JPS6192646U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6192646U JPS6192646U JP17604084U JP17604084U JPS6192646U JP S6192646 U JPS6192646 U JP S6192646U JP 17604084 U JP17604084 U JP 17604084U JP 17604084 U JP17604084 U JP 17604084U JP S6192646 U JPS6192646 U JP S6192646U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat plate
- suction device
- plate members
- holding
- plate member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図〜第9図は本発明の一実施例を示すもの
で、第1図は平面図、第2図は初期状態を表わす
側面図、第3図は第1吸着装置による基板吸着開
始を表わす側面図、第4図は第1吸着装置により
基板チヤツク位置まで持ち上げた状態を表わす側
面図、第5図は保持移速装置による基板の保持状
態を表わす側面図、第6図は第2吸着装置の回動
アームの回動状態を表わす側面図、第7図は第1
吸着装置を平板部材から離した状態の側面図、第
8図は第2吸着装置による紙葉の移動を表わす側
面図、第9図は保持移送装置による平板部材の移
送状態を表わす側面図である。 2……基板(平板部材)、4……紙葉、5……
第1吸着装置、21……保持移送装置、23……
第2吸着装置。
で、第1図は平面図、第2図は初期状態を表わす
側面図、第3図は第1吸着装置による基板吸着開
始を表わす側面図、第4図は第1吸着装置により
基板チヤツク位置まで持ち上げた状態を表わす側
面図、第5図は保持移速装置による基板の保持状
態を表わす側面図、第6図は第2吸着装置の回動
アームの回動状態を表わす側面図、第7図は第1
吸着装置を平板部材から離した状態の側面図、第
8図は第2吸着装置による紙葉の移動を表わす側
面図、第9図は保持移送装置による平板部材の移
送状態を表わす側面図である。 2……基板(平板部材)、4……紙葉、5……
第1吸着装置、21……保持移送装置、23……
第2吸着装置。
Claims (1)
- 段積みされた複数の平板部材と、該各平板部材
間にそれぞれ設けられた紙葉と、前記平板部材の
うち一つの平板部材を前記紙葉と共に吸着する第
1吸着装置と、該第1吸着装置により吸着された
平板部材を保持し移送する保持移送装置と、該保
持移送装置により保持されている平板部材に関し
て前記第1吸着装置とは反対側から前記紙葉を吸
着する第2吸着装置とを具備したことを特徴とす
る搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17604084U JPS6192646U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17604084U JPS6192646U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6192646U true JPS6192646U (ja) | 1986-06-16 |
Family
ID=30733639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17604084U Pending JPS6192646U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6192646U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52152073A (en) * | 1976-06-12 | 1977-12-17 | Toshiba Corp | Sheet film carrying device |
JPS55111335A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plate body feeding apparatus |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP17604084U patent/JPS6192646U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52152073A (en) * | 1976-06-12 | 1977-12-17 | Toshiba Corp | Sheet film carrying device |
JPS55111335A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plate body feeding apparatus |
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