JPS616076U - 半導体装置用複合エアバルブ - Google Patents

半導体装置用複合エアバルブ

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JPS616076U
JPS616076U JP8886884U JP8886884U JPS616076U JP S616076 U JPS616076 U JP S616076U JP 8886884 U JP8886884 U JP 8886884U JP 8886884 U JP8886884 U JP 8886884U JP S616076 U JPS616076 U JP S616076U
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JP
Japan
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air valve
gas
air
valve
supply passage
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Pending
Application number
JP8886884U
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English (en)
Inventor
茂 八木沢
Original Assignee
東横化学株式会社
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Publication date
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  • Multiple-Way Valves (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１因は本考案の半導体装置用複合エアバルブを示した
第２図のＡ−Ａ線断面図、第２図は．，本考案の正面図
、第３図は、従来の複合エアバルブのバルブ系統図であ
る。 １１・・・バルブボデイ、１２・・・ガス供給通路、１
３・・・ガス導入用エアバルブ、１４・・・ガス排出用
工アバルブ、１５，１６，３０，３２・・・通路、２５
・・・室、２９・・・エア導入部、３１・・・ガス導入
部、３３・・・ガス排気部。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）多面ブ冶ツクで形成されたバルブボデイ内にガス
    供給通路を配設し、該バルブボデイに多方向からガス導
    入用エアバルブとガス排出用エアバルブとで一組を構成
    するエア駆動部を前記バルブボデイ内で組ごとに接続し
    て複数組配設し、前記ガス導入用エアバルブを前記ガ不
    供給通路に接続し、前記ガス導入用エアノ〈ルブにはガ
    ス導入部を、前記ガス排出用エアバルブにはガス排気部
    をそれぞれ隣接して接続し、前記エア駆動部からのエア
    圧力により選択的にガスの・流れ方向および種類を制御
    することを特徴とする半導体装置用複合エアバルブ。
  2. （２）前記ガス導入用エアパルブと前記ガス排出用エア
    バルブとが前記バルブボデイ内で直交して接続されてな
    る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の半導体装置用
    複合エアバルブ。
  3. （３）前記エア駆動部が前記ガス供給通路に沿って複数
    組並列して配設されてなる実用新案登録請求の範囲第１
    項に記載の半導体装置用複合エアバルブ。
JP8886884U 1984-06-16 1984-06-16 半導体装置用複合エアバルブ Pending JPS616076U (ja)

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