JPS6188229A - バンドパス光フイルタ - Google Patents
バンドパス光フイルタInfo
- Publication number
- JPS6188229A JPS6188229A JP21009784A JP21009784A JPS6188229A JP S6188229 A JPS6188229 A JP S6188229A JP 21009784 A JP21009784 A JP 21009784A JP 21009784 A JP21009784 A JP 21009784A JP S6188229 A JPS6188229 A JP S6188229A
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- Japan
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- optical
- wavelength
- band
- pass
- optical filter
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はバンドパス光フィルタに関し、特に特定波長の
光を選択的に透過させるバンドパス光フィルタに関する
。
光を選択的に透過させるバンドパス光フィルタに関する
。
従来技術
バンドパス光フィルタは、物理的測定及び化学的測定に
おいて簡単に単光色を得ることが可能なフィルタ素子と
して従来から光学機器に使用されている。同時に、光通
信分野においてもバンド・′。
おいて簡単に単光色を得ることが可能なフィルタ素子と
して従来から光学機器に使用されている。同時に、光通
信分野においてもバンド・′。
ス光フィルタは波長多重通信に使用される光合波・分波
器の基本素子として重要な位置を占めているっ第１図に
従来の方法によるバンドパス光フィルタの構成例を示す
。図において、■は光学素子基板、２は共振キャビティ
そして３ａ及び３ｂは蒸着反射膜である。
器の基本素子として重要な位置を占めているっ第１図に
従来の方法によるバンドパス光フィルタの構成例を示す
。図において、■は光学素子基板、２は共振キャビティ
そして３ａ及び３ｂは蒸着反射膜である。
光学素子基板１（！：しては光学ガラス板が使用される
場合が多い。また共振キャビティ２はフッ化マグネ／ウ
ム・二酸化ケイ素・硫化亜鉛および酸化チタン等の蒸着
により作られる。
場合が多い。また共振キャビティ２はフッ化マグネ／ウ
ム・二酸化ケイ素・硫化亜鉛および酸化チタン等の蒸着
により作られる。
蒸着反射膜３としては次の２通りの構成方法がある。第
一の方法は、フッ化マグネンウム又は二酸化ケイ素のよ
うな低屈折率（２料と硫化亜鉛又は酸化チタンのような
高屈折率材料とを交互蒸着した誘電体多層膜による構成
方法である。第二の方法は、銀及びアルミニウム等の金
属材料を蒸着した金属蒸着膜による構成方法である。
一の方法は、フッ化マグネンウム又は二酸化ケイ素のよ
うな低屈折率（２料と硫化亜鉛又は酸化チタンのような
高屈折率材料とを交互蒸着した誘電体多層膜による構成
方法である。第二の方法は、銀及びアルミニウム等の金
属材料を蒸着した金属蒸着膜による構成方法である。
従来の構成によるバンドパス光フィルタは、共振キャビ
ティ２の光学的膜厚により通過中心波長が決定されるた
め、使用角度を機械的に変化させる以外通過波長を変化
させる方法がなかった。しかし、実際の光合波・分波器
において、使用する光フィルタの設定角度は通常±５度
程度の調整・扼このためひとつのノ・ンドパス光フィル
タにより、１３００ｎｍと１２００ ｎｍの２つのｆ成
長のうちイ壬音の１波長を目出に選択通過させることは
不可１１ヒであった。
ティ２の光学的膜厚により通過中心波長が決定されるた
め、使用角度を機械的に変化させる以外通過波長を変化
させる方法がなかった。しかし、実際の光合波・分波器
において、使用する光フィルタの設定角度は通常±５度
程度の調整・扼このためひとつのノ・ンドパス光フィル
タにより、１３００ｎｍと１２００ ｎｍの２つのｆ成
長のうちイ壬音の１波長を目出に選択通過させることは
不可１１ヒであった。
発明の目的
本発明の目的は、前述の従来のバントパス光フィルタの
欠点を除去し、広範な波長領域で任意の１波長を選択通
過させることがでさるバンドパス光フィルタを提供する
ことである。
欠点を除去し、広範な波長領域で任意の１波長を選択通
過させることがでさるバンドパス光フィルタを提供する
ことである。
兄明のｔｊ４戎
不発明によるバンドパス光フィルタは、光学的膜厚が通
過中心波長に対して１／２波長の整数倍となるような共
振キャビティを用い、この共振キャビティとして、印加
電界強度によって光学的膜厚が変化する材料により構成
したものである。
過中心波長に対して１／２波長の整数倍となるような共
振キャビティを用い、この共振キャビティとして、印加
電界強度によって光学的膜厚が変化する材料により構成
したものである。
以下に図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の実施例を示す構成図である。
図において、１は光学素子基板、５はＰｂ、、、 Ｌａ
０．５（Ｚｒｏ、、Ｔｌｏ、）。４７５０ｉ共振キヤビ
テイ、３ａ及び３ｂは蒸着反射膜そして４ａ及び４ｂは
透明導電性電卓膜であろう Ｐｂｏ−ｓ Ｌａｏ−ｓ （Ｚｒｏ、ｓ Ｔｌｏ−ｓ
）０．８７５ Ｑｌ共振キャビティ５は、ＰｂＯ・Ｌａ
２Ｏ３・ＺｒＯ２およびＴｉｅ２焼結材料をスパッタに
より通過中心波長に対して光学的膜厚が１／２波長の整
数倍になるように蒸着して生成する。まだ透明導電性電
極膜３ａ及び３ｂは、二酸化ケイ素を通過中心波長に対
して光学的膜厚減少長になるよう蒸着後、酸化インジウ
ムをその二酸化ケイ素膜中に熱拡散して生成する。
０．５（Ｚｒｏ、、Ｔｌｏ、）。４７５０ｉ共振キヤビ
テイ、３ａ及び３ｂは蒸着反射膜そして４ａ及び４ｂは
透明導電性電卓膜であろう Ｐｂｏ−ｓ Ｌａｏ−ｓ （Ｚｒｏ、ｓ Ｔｌｏ−ｓ
）０．８７５ Ｑｌ共振キャビティ５は、ＰｂＯ・Ｌａ
２Ｏ３・ＺｒＯ２およびＴｉｅ２焼結材料をスパッタに
より通過中心波長に対して光学的膜厚が１／２波長の整
数倍になるように蒸着して生成する。まだ透明導電性電
極膜３ａ及び３ｂは、二酸化ケイ素を通過中心波長に対
して光学的膜厚減少長になるよう蒸着後、酸化インジウ
ムをその二酸化ケイ素膜中に熱拡散して生成する。
ｐｔ４５Ｌａ＋、、５（Ｚｒｏ５）０．８７５０３膜は
、■〔μｍ〕ノ厚みあだり１〔Ｖ〕の直流電圧を印加し
たとき、０．３係の厚み減少が生じる。一方この時、Ｐ
ｂｏ５八５（Ｚｒｏ、ｓ ’ｒｉｏ、５） （、，８，
５０，膜の比屈折率は、０．１係増加する。従ってＰ’
）ｏ−ｓ Ｌ”ｏ、ｓ （Ｚｒｏ、５Ｔｌｏ−ｓ ）ｏ
８７ｓＯ：＋膜の光学的膜厚は、１〔／１ｍＪの厚みあ
たり１〔Ｖ〕の直流電圧を印加したとき、０．２係の減
少が生じここで１（／ｚｍ、）の厚みのＰｂｏ、ｓ Ｌ
ａ００ｓ （Ｚｒｏ、５Ｔｌｏ、ｓ ）０−８７５０＋
膜に５０ （Ｖ ）の直流電圧を印加ｔ ることを考え
ると、１０係の光学的膜厚減少が得られる。第２図にお
いて、バンドパス光フィルタの通過中心波長を１３００
ｎｍに設定すると、１３０ ｎｍの５過中七・波長の
低■を得ることができる。但し１、″：宜２１スにおい
て印加電圧は透明導電性電極膜４ａ。
、■〔μｍ〕ノ厚みあだり１〔Ｖ〕の直流電圧を印加し
たとき、０．３係の厚み減少が生じる。一方この時、Ｐ
ｂｏ５八５（Ｚｒｏ、ｓ ’ｒｉｏ、５） （、，８，
５０，膜の比屈折率は、０．１係増加する。従ってＰ’
）ｏ−ｓ Ｌ”ｏ、ｓ （Ｚｒｏ、５Ｔｌｏ−ｓ ）ｏ
８７ｓＯ：＋膜の光学的膜厚は、１〔／１ｍＪの厚みあ
たり１〔Ｖ〕の直流電圧を印加したとき、０．２係の減
少が生じここで１（／ｚｍ、）の厚みのＰｂｏ、ｓ Ｌ
ａ００ｓ （Ｚｒｏ、５Ｔｌｏ、ｓ ）０−８７５０＋
膜に５０ （Ｖ ）の直流電圧を印加ｔ ることを考え
ると、１０係の光学的膜厚減少が得られる。第２図にお
いて、バンドパス光フィルタの通過中心波長を１３００
ｎｍに設定すると、１３０ ｎｍの５過中七・波長の
低■を得ることができる。但し１、″：宜２１スにおい
て印加電圧は透明導電性電極膜４ａ。
４１〕の間に加えられる。
本発明によるバントパス光フィルタの有効性を確認する
ために試作を以下の如く行なった。
ために試作を以下の如く行なった。
光学素子基板として直径３０馴・厚み１ ｍｍの石英ガ
ラス板を使用し、反射膜は、酸化チタンと二酸化ケイ素
を加熱温度３００℃・真空度Ｉ ＸＩＯ’ ｔｏｒｒの
条理下で９１脅交互蒸着して作製した。通過中心Ｊ夕長
ば１３００ ｎｒｎに設定し、各蒸着膜の光学的膜厚は
その１／４波長である。
ラス板を使用し、反射膜は、酸化チタンと二酸化ケイ素
を加熱温度３００℃・真空度Ｉ ＸＩＯ’ ｔｏｒｒの
条理下で９１脅交互蒸着して作製した。通過中心Ｊ夕長
ば１３００ ｎｒｎに設定し、各蒸着膜の光学的膜厚は
その１／４波長である。
透明導電性電極膜は、二酸化ケイ素をス・々ツタにより
蒸着後、更に酸化インジウムをス・；ツタにより５０′
Ａ蒸着、その後５００℃で熱処理して作製した。スパッ
タは加熱温度３００℃・真空度ｌＸｌ０−３ｔｏｒｒの
アルゴンガス中で実施しだ。二酸化ケイ素膜の光学的膜
厚は通過中心波長１３００ ｎｍに対して１／４波長に
設定した。
蒸着後、更に酸化インジウムをス・；ツタにより５０′
Ａ蒸着、その後５００℃で熱処理して作製した。スパッ
タは加熱温度３００℃・真空度ｌＸｌ０−３ｔｏｒｒの
アルゴンガス中で実施しだ。二酸化ケイ素膜の光学的膜
厚は通過中心波長１３００ ｎｍに対して１／４波長に
設定した。
Ｐｂｏ、Ｌａ。、５（Ｚｒｏ、ＴＩｏ−ｓ ）ｏ８ｉ
０３共振キヤビテイは、ＰｂＯ−Ｌａ２Ｑ、 ・ＺｒＯ
２およびＴｌＯ２ノ混合粉末を７００℃で焼結したター
ゲットを使用し、スノシックにより作製した。光学的膜
厚は中心波長１３００ ｎｍに対して１／２彼長に設定
した。スパッタは加熱ユ度６００℃・真空度１×１Ｏ−
３ｔＯｒｒのアルゴンガス中で実施した。
０３共振キヤビテイは、ＰｂＯ−Ｌａ２Ｑ、 ・ＺｒＯ
２およびＴｌＯ２ノ混合粉末を７００℃で焼結したター
ゲットを使用し、スノシックにより作製した。光学的膜
厚は中心波長１３００ ｎｍに対して１／２彼長に設定
した。スパッタは加熱ユ度６００℃・真空度１×１Ｏ−
３ｔＯｒｒのアルゴンガス中で実施した。
このようにして作製したバンドパス光フィルタの透明導
電性電極膜に針電極を側面より圧着して、直流電圧を印
加し、そして１５．５ＣＶ）の電圧を加えたとき、通過
中心波長が１２００ｎｍまで変化した。計算上の理論電
圧は約１０Ｖである。第３図にこの時の光学特性例を示
す。図において、縦軸は透過率（単位二％）そして横軸
は波長（単位。
電性電極膜に針電極を側面より圧着して、直流電圧を印
加し、そして１５．５ＣＶ）の電圧を加えたとき、通過
中心波長が１２００ｎｍまで変化した。計算上の理論電
圧は約１０Ｖである。第３図にこの時の光学特性例を示
す。図において、縦軸は透過率（単位二％）そして横軸
は波長（単位。
ｎｍ ）である。
発明の効果
本発明によるバンドパス光フィルタを使用した光合波
分波器においては、任意の出入出力Ａ１ルに対し自由に
入出力波長を選択できる。これにより、光スィッチ等を
併用することなく光合波・分７）グ器で直接光信号の尤
路切挨が可能となる。このような光合波・分波器を使用
することにより波長多重データリンクシステムの実現が
容易になる。
分波器においては、任意の出入出力Ａ１ルに対し自由に
入出力波長を選択できる。これにより、光スィッチ等を
併用することなく光合波・分７）グ器で直接光信号の尤
路切挨が可能となる。このような光合波・分波器を使用
することにより波長多重データリンクシステムの実現が
容易になる。
以上に述べたように、本発明によるバンドパス光フィル
タを利用することにより、種々の有用な光デバイスの実
現が可能である。
タを利用することにより、種々の有用な光デバイスの実
現が可能である。
第１図は従来のバンドパス光フィルタの構成例を示す図
、第２図は本発明の実施例の構成例を示す図、第３図は
第２図の装置の枠囲例を示す図である。 主要部分の符号の説明 ３ａ、３ｂ・・・蒸着反射膜 ４ａ、４ｂ・・透明導電性電極膜 ５・・共振キャビティ
、第２図は本発明の実施例の構成例を示す図、第３図は
第２図の装置の枠囲例を示す図である。 主要部分の符号の説明 ３ａ、３ｂ・・・蒸着反射膜 ４ａ、４ｂ・・透明導電性電極膜 ５・・共振キャビティ
Claims (1)
- 光学的膜厚が通過中心波長に対して１／２波長の整数倍
である共振キャビティを反射膜の間に設けることによっ
て構成されたバンドパス光フィルタであって、前記共振
キャビティとして、印加電界強度によって光学的膜厚が
変化する材料により構成したことを特徴とするバンドパ
ス光フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21009784A JPS6188229A (ja) | 1984-10-06 | 1984-10-06 | バンドパス光フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21009784A JPS6188229A (ja) | 1984-10-06 | 1984-10-06 | バンドパス光フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188229A true JPS6188229A (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=16583762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21009784A Pending JPS6188229A (ja) | 1984-10-06 | 1984-10-06 | バンドパス光フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6188229A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004111717A1 (ja) * | 2003-06-13 | 2004-12-23 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 波長可変光フィルタ |
| JP2005284036A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Nec Corp | 光変調器とその製造方法並びに変調光学系とこれを用いた光インターコネクト装置並びに光通信装置 |
| JP2006113475A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Ricoh Co Ltd | 光スイッチ、およびそれを用いたプリンター |
| US7199927B2 (en) | 2003-06-10 | 2007-04-03 | Santec Corporation | Optical element and optical add-drop module |
| US7199928B2 (en) | 2003-07-17 | 2007-04-03 | Santec Corporation | Optical element, optical drop module, optical add-drop module, and tunable light source |
-
1984
- 1984-10-06 JP JP21009784A patent/JPS6188229A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7199927B2 (en) | 2003-06-10 | 2007-04-03 | Santec Corporation | Optical element and optical add-drop module |
| WO2004111717A1 (ja) * | 2003-06-13 | 2004-12-23 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 波長可変光フィルタ |
| US7199928B2 (en) | 2003-07-17 | 2007-04-03 | Santec Corporation | Optical element, optical drop module, optical add-drop module, and tunable light source |
| JP2005284036A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Nec Corp | 光変調器とその製造方法並びに変調光学系とこれを用いた光インターコネクト装置並びに光通信装置 |
| US7162109B2 (en) | 2004-03-30 | 2007-01-09 | Nec Corporation | Optical modulator and method of manufacturing same |
| US7272270B2 (en) | 2004-03-30 | 2007-09-18 | Nec Corporation | Optical modulator and method of manufacturing same |
| JP2006113475A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Ricoh Co Ltd | 光スイッチ、およびそれを用いたプリンター |
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