JPS6190261U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6190261U JPS6190261U JP17497284U JP17497284U JPS6190261U JP S6190261 U JPS6190261 U JP S6190261U JP 17497284 U JP17497284 U JP 17497284U JP 17497284 U JP17497284 U JP 17497284U JP S6190261 U JPS6190261 U JP S6190261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector according
- photothermal detector
- photothermal
- silicon substrate
- junction part
- Prior art date
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
第1図はこの考案にかかる光熱検出器の一実施
例を示す平面図、第2図は第1図のA―A線断面
図、第3図および第4図はそれぞれ他の実施例の
、A―A線切断相当部位の断面図、第5図はさら
に他の実施例の断面図、第6図はまた他の実施例
を示す平面図、第7図は第6図のB―B線断面図
、第8図はまたさらに他の実施例の平面図、第9
図は第8図のC―C線断面図、第10図はその他
の実施例のC―C線切断相当部位の断面図である
。 1はシリコン基板、2は電極、3は熱電材料、
5は切欠、7はしや熱膜、Aはホツトジヤンクシ
ヨン部、Bはコールドジヤンクシヨン部。
例を示す平面図、第2図は第1図のA―A線断面
図、第3図および第4図はそれぞれ他の実施例の
、A―A線切断相当部位の断面図、第5図はさら
に他の実施例の断面図、第6図はまた他の実施例
を示す平面図、第7図は第6図のB―B線断面図
、第8図はまたさらに他の実施例の平面図、第9
図は第8図のC―C線断面図、第10図はその他
の実施例のC―C線切断相当部位の断面図である
。 1はシリコン基板、2は電極、3は熱電材料、
5は切欠、7はしや熱膜、Aはホツトジヤンクシ
ヨン部、Bはコールドジヤンクシヨン部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) NiOまたはNiOを主成分とする薄膜の
熱電材料をシリコン基板上に設け、この熱電材料
の両端にホツトジヤンクシヨン部およびコールド
ジヤンクシヨン部を形成する電極をそれぞれ接続
したことを特徴とする光熱検出器。 (2) ホツトジヤンクシヨン部付近のシリコン基
板に切欠が設けられたことを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第1項記載の光熱検出器。 (3) コールドジヤンクシヨン部上面にはしや熱
膜が被覆されたことを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載の光熱検出器。 (4) ホツトジヤンクシヨン部が略円形に配列さ
れかつこの円の中心部付近に集中して配置された
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項
記載の光熱検出器。 (5) 導電材料および電極が微小形成され、これ
らの多数が交互に連続的に接続されてなることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の
光熱検出器。 (6) 熱電材料と電極とがシリコン基板に対して
垂直方向に配設されたことを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第1項記載の光熱検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17497284U JPS6190261U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17497284U JPS6190261U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6190261U true JPS6190261U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30732577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17497284U Pending JPS6190261U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6190261U (ja) |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP17497284U patent/JPS6190261U/ja active Pending