JPS6187249A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPS6187249A
JPS6187249A JP19121584A JP19121584A JPS6187249A JP S6187249 A JPS6187249 A JP S6187249A JP 19121584 A JP19121584 A JP 19121584A JP 19121584 A JP19121584 A JP 19121584A JP S6187249 A JPS6187249 A JP S6187249A
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recording layer
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Akira Aoyama
明 青山
Mamoru Sugimoto
守 杉本
Satoshi Nehashi
聡 根橋
Tatsuya Shimoda
達也 下田
Satoshi Shimokawato
下川渡 聡
Shin Funada
舩田 伸
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B11/10Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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    • G11B11/10582Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、磁気
カー効果などの磁気光学効果を利用して読み出すことの
できる磁気記録媒体に関するものである。
〔従来技術〕
光磁気メモリの研究は、1957年にM、B 6薄膜上
に熱ペンを用いて記録を行ない、その書き込み磁区を磁
気カー効果綽よって観察したのがその端諸であるといわ
れている。その後のレーザの発展に刺激されて、Mfi
B4  系の材料を中心として精力的な研究が行なわれ
てきたが、レーザ光源ならびにその利用技術が未成熟で
あったために実用化には至らなかった。
しかし、1970年代における光情報処理関連技術の進
展および非晶質希土類遷移金属合金薄膜に代表される新
しい磁性薄膜材料の研究が進み(特開出願公告昭56−
87607 ) 、 GdFe 、 TbFe 、 D
yl’e 、 GdCo  などの合金薄膜が開発され
てきた。これらの材料は、一般に次のような特徴を有し
ている。
GdF’、 、 GdC,などの補償点記録用光磁気記
録媒体は、カー回転角がキューリ一点記録用光磁気記録
媒体に比較して大きく光再生特性は優れているものの保
磁力が小さく(数百エルステッド)1μm径程度の微小
ビットが安定に得られない、また、TbFe 、 D3
/F#などのキューリ一点記録用光磁気記録媒体は、上
述と逆に保磁力が大きく(数キロエルステッド)1趨径
程度の微小ビットを安定に得ることか出来るものの、カ
ー回転角が小さく光再生特性があまり良くないなどの欠
点を有していた。
またTb、 Gd、 Dy 、 Ho、etc、  重
希土類は価格が高く実用に不向きである。
これらの二元合金薄膜の欠点を補うため、従来8つの方
法が試みられてきた。
(1)三元あるいは四元化する。例えば、二元のGdF
、とTbF、の長所を生かし、欠点を補うGdTbF。
三元合金あるいはGdTbFeCo  四元合金のよう
に多元化していく方法、(特開昭56−126907、
特開昭57−94948) (2)二元合金薄膜のtまで、作製法の改善あるいは新
しい作製法で特性を改善する方法、(日本応用磁気学会
827回研究会資料27−5)(8)多N′ot造化す
る方法。記録媒体に誘電体層を重ねて多重反射によるカ
ー効果の増大をはかる。
また記録層と再生層を分離して、それぞれに適した材料
を用いる。あるいは記録媒体の裏側に反射層を設けて、
表面からの反射光だけでなく、媒体を透過した光も反射
させて利用するなどの方法である。
また、光磁気記録に重希土類−遷移金属を用い反射膜の
かわりにパーマロイ、Fe、Co、Ni’に用いたもの
(特開昭58−222455)も見られるが、ビットが
安定に存在する特徴しかなく、パーマロイ、 F’g 
、co、 Ni  が多結晶であるため、ノイズの原因
となり87Mの劣化につながっていた。
しかしながら、これら上記の方法は、カー回転角は大き
くなるものの反射率が低下する、又カー回転角が多少向
上してもキューリ一温度が高くなりレーザー書き込みが
難しくなるなど一長一短があり根本的な改善には至って
いなかり、た。
〔目的〕
本発明は、上記欠点であるカー回転角が小さい、1μm
ビットが安定に得られない等の欠点を根本的に改善し、
相反する特性を向上させ高い、高密度、高安定性、高速
読み書きのできる光磁気記録媒体を提供することを目的
とした。
〔概要〕
本発明の光磁気記録媒体は磁化を保持する光磁気記録層
と、抗磁力が前記光磁気記録層の5分の1以下で且つ1
00エルステツド以下に選定された低抗磁力材層を有し
、該光磁気記録層と該低抗磁力材層との間に該光磁気記
録層と同等あるいはそれ以下の厚みを持った非磁性体層
を形成したことを特徴とし、該光磁気記録層がセリウム
、プラセオジウム、ネオジウムのうち少なくとも1種以
上の元素と鉄および不純物からなる合金にさらにチタン
、ジルコニウム、タンタル、ハフニウム。
ニオブ、タングステン、イツトリウム、モリブデン、ホ
ウ素、ケイ素のうち少なくとも1種以上の元素を含み、
またはさらにクロム、コバルト、ニッケル、銅、マンガ
ンのうち少なくとも1種以上の元素を含む合金から成り
、且つ該低抗磁力材層がチタニウム、ジルコニウム、タ
ンタル、ニオブ、タングステン、ハフニウム、イツトリ
ウム、モリブデン、ホウ素、硅累のりち少なくとも1種
以上の元素とコバルト及び不純物よりなり優位的に非晶
質な合金であることを特徴とした。
〔実施例〕
以下図面を用いて本発明の詳細な説明する。
本発明の基本構造を第1図に示す、11は基板、12は
光磁気記録層、13は低抗磁力材層、14は、常磁性体
層である。この構造の場合、記録再生は基板側より光を
入射して行うが、12を低抗磁力材層。
13を光磁気記録層として光を基板に対して光磁気記録
層のある側から入射し記録再生を行っても何らさしつか
えない、さらに本発明は上記構造に限定されるものでは
なく、前記8層を基本とし、この他に多重反射を利用し
てカー回転角を増巾する透明膜、あるいは保護膜等4層
以上の積層を行うことは何ら本発明の効果を損うもので
はなく問題はない。
実施例1 (1)第2図Ca)に示す構造を有する媒体で基板おと
して、よく洗浄したガラスを用い、スパッタ法を用いて
ガラス基板上に厚み500Aの非晶質NdFeB 垂直
磁化膜をρとして形成し、その上にスパッタ法を用い、
21としてc(、T4  非晶質膜を100OA形成し
た。上記COT、:  非晶質膜の抗磁力は約7エルス
テツドであり、試料AIとした。また比較として上記c
6r7  非晶質膜のかわりにAJfニスバッタ法で1
000X形成したものを試料A2とした。
(2)第2図(6)に示す構造を有する媒体で、(1)
と同様に田はガラス基板−22はHdFeB膜・21は
c、Tz膜で、冴は誘電体層で6−を800人形成しで
ある。これはNdFeB膜ガラス膜板ラス基板間ること
によりカー回転角を二ンノ・ンスするものである。
これを試料点8とした。また比較として上記cOT<非
晶質膜のかわりに八!をスパッタ法で10001形成し
たものを試料44とした。
(8)第2図(C)に示す構造を有する媒体で、(2)
と同様におはガラス基板−22はNd1F、Ti  膜
・21はc(、Tz膜・冴はE3iCJzMである。2
5はBsCJzffj&で、x、1y、r6膜とC0T
z  膜間に形成したもので10OA厚みである。これ
を試料点5とし、比較としてcOx4  膜をへ!膜に
置き替えたものを試料A6とした。
(4)第2図(菊に示す構造を有する媒体で、26はP
MMA基板であり1.6μm間隔・深さ700Aの案内
溝を設けたものである。また(1)と同様にnはNdF
eTi膜・21はco’r6  膜である。これを試料
点7とした。また比較としてC,)T<  非晶質膜の
かわりにAA膜を形成したものを試料&8とした。
(5)第2図(e))に示す構造を有する媒体で、基板
26として、(4)と同じPMMAを用い(2)の試料
&8と 〆同様(D 5z02 /HdFeTi/Co
Ti  構造としたもノヲ試料A9とし、比較として試
料点9のC□Tz’  をAjとしたものを試料& 1
0とした。
(6)第2図ωに示す構造を有する媒体で、基板あとし
て4と同じPMMAを用い(2)の試料点5と同様のE
3i02/Nd’FeTi/BiCkx /cQ’r7
構造としたものを試料A 11とし、比較として試料A
11のc(、Tz  をAI!/としたものを試料A1
2とした。
(7)第2図(α)の構造を有する媒体で、(1)の試
料点1 OCadi f COZ?!N65 L fc
−もノヲ試料厘13とした。
このCoZTN6  の抗磁力は約5エルステツドであ
る。
(8)第2図(α)の構造を有する媒体で、(1)の試
料A1のCOT、:をCoTαとしたものを試料A 1
4とした。
このCoTα の抗磁力は約6エルステツドである。
(9)第2図G)の構造を持つ媒体で(1)の非晶質N
dFeTsを非晶質PrF’eZr 厚さ500Aとし
たものを試料&15左し、比較として試料A15のcO
rzをAjとしたものを試料&16とした。
αΦ第2図(α)の構造を持つ媒体で(1)の非晶質N
dFeを厚み500AのCgF(3TaCf  とした
ものを試料点17とし、比較のため試料A17のcOx
4をAjとしたものを試料点18とした。
C1)第2図(α)の構造を有する媒体で、(1)の試
料点1のNdFeTjをNdPfF、としたものを試料
&19とし、比較のため試料19のcmT4をAjとし
たものを試料加とした。
θ2)M2図(α)の構造を有する媒体で、(1)の試
料点1のNdFeT7をNdFeHfCoとしたものを
試料点21とし、比較のため試料A21のCQTzをA
jとしたものを試料&乙とした。
0の第2図(g)の構造を有する媒体で%(5)の試料
点9のNdF、T7をT6F、としたものを試料A23
とし、比較のため試料屋幻のCQTiをAjとしたもの
を試料A24とした。
以上乙種類のサンプルについてカー効果を測定した。カ
ー効果の測定は試料にlOキロエールステッドの磁場を
かけ、残留磁化状態としH,−N、ガスレーザー(波長
682.8 + 1メートル)で測定した。測定、の結
果を表1に示す。
(1)〜(6)の試料1〜試料12においてすべての構
造で非晶質C0Ti  を用いたものはAAに比してカ
ー回転角は#1ぼ2倍に増加している。また(7) 、
 (8)の試料13及び試料14においてc(、T4以
外のC(、系非晶質薄膜を用いた場合においても、試料
2の八!に対してやはり2倍程度の増加があった。
(9) 〜4Gにおいて記録層としてPrFgZr 、
 CeFeTaCr r NdPrFe 、 Nd’l
’eCo  としたものにおいてもやはりカー回転角は
大きくなった。
α3は従来より光磁気記録媒体として用いられているT
bF、  を記録層としカー回転角を測定したがこの場
合でも約1.5倍に増加した。
尚、光磁気記録媒体にcr、 n6 、 clL、 M
TLを添加したものは、試料21のGo添加と同一の効
果で耐候性に優れ、膜面に垂直に磁化容易軸を有する光
磁気記録媒体であった。さらに、ここではcm系アモル
ファス低抗磁力材層の具体例として、Co K Ts 
、 Zr 、 Ta 、 Hb  を少なくとも一種以
上添加した材料で本発明の詳細な説明したが、これに限
定されず、c(、にW 、 Hf 、 Y 、 Mo 
、 B 、 S<を添加した材料でも効果は全く同じで
ある。
実飽例2 低抗磁力材層の抗磁力とカー回転角の関係を調べた。結
果t−第8図に示す。第3図において横軸は抗磁力、縦
軸はカー回転角である。用いた試料はすべて第2図(α
)の構造を有するもので、αはガラス/ NdFeTi
 / CoT< 、 bはガラス/ NtiFeTi 
/CoZrNb 、 cはガラス/ TbFe / e
QTz  である。α5bacの8種数すべて低抗磁力
層の抗磁力が小さくなるに従ってカー回転角が増加する
。しかし抗磁力が約100エールステツド程度になると
、A!の反射層を設けたものと同等となる(図中d、e
)、さらに抗磁力が大きくなった場合にはむしろ八!に
比してカー回転角は小さくなる。これは、反射率が八!
に比してGo系合金が小さいためである。
第1表 実施例8 光磁気記録再生可能な光学ヘッドを用い、第4図(α)
に示す媒体構造で周波数特性を調べた。レーザー波長は
780uの半導体レーザーを用いた。
ディスク回転数は1800 rpm 、半径5crnに
固定とし、書き込み周波数を可変させた。読み書きは基
板側から行った。基板はグループ付ポリカーボネイト4
1とし、第2表に記したような薄膜を形成し、3層構造
とした。第1RはAAN 42で80OA、第2層は光
磁気記録層43で100OA、第8層は従来例としてA
A反射膜または本発明によるアモルファスCO系低抗磁
力M44でここではC08oTi2゜とし、500Aの
膜厚とした。形成手段はDCマグネトロンスパッタ法と
した。それぞれの光磁気記録媒体における書き込み周波
数に対するCβratioを示したものが第4図(b)
である。従来の様な反射膜として非磁性層!を用いた場
合と較べ本発明によるアモルファスCO系抵抗磁力層を
設けたことによりC/N ratioが上昇した。さら
に、本発明によるF、中にC(3、Pr、 Nd  を
少なくとも一種以上含んだ光磁気記録媒体においては、
さらにその効果は大きく、書き込み周波数特性が飛躍的
に向上した。
第2表  (組成単位は原子チ表示) 実施例4 第2図ωに示す構造を持った媒体を作成し光磁気記録層
と低抗磁力材層の間の非磁性中間層の厚みをパラメータ
として、記録パワーを変えた時のC/N比を調べた。
媒体は第2図ωの21の低抗磁力材層としてCOT?、
 、。
を100OA、22の光磁気記録層としてNdF6Hf
C。
を100OA、24の多重反射層としてSiO2を90
0X形成し、5の非磁性中間層として5ho2を10O
Aから100OAまで変えたものを作成した。
非磁性中間層のそれぞれの厚みについて、書込みレーザ
ーパワーに対するC/N比を第5図に示した。
sho、の厚みを増していくと低いレーザーパワーでc
、、’s比が飽和する。すなわち書込み感度が向上して
いる。しかし5hO2を200OAと厚くした場合はC
/N比が飽和するレーザーパワーは低いが07M比の飽
和値も低くなって、しまう。
このことから非磁性中間層の厚みは光磁気記録層と同等
かそれ以下が望ましい。
なお、第5図中のαは非磁性層の厚みが100’An 
6H同200X、 C1J1.50OR,di;t、1
00〔効果〕 以上の実施例に示された様に本発明による構造を有する
光磁気記録媒体は、カー回転角がほぼ2倍に増加し、C
A比も改善される。
さらに、記録磁区が安定するために高記録密度において
もC/N比の劣化が小さく、より高密度記録に適した媒
体である。
また、従来のTb1l’、 、 GdCQ 、 TbF
6GO、TbedF。
等の重希土類を含む媒体に比してNd 、 D7− 、
 C6の軽希土類を含むものは材料費が安くなり、本発
明による光磁気記録媒体は、軽希土類を含む媒体に対し
ての方がその効果が大きいといり特徴をもっている。
記録層は、非晶質であるため記録層上にCO系非晶質に
成長させる、あるいは逆にcm系非晶質層上に非晶質の
光磁気記録層を成長させることは非常に容易であり、且
つ、CO系非晶質は非常に化学的に安定であるため信頼
性も向上する。
また、光磁気記録層と低抗磁力材層間に非磁性中間層を
設けることによって書込み感度を向上させることが可能
である。さらに光磁気記録層が多少光を透過するならば
、低抗磁力材層と光磁気記録層間において、カー回転角
をエンハンスメントすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図(CL)(b)は本発明による光磁気記録媒体の
基本的層祷造を示す図である。 (a) 、 (b)に
おいて11・拳Φ基板 12・・・光磁気記録層 13・・・低抗磁力層 あるいは 12・・・低抗磁力層 13・・Φ光磁気記録層 また(b)において 14・・・中間層 である。 第2図(α)〜U′)は本発明による光磁気記録媒体の
具体的実施例の構造を示す図である。各図において、 21・φ・低抗磁力層 匹・・・光磁気記録層 お・・・基板 24・@慟透明誘電体層 5・Φ・中間層 26・・・案内溝付き基板 である。 第8図は本発明による光磁気記録媒体の効果を示す図で
ある。 α・・ガラス基板/ NdF6Ti / FslNiの
構造を有する媒体において?、N4  の抗磁力に対す
るカー回転角を示したもの。 611@ガラス基板/ NdX’ g T s / M
OF e NSの構造を有する媒体においてMoF、N
j  の抗磁力に対するカー回転角を示したもの。 ce・ガラス基板/ TbFe / X’eN%の構造
を有する媒体においてP、N4  の抗磁力に対するカ
ー回転角を示したもの。 d・・ガラス基板/ NdFgTj/AJの構造を有す
る媒体のカー回転角。 e・・ガラス基板/ Tb7g/AAの構造を有する媒
体のカー回転角。 第4図は本発明による光磁気記録媒体の記録再生周波数
特性を示す図である。(α)は実験に用いた媒体の構造
を示し 41・・・基板 42・・・A7N(透明誘電体層) 43IIII・光磁気記録層 祠・・・低抗磁力材層あるいはA! である。 (b)は書込み周波数に対するON比を示したもので図
中の1α〜5α及び1b〜5bは第2表に示した試料番
号である。 第5図は光磁気記録層と低抗磁力材層の間の非磁性中間
層の厚みをパラメータとして書込みレーザーパワーに対
するC/H比をとったものである。 /−(〆11  ゝ\−rN、 (a>               <b)第1図 第2図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁化の向きが膜面に垂直で上向きか下向きかの二
    値をとる光磁気記録層に光を照射し記録再生を行う光磁
    気記録媒体において、磁化を保持する前記光磁気記録層
    と、抗磁力が前記光磁気記録層の五分の一以下で且つ百
    エルステッド以下に選定された低抗磁力材層を有し、前
    記光磁気記録層と前記低抗磁力材層との間に前記光磁気
    記録層と同等あるいはそれ以下の厚みを持った非磁性体
    層を形成したことを特徴とした光磁気記録媒体。
  2. (2)特許請求の範囲第一項記載の光磁気記録層がセリ
    ウム、プラセオジウム、ネオジウムのうち少なくとも一
    種以上の元素と鉄および不純物からなる合金にさらにチ
    タン、ジルコニウム、タンタル、ハフニウム、ニオブ、
    タングステン、イットリウム、モリブデン、ホウ素、ケ
    イ素のうち少なくとも一種以上の元素を含み、またはさ
    らにクロム、コバルト、ニッケル、銅、マンガンのうち
    少なくとも一種以上の元素を含む合金から成り、且つ低
    抗磁力材層がチタニウム、ジルコニウム、タンタル、ニ
    オブ、タングステン、ハフニウム、イットリウム、モリ
    ブデン、ホウ素、ケイ素のうち少なくとも一種以上の元
    素とコバルト及び不純物よりなり優位的に非晶な合金で
    あることを特徴とした特許請求の範囲第1項記載の光磁
    気記録媒体。
JP19121584A 1984-09-12 1984-09-12 光磁気記録媒体 Pending JPS6187249A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4932012A (en) * 1985-12-09 1990-06-05 Canon Kabushiki Kaisha Method for regenerating information from a magneto-optical information recording medium

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4932012A (en) * 1985-12-09 1990-06-05 Canon Kabushiki Kaisha Method for regenerating information from a magneto-optical information recording medium

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