JPS6178862U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6178862U JPS6178862U JP16233584U JP16233584U JPS6178862U JP S6178862 U JPS6178862 U JP S6178862U JP 16233584 U JP16233584 U JP 16233584U JP 16233584 U JP16233584 U JP 16233584U JP S6178862 U JPS6178862 U JP S6178862U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating member
- vacuum container
- conductor disposed
- vacuum
- protective cover
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す要部断面図
、第２図は従来の真空蒸着装置の一例を示す要部
断面図である。 １……真空容器、２……支持導体（導体）、３
……絶縁部材、４ａ……第１の保護カバー、４ｂ
……第２の保護カバー。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
、第２図は従来の真空蒸着装置の一例を示す要部
断面図である。 １……真空容器、２……支持導体（導体）、３
……絶縁部材、４ａ……第１の保護カバー、４ｂ
……第２の保護カバー。なお、各図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 真空容器と、この真空容器に絶縁部材を介して
配設された通電用の導体と、前記真空容器内で前
記絶縁部材を囲んで配設され、前記絶縁部材の表
面に蒸着物質が付着するのを防止する保護カバー
とを備えてなることを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984162335U JPS6342135Y2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984162335U JPS6342135Y2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6178862U true JPS6178862U (ja) | 1986-05-26 |
| JPS6342135Y2 JPS6342135Y2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=30720222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984162335U Expired JPS6342135Y2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6342135Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100052U (ja) * | 1976-01-26 | 1977-07-28 |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP1984162335U patent/JPS6342135Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100052U (ja) * | 1976-01-26 | 1977-07-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342135Y2 (ja) | 1988-11-04 |