引張りばね１９は２軸
３の重量より大きい力が出せるものでなければ２軸６は
自重で落下する。そこで、引張りはね１９の負担を軽く
するためＺ軸３の上端部に固定されている案内バー取付
板２６に２軸３０重量よりわずかに小さい荷重の出せる
コンストンばね２５を取付けて、２軸３の重量をキャン
セルするようにしている。
軸３を上下方向に移動させるため引張りばね１９は２軸
３の重量より大きい力が出せるものでなければ２軸６は
自重で落下する。そこで、引張りはね１９の負担を軽く
するためＺ軸３の上端部に固定されている案内バー取付
板２６に２軸３０重量よりわずかに小さい荷重の出せる
コンストンばね２５を取付けて、２軸３の重量をキャン
セルするようにしている。
駆動ローラ１２には、第２図、第４図に示す如くカップ
リング２０を介して減速機２１と、さらに別のカップリ
ング２２を介してローラ駆動用モータ２５が連結されて
おり、ローラ駆動用モータ２３の回転を減速機２１で減
速して駆動ローラ１２を回転させ、案内バー１１を上下
方向に移動させる。
リング２０を介して減速機２１と、さらに別のカップリ
ング２２を介してローラ駆動用モータ２５が連結されて
おり、ローラ駆動用モータ２３の回転を減速機２１で減
速して駆動ローラ１２を回転させ、案内バー１１を上下
方向に移動させる。
したがって、ｚ＠５の上下方向の移動は直接２軸３に駆
動ローラ１２や押付はローラ１４を押しつけて行うので
はなく、案内バー１１を介してＺ軸３の移動を行うため
に高精度加工されている２軸３に傷をつけたり、数μｍ
のギャップで構成されている２軸３のエアベアリングに
ローラの転がりによって発生するゴミが侵入することが
ない。
動ローラ１２や押付はローラ１４を押しつけて行うので
はなく、案内バー１１を介してＺ軸３の移動を行うため
に高精度加工されている２軸３に傷をつけたり、数μｍ
のギャップで構成されている２軸３のエアベアリングに
ローラの転がりによって発生するゴミが侵入することが
ない。
次に、測定器を使う立場から考えてＺ軸５を手で上下さ
せる事もある。
せる事もある。
その場合、案内バー１１と駆動ローラ１２および押付は
ローラ１４との摩擦力を減らさなければＺ軸３を手で操
作することは難しいので摩擦力を発生させているバック
アップローラ１７を当て板１８より離す必要がある。
ローラ１４との摩擦力を減らさなければＺ軸３を手で操
作することは難しいので摩擦力を発生させているバック
アップローラ１７を当て板１８より離す必要がある。
その方法は、ケーシング２０に２本のスライド軸２１で
上下方向にスライドできるカム２２を、カム２２に固定
されているハンドル棒２３で持ち上げると、カム２２０
山にバックアップロール１７の下端部に取付けられてい
る滑車２４が乗り上げてバ、クアップロール１７をビン
１６を中心にして左方向へ逃がすため、バックアップロ
ーｖ １７ ヲ当て板１Ｂより離すことができる。その
ため、案内バー１１と２つのローラ１２，１４間の摩擦
力が減ってＺ軸３を手で上下方向に動かすことができる
。
上下方向にスライドできるカム２２を、カム２２に固定
されているハンドル棒２３で持ち上げると、カム２２０
山にバックアップロール１７の下端部に取付けられてい
る滑車２４が乗り上げてバ、クアップロール１７をビン
１６を中心にして左方向へ逃がすため、バックアップロ
ーｖ １７ ヲ当て板１Ｂより離すことができる。その
ため、案内バー１１と２つのローラ１２，１４間の摩擦
力が減ってＺ軸３を手で上下方向に動かすことができる
。
また、自動で操作する場合は、／・ンドル棒２３を下げ
るとバックアップロール１７が右方向へ回転して、案内
バー１１と２つのローラ１２，１４間に摩擦力が発生し
てローラ駆動用モータ２３による自動操作ができる。
るとバックアップロール１７が右方向へ回転して、案内
バー１１と２つのローラ１２，１４間に摩擦力が発生し
てローラ駆動用モータ２３による自動操作ができる。
以上詳細に説明したように本発明によれば、Ｚ軸に直接
ローラな押しつけること２軸に案内バーにローラな押し
つけて間接的に２軸を上下方向に移動させる構造である
ため ■ 高精度加工されたＺ軸表面に傷をつけることがない
。
ローラな押しつけること２軸に案内バーにローラな押し
つけて間接的に２軸を上下方向に移動させる構造である
ため ■ 高精度加工されたＺ軸表面に傷をつけることがない
。
■ ローラの転がりによって発生するゴミが。
２軸のエアベアリング面に侵入するおそれが°ないので
、Ｚ軸の走行精度が維持できる。
、Ｚ軸の走行精度が維持できる。
第１図は１本発明の対象となる三次元測定機の外観を示
す斜視図、第２図は本発明の一実施例に係るローラの駆
動系を示す平面図、第６図は第２図における正面図、第
４図は第２図の右側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ断面
を示す断面図である。 ３・・・・・・Ｚ軸、 ４・・・・・・Ｘ軸すニアモータ。 ５・・・・・・Ｙ軸すニアモータ。 ６・・・・・・測定用プローグ。 ７・・・・・・測定用テーブル、 １２・・・・・・駆動用ローラ、 １４・・・・・・押付はローラ。 １５・・・・・・引張りばね、 １７１０１１０．バックアップローラ。 １８・・・・・・当て板。 １９・・・・・・引張りばね。 ２３・・・・・・ハンドル棒。 ２４・・・・・・滑車。 ２５・・・・・・コンストンハネ。 ■
す斜視図、第２図は本発明の一実施例に係るローラの駆
動系を示す平面図、第６図は第２図における正面図、第
４図は第２図の右側面図、第５図は第３図のＡ−Ａ断面
を示す断面図である。 ３・・・・・・Ｚ軸、 ４・・・・・・Ｘ軸すニアモータ。 ５・・・・・・Ｙ軸すニアモータ。 ６・・・・・・測定用プローグ。 ７・・・・・・測定用テーブル、 １２・・・・・・駆動用ローラ、 １４・・・・・・押付はローラ。 １５・・・・・・引張りばね、 １７１０１１０．バックアップローラ。 １８・・・・・・当て板。 １９・・・・・・引張りばね。 ２３・・・・・・ハンドル棒。 ２４・・・・・・滑車。 ２５・・・・・・コンストンハネ。 ■
Claims (1)
- １、高精度測定機のＺ軸の駆動をＺ軸の上端部よりＺ軸
に平行な案内バーを出し、その案内バーをモータ駆動に
よるフリクションローラで駆動させることができる機構
と、Ｚ軸を手動操作で駆動させたい場合もフリクション
ローラの摩擦力を減らしてそれを可能とすることを特徴
とする精密測定ヘッドの駆動方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21837484A JPS6197501A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 精密測定ヘツドの駆動方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21837484A JPS6197501A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 精密測定ヘツドの駆動方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197501A true JPS6197501A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16718892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21837484A Pending JPS6197501A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 精密測定ヘツドの駆動方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0845653A2 (de) * | 1996-11-28 | 1998-06-03 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät |
| CN104655066A (zh) * | 2015-02-05 | 2015-05-27 | 柳州如洋精密科技有限公司 | 关节臂测量机 |
| CN114252043A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-03-29 | 姜昇华 | 一种铝合金型材曲率检测装置 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21837484A patent/JPS6197501A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0845653A2 (de) * | 1996-11-28 | 1998-06-03 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät |
| EP0845653A3 (de) * | 1996-11-28 | 2001-04-04 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät |
| CN104655066A (zh) * | 2015-02-05 | 2015-05-27 | 柳州如洋精密科技有限公司 | 关节臂测量机 |
| CN114252043A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-03-29 | 姜昇华 | 一种铝合金型材曲率检测装置 |
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