JPS6176349U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6176349U JPS6176349U JP16040084U JP16040084U JPS6176349U JP S6176349 U JPS6176349 U JP S6176349U JP 16040084 U JP16040084 U JP 16040084U JP 16040084 U JP16040084 U JP 16040084U JP S6176349 U JPS6176349 U JP S6176349U
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- JP
- Japan
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- refresh
- heating
- heater
- measuring device
- humidity measuring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第1図は本案実施例のブロツク図である。
1〜3……湿度センサ、4……発振器、5……
増巾器、6……センサ選択制御回路、7……演算
回路、8……表示装置、9……温度補償用サーミ
スタ、10,11,12……ヒータ、13……ヒ
ータ制御回路、14〜16……リフレツシユ・ス
イツチ、17……交流電源、18……比較器。
増巾器、6……センサ選択制御回路、7……演算
回路、8……表示装置、9……温度補償用サーミ
スタ、10,11,12……ヒータ、13……ヒ
ータ制御回路、14〜16……リフレツシユ・ス
イツチ、17……交流電源、18……比較器。
Claims (1)
- 金属酸化物半導体をセンサとした湿度測定装置
において、加熱リフレツシユ用ヒータを備えたセ
ンサを3個以上設け、且つ前記加熱リフレツシユ
用ヒータを順次動作させる装置を設けると共に、
加熱リフレツシユ中以外のセンサの検出値の平均
値を求める演算装置を設けたことを特徴とする湿
度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16040084U JPS6176349U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16040084U JPS6176349U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6176349U true JPS6176349U (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=30718322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16040084U Pending JPS6176349U (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6176349U (ja) |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP16040084U patent/JPS6176349U/ja active Pending