JPS6191301U - - Google Patents

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JPS6191301U
JPS6191301U JP17544484U JP17544484U JPS6191301U JP S6191301 U JPS6191301 U JP S6191301U JP 17544484 U JP17544484 U JP 17544484U JP 17544484 U JP17544484 U JP 17544484U JP S6191301 U JPS6191301 U JP S6191301U
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JP
Japan
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flow path
meter
flow rate
concentration
carrier gas
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Application number
JP17544484U
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Publication date
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Landscapes

  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示し、第１図は構成図
、第２図は制御回路図である。 １…昇華タンク、２…第一流路、３…第二流路
、４…濃度計、５，８…質量流量計、６，９…流
量調整弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 固体材料を加熱して蒸発させる昇華タンク１と
    、当該昇華タンク１にキヤリヤガスを供給する第
    一流路２と、前記昇華タンク１からキヤリヤガス
    と固体材料の蒸気を含んだ混合ガスを取り出す第
    二流路３とを有し、第二流路３には、混合ガスに
    含まれる固体材料の蒸気の濃度を測定する濃度計
    ４を設け、第一流路２には、昇華タンク１に供給
    されるキヤリヤガスの流量を測定する質量流量計
    ５と、当該質量計５によつて測定された流量と前
    記濃度計４によつて測定された濃度との積が一定
    になるようにキヤリヤガス流量を調整する流量調
    整弁６とを設け、第一流路２の前記質量流量計５
    よりも上流側部分と第二流路３の前記濃度計４よ
    りも下流側部分との間にバイパス流路７を設け、
    バイパス流路７の分岐点よりも上流側の第一流路
    ２にキヤリヤガスの総流量を測定する質量流量計
    ８を設け、前記バイパス流路７には、前記質量流
    量計８によつて測定された総流量が一定になるよ
    うにバイパス流路７を流れるキヤリヤガス流量を
    調整する流量調整弁９を設けてあることを特徴と
    する固体材料の蒸発量制御装置。
JP17544484U 1984-11-17 1984-11-17 Pending JPS6191301U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014108395A (ja) * 2012-12-03 2014-06-12 Air Liquide Japan Ltd 固体材料の気化量モニタリングシステムおよびモニタリング方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59185772A (ja) * 1983-04-05 1984-10-22 Nippon Tairan Kk 高融点金属化合物における蒸発ガスの流量制御装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59185772A (ja) * 1983-04-05 1984-10-22 Nippon Tairan Kk 高融点金属化合物における蒸発ガスの流量制御装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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