JPS6165329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6165329U JPS6165329U JP15037884U JP15037884U JPS6165329U JP S6165329 U JPS6165329 U JP S6165329U JP 15037884 U JP15037884 U JP 15037884U JP 15037884 U JP15037884 U JP 15037884U JP S6165329 U JPS6165329 U JP S6165329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- mark sensor
- target object
- amount
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案によるマークセンサの一実施例
を示す光学系統図、第２図および第３図は第１図
の対物レンズの光量分布を示し、第２図は各焦点
における光量分布の立体図、第３図は軸方向の光
量分布図、第４図および第５図は第１図の対物レ
ンズを拡大して示し、第４図はその平面図、第５
図は第４図の側面図、第６図は従来のマークセン
サの一例を示す光学系統図、第７図は第６図の対
物レンズの光量分布を示す立体図である。 １……光源、２，４，６……レンズ、５……対
象物体、９……検出光、１５……基準光。
を示す光学系統図、第２図および第３図は第１図
の対物レンズの光量分布を示し、第２図は各焦点
における光量分布の立体図、第３図は軸方向の光
量分布図、第４図および第５図は第１図の対物レ
ンズを拡大して示し、第４図はその平面図、第５
図は第４図の側面図、第６図は従来のマークセン
サの一例を示す光学系統図、第７図は第６図の対
物レンズの光量分布を示す立体図である。 １……光源、２，４，６……レンズ、５……対
象物体、９……検出光、１５……基準光。
Claims (1)
- 光源からの光をレンズで集めて対象物体に入射
させ該対象物体からの反射光の量を基準光の量と
比較して被検出体を検出するマークセンサにおい
て、前記レンズの焦点距離がレンズの軸から径方
向に離れるに従つて長いことを特徴とするマーク
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15037884U JPS6165329U (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15037884U JPS6165329U (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165329U true JPS6165329U (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=30708524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15037884U Pending JPS6165329U (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6165329U (ja) |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP15037884U patent/JPS6165329U/ja active Pending