JPS6190242U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6190242U JPS6190242U JP17426484U JP17426484U JPS6190242U JP S6190242 U JPS6190242 U JP S6190242U JP 17426484 U JP17426484 U JP 17426484U JP 17426484 U JP17426484 U JP 17426484U JP S6190242 U JPS6190242 U JP S6190242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- sound pressure
- jig
- detection signal
- wafer surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
の構成を示す図、第２図ａないし第２図ｃはそれ
ぞれ従来のリフトオフ法の工程説明図、第３図は
従来のリフトオフ法に適用される超音波発生装置
の構成を示す図、第４図ａは従来の超音波発生装
置を用いてリフトオフ法を説明するための図、第
４図ｂは第４図ａにおける超音波発生装置におけ
る超音波振動子とマイクとの距離の変化に対する
超音波の音圧の関係を示す図である。 ２１…有機溶剤、２２…ビーカ、２３…超音波
槽、２５…超音波振動子、２６…マイク、２８…
ウエハ、２９…治具、３０…超音波発生装置。
の構成を示す図、第２図ａないし第２図ｃはそれ
ぞれ従来のリフトオフ法の工程説明図、第３図は
従来のリフトオフ法に適用される超音波発生装置
の構成を示す図、第４図ａは従来の超音波発生装
置を用いてリフトオフ法を説明するための図、第
４図ｂは第４図ａにおける超音波発生装置におけ
る超音波振動子とマイクとの距離の変化に対する
超音波の音圧の関係を示す図である。 ２１…有機溶剤、２２…ビーカ、２３…超音波
槽、２５…超音波振動子、２６…マイク、２８…
ウエハ、２９…治具、３０…超音波発生装置。
Claims (1)
- 有機溶剤を充填したビーカ内にウエハを装填し
て浸漬する治具と、この治具の上記ウエハの面の
位置するところに取り付けられウエハの面での超
音波の音圧を検出する音圧測定器と、超音波振動
子を有し上記ビーカを収納して超音波を発生する
超音波槽と、上記音圧測定器の検出信号の強弱に
応じて自動的に周波数を変化し音圧検出器の検出
信号が最大となるように上記超音波振動子を駆動
する超音波発振器とよりなる半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17426484U JPS6190242U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17426484U JPS6190242U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190242U true JPS6190242U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30731890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17426484U Pending JPS6190242U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190242U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0947733A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kokusai Denki L Tec:Kk | 超音波洗浄装置 |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP17426484U patent/JPS6190242U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0947733A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kokusai Denki L Tec:Kk | 超音波洗浄装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6190242U (ja) | ||
| JPS5995262U (ja) | 超音波探傷用トランスデユ−サ | |
| JPS646550U (ja) | ||
| JPH02131638U (ja) | ||
| SU151728A1 (ru) | Установка дл испытани прочности сцеплени покрытий электродов электровакуумных приборов | |
| JPS63185584U (ja) | ||
| JPS59158055U (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS5892604U (ja) | 埋設配管測長方法 | |
| JPH02118881U (ja) | ||
| JPS6224356U (ja) | ||
| JPH0187205U (ja) | ||
| JPS6019961U (ja) | 板波探傷用超音波探触子 | |
| JPS6235259U (ja) | ||
| JPS5825344Y2 (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6314158U (ja) | ||
| JPH0327351U (ja) | ||
| JPS6327827U (ja) | ||
| JPS6358736U (ja) | ||
| JPS6080759A (ja) | 接着状態試験方法 | |
| JPS61163978U (ja) | ||
| JPH0267260U (ja) | ||
| JPS6041800U (ja) | 溶鋼レベル測定装置 | |
| JPS5848218U (ja) | 超音波診断装置 | |
| JPS5995263U (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPS6169157U (ja) |