JPS6165456U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6165456U JPS6165456U JP1984149862U JP14986284U JPS6165456U JP S6165456 U JPS6165456 U JP S6165456U JP 1984149862 U JP1984149862 U JP 1984149862U JP 14986284 U JP14986284 U JP 14986284U JP S6165456 U JPS6165456 U JP S6165456U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertex
- photomask substrate
- utility
- scope
- rectangular shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
Description
第1図はこの考案のフオトマスク基板の平面図
、第2図は従来のフオトマスク基板の平面図であ
る。 10……フオトマスク基板、11,12,13
,14……頂点、15……指掛り孔、A,B,C
,D……辺。
、第2図は従来のフオトマスク基板の平面図であ
る。 10……フオトマスク基板、11,12,13
,14……頂点、15……指掛り孔、A,B,C
,D……辺。
Claims (1)
- 長方形などのフオトマスク基板において、少な
くとも1つの頂点近くに指掛り孔を穿設して構成
したことを特徴とするフオトマスク基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984149862U JPS6165456U (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984149862U JPS6165456U (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6165456U true JPS6165456U (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=30708029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984149862U Pending JPS6165456U (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6165456U (ja) |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP1984149862U patent/JPS6165456U/ja active Pending