JPS6195839A - セラミツク焼結体の加工法 - Google Patents
セラミツク焼結体の加工法Info
- Publication number
- JPS6195839A JPS6195839A JP21769884A JP21769884A JPS6195839A JP S6195839 A JPS6195839 A JP S6195839A JP 21769884 A JP21769884 A JP 21769884A JP 21769884 A JP21769884 A JP 21769884A JP S6195839 A JPS6195839 A JP S6195839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- ceramic sintered
- sintered body
- plasma jet
- machining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/53—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone involving the removal of at least part of the materials of the treated article, e.g. etching, drying of hardened concrete
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は緻密質のセラミック焼結体を高能率で成形加工
する方法に関する。
する方法に関する。
電子材料、耐熱材料をはじめとして、セラミックス材料
が広範囲に使用されている。セラミックス材料は機械的
強度及び硬度が大きく、化学安定性等に硬れているので
、成形加工が困難である。
が広範囲に使用されている。セラミックス材料は機械的
強度及び硬度が大きく、化学安定性等に硬れているので
、成形加工が困難である。
従ってセラミック材料の成形加工は、ダイヤモンド砥石
を主とした砥石研削″。よ0て行なわれてし1チるが、
除去速度を大きく取れないため命研削に時す・間が掛り
、研削設備が高価であるため成形費用が非常に高くなる
。更に微細な穴あけ等研削では不可能な形状も多い等セ
ラミック焼結体の成形加工には多くの制約がある。
を主とした砥石研削″。よ0て行なわれてし1チるが、
除去速度を大きく取れないため命研削に時す・間が掛り
、研削設備が高価であるため成形費用が非常に高くなる
。更に微細な穴あけ等研削では不可能な形状も多い等セ
ラミック焼結体の成形加工には多くの制約がある。
特に最近エンジニアリングセラミックスとして脚光を浴
びているSt N % SiO%サイアロン(S1A
jON、Z≦+)、AtN1等は硬度が大きい6−z
Z Z 8−z うえに、機械的強度が大きいために、難削性の材 、料
であるため更に研削加工による成形は困難である。その
上難焼結性であるため、ホットプレスによって焼結され
ることも多く、こうしたことから焼結体の形状に制約が
あり、寸法精度の点から所望の形状精度を得るに必要な
体積除去が極めて大きいという問題がある。このために
製品価格に占める成形加工費用の割合が大きく、実用に
当って大きな障害となっている。
びているSt N % SiO%サイアロン(S1A
jON、Z≦+)、AtN1等は硬度が大きい6−z
Z Z 8−z うえに、機械的強度が大きいために、難削性の材 、料
であるため更に研削加工による成形は困難である。その
上難焼結性であるため、ホットプレスによって焼結され
ることも多く、こうしたことから焼結体の形状に制約が
あり、寸法精度の点から所望の形状精度を得るに必要な
体積除去が極めて大きいという問題がある。このために
製品価格に占める成形加工費用の割合が大きく、実用に
当って大きな障害となっている。
本発明は、このようなセラミック焼結体の有する成形加
工上の問題点を解決し、従来より短時間で安価に成形加
工する方法を提供することを目的とするものである。
工上の問題点を解決し、従来より短時間で安価に成形加
工する方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、セラミック焼結体、特にSi 3N 4、S
iO。
iO。
サイアロン、ktNといった非酸化物系エンジニアリン
グセラミックスの一部分をプラズマジェットにより局部
的に加熱蒸発除去して粗加工した後、該部分を砥石研削
することにより、極めて高能率で成形加工ができるよう
にしたものである。
グセラミックスの一部分をプラズマジェットにより局部
的に加熱蒸発除去して粗加工した後、該部分を砥石研削
することにより、極めて高能率で成形加工ができるよう
にしたものである。
特にSi N % 5in1サイアロン、AlNを主成
分とし或は含有するセラミック焼結体は、これらが比較
的低温で急激に分解して気化してしまうため、プラズマ
ジェットによる局部加熱により容易に蒸発除去が可能で
ある。このプラズマジェットによる加工法は、熱的な加
工法であることから、熱応力による亀裂が生じ、表面に
微細亀裂や凹凸が生ずるので、本発明では表面を滑らか
にし、寸法精度を出すために砥石研削を行なうものであ
る。研削加工量は、プラズマジェットの条件によって変
化するが最大でも1000μmも行なえば、最悪の条件
下でも表面を平滑にできる。
分とし或は含有するセラミック焼結体は、これらが比較
的低温で急激に分解して気化してしまうため、プラズマ
ジェットによる局部加熱により容易に蒸発除去が可能で
ある。このプラズマジェットによる加工法は、熱的な加
工法であることから、熱応力による亀裂が生じ、表面に
微細亀裂や凹凸が生ずるので、本発明では表面を滑らか
にし、寸法精度を出すために砥石研削を行なうものであ
る。研削加工量は、プラズマジェットの条件によって変
化するが最大でも1000μmも行なえば、最悪の条件
下でも表面を平滑にできる。
本発明は、S10、SiN、サイアロン、AIN等の非
酸化物系セラミック焼結体に限らず、At0゜ZrO、
MgO等の酸化物焼結体にも適用でき、高温で溶融する
ため穴あけ加工、切断加工に有効である。
酸化物系セラミック焼結体に限らず、At0゜ZrO、
MgO等の酸化物焼結体にも適用でき、高温で溶融する
ため穴あけ加工、切断加工に有効である。
実施例1
ノズル径0.1酩、流量帆21/IoLn、 )−チ
内圧力151%/(713、のアルゴンガストーチを用
い、電流5Aの条件でプラズマジェットを吹付け、ホッ
トプレス焼結した外径60朋、内径30間、長さ100
間のSi N の円筒を、旋盤の回転軸に取付け、表面
全面を1 m除去し、次いでダイヤモンド砥石で約0.
1ffiJ研削した。加工に要した時間は全部で約22
分であった。
内圧力151%/(713、のアルゴンガストーチを用
い、電流5Aの条件でプラズマジェットを吹付け、ホッ
トプレス焼結した外径60朋、内径30間、長さ100
間のSi N の円筒を、旋盤の回転軸に取付け、表面
全面を1 m除去し、次いでダイヤモンド砥石で約0.
1ffiJ研削した。加工に要した時間は全部で約22
分であった。
これに対しダイヤモンド砥石だけで円筒面全面を1.1
間研削するに要した時間は約132分であつた。
間研削するに要した時間は約132分であつた。
実施例2
実施例1と同一寸法のSiC,AlN、サイアロン、A
I O、ZrO、MgO焼結体を実施例1と同様にして
加工し、円筒面全面を1.1間除去した。加工に要した
時間(分)はそれぞれ次の通りであった。
I O、ZrO、MgO焼結体を実施例1と同様にして
加工し、円筒面全面を1.1間除去した。加工に要した
時間(分)はそれぞれ次の通りであった。
SiOサイアロン AlN A10 ZrOMgO
プラズマ+研削 27 26 13 16 i
10研削のみ110 12] 55 66 5
5 33〔発明の効果〕 本発明加工法によれば、材料の除去加工時間を従来法に
比し極めて短縮しうるだけでなく、研削加工によっては
不可能な微細孔あけ、曲線切断等が可能となる。また旋
削や平面研削の装置にプラズマジェット発生袋装置を研
削工具と切替え使用できるように取付は加工を行なえば
、曲面平面の加工を高能率で行なうことができる。
プラズマ+研削 27 26 13 16 i
10研削のみ110 12] 55 66 5
5 33〔発明の効果〕 本発明加工法によれば、材料の除去加工時間を従来法に
比し極めて短縮しうるだけでなく、研削加工によっては
不可能な微細孔あけ、曲線切断等が可能となる。また旋
削や平面研削の装置にプラズマジェット発生袋装置を研
削工具と切替え使用できるように取付は加工を行なえば
、曲面平面の加工を高能率で行なうことができる。
このように本発明加工法によれば、従来困難であったセ
ラミック焼結体の複雑形状の加工が容易にでき、また加
工費を大幅に低減できる。
ラミック焼結体の複雑形状の加工が容易にでき、また加
工費を大幅に低減できる。
Claims (2)
- (1)セラミック焼結体の一部分をプラズマジェットに
より加熱蒸発除去して粗加工した後、該部分を砥石研削
し所望の形状とすることを特徴とするセラミック焼結体
の加工法。 - (2)セラミック焼結体が、Si_3N_4、SiC、
サイアロン、AlNから選ばれた一種以上を含有するも
のからなることを特徴とする特許請求の範囲(1)項記
載のセラミック焼結体の加工法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21769884A JPS6195839A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21769884A JPS6195839A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6195839A true JPS6195839A (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=16708319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21769884A Pending JPS6195839A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6195839A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104439920A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-03-25 | 四川成发航空科技股份有限公司 | 大尺度单度面楔形工件的加工工艺方法 |
-
1984
- 1984-10-17 JP JP21769884A patent/JPS6195839A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104439920A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-03-25 | 四川成发航空科技股份有限公司 | 大尺度单度面楔形工件的加工工艺方法 |
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