JPS6169021A - 光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上のｆり用分野〉 本２明ｉｊ　２０００　Ａ　１ｉｉｆ後ノ同明を（Ｔ　
Ａ’ろｌ”　、ＪＩ；縞を作成するのに用いれば好適な
３ζ・１”　Ｓ　；’；、に閏４ろ。

〈従来の技術〉 従来、この種の光゛Ｉ、装置としては２を東１１．゛し
ｌ）、を用いたらのか提案されている。この２尤東１１
ル法は、第２図に示４゛よっに、ρｊえばｌ１ｃ−Ｃ：
ｄレーザーのような単色性で可干渉性で・ト行性の虎れ
ノーレーザー光束１をビームスプリッタ−２を用いて、
２つの光束１−ａ、ｌ−ｂに二分し、夫々を鏡３−１．
３−２で反射さＵ、スクリーン１１而上て（１シび所定
のｒＱ　ｇで〜致さｕ″る。−’：’＋　Ｊると、ス面
リーン１而」二には周期的な縦縞状の干渉縞が生成する
。

この干＄縞の周期Ｐは光束ｌ−ａとｉｂとのなす角度を
θとすれば、 λ ここで、えは光束１の波長である。ケなわら波長が一定
であれば、干１歩縞の周期Ｐを変えるためには光束１−
ａと光束１−ｂとのなすｆ（１θを変える必要かあるか
、第２図で示された従来の方法では鏡３−１．３〜２と
スクリーン４とを同時に調整する必要かあり、そのため
の装置が複雑化、大型化するなどの欠点があった。

〈発明の目的〉 そこで、本発明の目的は、小型、簡単な構造でらって、
干渉縞の周期を容易に変えることができる光学装置をｔ
Ｉ供することにある。すなわち、千丁　　　　　　　　
　　　　　　　渉縞の周期をしばしば変更する必要のあ
る分布帰還型半導体レーザーや分布反射型憎導体レーザ
ー等の製造に応用４−るごとに、ｌｉハ多人の効果を期
待Ｉ−ることがで、きる光・ン！装置を提＋」丸１ろこ
とにＣうる。

〈発明の構成〉 上記目的を達成するため、本発明の光学装置は、と乙に
平坦な第１反射面と第２反射面をらち、所定の角度で入
射してくる１つの光束の一部を上記第１反射面で反射す
ると〕１に、Ｌ記！つの光束の他の一部を上記第１反射
面を通過、５ｕて内、１１に走行させ、さらに上記第２
反射面で反射して、１゜記１つの光束を２つの光束に分
けて出射する透明板と、上記２つの光束のうちの・方の
光束を反射する１枚の鏡と、上記鏡から反射されてくろ
１．記一方の光束と上記透明板から入射される他方の光
束とが重ね合わされて干渉縞が作成される１枚のスクリ
ーンとを備えたことを特徴としている。

〈実施例〉 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図において、５は可干渉性で平行性の優れたレーザ
ー光としての例えば波長４４＋６Ａの１１ｅ−Ｃｄレー
ザー光、６は平行な第１反射面６−ａと第２反射面６−
ｂをもつ溶融石英製の透明板であり、上記第１反射面６
−ａに一定の角度でレーザー光５を入射するようにして
いる。

上記透明板６の第１反射面６−ａには例えば反射率が３
８％となるように図示しない誘電体多層膜等を蒸着して
、１つの光束５を反射側の光束５−ａと屈折側の光束５
−ｂとの２つに分（Ｙるようにしている。一方、上記透
明Ｖｉ、６の第２反射面６−すには、例えばアルミニウ
ム等を２４着して、反射率を１００％とし、上記透明板
６の側面６−ｃには誘電体多層膜を蒸着して透過率が１
００％となるようにしている。上記第１反射面６−ａで
分けられた屈折側の光束５−ｂは、第２反射面６−ｈで
全反射され、第１反射面６−ａで再び反射側と屈折１ｌ
ｌｌ＋の２つの光束５−ｃと５−ｄとに分けられるよう
になっている。上記屈折側の光束５−ｄは、↑１反射面
６−ａと第２反射面６−ｂとが平行であるため、前述の
光束５−ａと平行になる。よノニ、上記反射側の光束５
−Ｃは側面６　Ｃを通−・で、レーザーの出力を監視す
るためのパワーメータ７に入　　　−射するようにして
いる。

一方、図示しない回転台上には、鏡８とスクリーン９を
固定している。上記鏡８とスクリーン９との交線Ｏは上
記自転台の回転軸に一致し、かつ、上記交線Ｏと上記光
束５−ａの中心線０１七の距離ｄ、と、上記交線０と上
記光束５−ｄの中心線Ｃ２との距＠　ａ　ｔとは同じに
なるようにしている。すなイつち、上記交１ｉａＯは、
上記中心線ＣＩとＣ！に等距離の位置に設けている。さ
らに、上記鏡８とスクリーン９とのなす角度が９０度に
なるようにしている。このため、第１図において、三μ
ｍ形ＯＶ　、　１．１　。

と三角形ＶｙＯＨｙと三角形Ｖ、Ｖ、Ｏとが相似になっ
ている。したがって、上記回転台を回転させて、鏡８に
対する光束５−ａの入射角をどのように変えても、鏡８
により反射されてきた光束５−ａの中心線Ｃ１と光束５
−ｄの中心線Ｃ，との交点はスクリーン９上に存するこ
とになる。

）、記構成により、透明板６に一定の角度で入射してき
た）Ｌ第５は、第１反射面６ａて２つの）Ｌ第５−ａと
５−ｂに分けられろ。ずなわら、この透明板６はヒー１
１スプリッターになっている。　・方の光束５〜ｂは第
２反射面６−ａで全反射され、そしてこの）Ｌ第５−ｂ
は第１反射面６−ａて再び２つの光束５−ｄと光束５−
ｃに分けられる。第１反射面６−ａと第２反射面６−ｂ
とが平行であるため、光束５−ａと光束５−ｄとは平行
になる。そして、上記光束５−ａと光束５−ｄとは、第
１反射面６−ａの反射率を３８％に設定しているため、
同じ強度になっている。上記光束５−ａは鏡８で反射さ
れ、スクリーン９上で光束５−ｄと重なり合い、このス
クリーン９上Ｉこ縦縞状の干渉縞が形成される。上記干
渉縞のコントラストは、光束５−ａと光束５−ｄの強度
が等しいため、最ら強くなる。

上記干渉縞の周期Ｐ０は、鏡８とスクリーン９とが〃い
に直交するように配置され、それらの交ｐ　　　　　　
　　　　　　　ｒａｏｈ＜２つの光束５−ａ、５−ｄの
中心線Ｃ，，Ｃ２から等距離の位置に配置されているた
め、光束５−１と鏡８とのな４°角をφ七４−ろ七、ス
タリー７（）Ｉに入射して・丘なり合５２−フのｉｊ東
５　　＋１．’＝　ｉ１３・１２５−ｄのなす角Ｏは２
・φとな−・て、（１）式よりλ Ｐｏ＝□　　　　　・・・（２） ２ｓｉｎφ となる。

この（２）式の関係は、回転台を回転さ口て、境８とス
クリーン９を同し角度だけ回転さＯ“ても疵わらない。

また、スクリーン９に入射する光束５−ａと光束５−ｄ
とは、前述のように、スクリーン９上に重なり合う。し
たが−て、鏡８およびスクリーン９を固定した回転台を
回転さＵ゛て、上記ｒＱ度φを変えることによって、周
期１）。を（２）式によって、簡単に変えることができ
ろ。

例えば波長λが４４１６Ａのレーザ光を用い、光束５−
ａと鏡８の交角φを７５度と・１−ろと、（２）式によ
り、スクリーン９上に周期Ｐ０が２２８６Ａの縦縞状の
干渉縞が得られろ。

本発明は上述した例にのみ限定されるわけてはなく、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更を加えるごとができ
ろ。特に透明板６は厳密に・１′−行・ド阪でＪ５る必
°皮はなく、よノニ鏡８とスクリーンリら厳密に直交し
ている必要があるわけではない。要するに実用上差し支
えない範囲でこれらの関係を変更することら本発明の範
囲に含まれる。

〈発明の効果〉 以上の説明で明らかなように、本発明の光学装置は、前
述の如く構成しているので、小型、簡単、安価な構成て
らって干渉縞の周期を容易に変えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の・実施例を示す概略措成図、第２図は
従来の２光束［：渉法による干渉縞の生成法を説明する
ための図である。 ５・・・レーザー光束、　　６・・・透明板、７・・・
パワーメータ、　　　８　・鏡、９・・・スクリーン。 特　許　出　願　人　　ンヤープ昧式会社代　理　人　
弁理士　　前出　葆　外２名第１図 １２７！ｉｉ１

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ともに平坦な第１反射面と第２反射面をらち、所
   定の角度で入射してくる１つの光束の一部を上記第１反
   射面で反射すると共に、上記１つの光束の他の一部を上
   記第１反射面を通過させて内部に走行させ、さらに上記
   第２反射面で反射して、上記１つの光束を２つの光束に
   分けて出射する透明板と、上記２つの光束のうちの一方
   の光束を反射する１枚の鏡と、上記鏡から反射されてく
   る上記一方の光束と上記透明板から入射される他方の光
   束とが重ね合わされて干渉縞が作成される１枚のスクリ
   ーンとを備えたことを特徴とする光学装置。
2. （２）上記鏡と上記スクリーンとを一定の角度をなすよ
   うに固定すると共に、１つの回転台上に載せていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の光学装置。
3. （３）上記透明板の第１反射面と第２反射面を略平行に
   配置して、上記透明板から出射される２つの光束が平行
   になるようにする一方、上記鏡とスクリーンの交線が上
   記回転台の回転軸に一致し、かつ上記鏡とスクリーンの
   なす角度が９０度となるように上記鏡とスクリーンを配
   置すると共に、上記交線を平行な上記２つの光束の各中
   心線から等距離の位置に配置したことを特徴とする特許
   請求の範囲第２項に記載の光学装置。