JPS6190784U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6190784U JPS6190784U JP17266284U JP17266284U JPS6190784U JP S6190784 U JPS6190784 U JP S6190784U JP 17266284 U JP17266284 U JP 17266284U JP 17266284 U JP17266284 U JP 17266284U JP S6190784 U JPS6190784 U JP S6190784U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding plate
- sample holding
- thin
- grooved
- slidable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第1図は本考案に係る薄層基板保持具の斜視図
、第2図〜第4図はこの保持具を使用して各種の
ウエハを保持して状態を示す正面図、である。 1は試料保持板、2は先端部、3は支持具、4
,5は溝、6は保持具、7は穴、8,9は目盛り
、10,12,13はウエハ、11はネジ、であ
る。
、第2図〜第4図はこの保持具を使用して各種の
ウエハを保持して状態を示す正面図、である。 1は試料保持板、2は先端部、3は支持具、4
,5は溝、6は保持具、7は穴、8,9は目盛り
、10,12,13はウエハ、11はネジ、であ
る。
Claims (1)
- 直径を異にする薄層基板を垂直に保持する治具
が試料保持板の中央に穴開け部をもつと共に該試
料保持板の上部に姿勢の制御が可能な先端部を有
する一対の溝付き支持具が左右へスライド可能に
設けられており、また該試料保持板の下方には溝
付きの保持具が上下にスライド可能に設けられて
いることを特徴とする薄層基板保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17266284U JPS6190784U (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17266284U JPS6190784U (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6190784U true JPS6190784U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30730325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17266284U Pending JPS6190784U (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6190784U (ja) |
-
1984
- 1984-11-14 JP JP17266284U patent/JPS6190784U/ja active Pending
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