JPS6159813B2 - - Google Patents

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JPS6159813B2
JPS6159813B2 JP10678478A JP10678478A JPS6159813B2 JP S6159813 B2 JPS6159813 B2 JP S6159813B2 JP 10678478 A JP10678478 A JP 10678478A JP 10678478 A JP10678478 A JP 10678478A JP S6159813 B2 JPS6159813 B2 JP S6159813B2
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JP
Japan
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melt
crucible
spouting
raw material
spout
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JP10678478A
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Japanese (ja)
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JPS5533858A (en
Inventor
Hiroshi Sakakima
Masaji Yamaguchi
Harufumi Sakino
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明は急冷凝固材料の製造法にかかり、特に
急冷凝固材料を量産するのに適した製造法を提供
しようとするものである。 近年、102℃/sec〜108℃/secの冷却速度を有
する超急冷法の発達により、非晶質合金をはじ
め、センダストや誘電体材料などの繊維状もしく
はリボン状の素材が作られるようになつて来てい
る。なお本願においては少なくとも102℃/secの
早さ以上で急冷凝固させることにより得られる材
料を急冷凝固材料と称する。 まず、従来の製造装置について、第1図を用い
て説明する。図において、1は下部が開口してノ
ズルとなつているルツボであり、昇降装置2のア
ーム3に取付けられている。ルツボ1は、上方か
ら材料が投入できるよう、また、ルツボ1内の溶
融体4をガスで加圧し、そのノズルから噴出でき
るよう構成されている。5は加熱炉で、ルツボ1
内に投入された材料を加熱し、それを溶融させて
おくためのものである。加熱炉5内には不活性ガ
ス導入管6が配置され、ルツボ1の周囲が不活性
雰囲気となるよう構成されている。 このような装置において、図示する状態で、原
材料を上部よりルツボ1内に投入し、加熱炉5で
熱して、それを融解させる。溶融体4が得られた
ならば、昇降装置2を降下させ、破線で示すよう
に、高速回転する冷却用ローラ7の側面に接近さ
せて、ルツボ1のノズルより溶融体4を噴出させ
る。ローラ7上に付着した材料は急速に冷却さ
れ、目的とする材料が得られる。なお、8は昇降
装置2を加熱炉5などからの熱から遮蔽するため
の熱遮蔽板である。 上記装置を使用すると、巾の広い急冷凝固リボ
ンを作ろうとするときには、少なくともリボンの
巾以上の直径のノズルが必要となり、ルツボが大
型化する。それに伴なつて、加熱炉も大型化し、
装置自体がいちぢるしく大型化することは避けら
れない。またそればかりでなく、たとえば10cm程
度の巾のリボン状材料を作製しようとすれば、製
造装置の大型化に伴つて熱放射も無視することが
できなくなり、装置上方への加熱炉からの放射熱
の遮蔽という二次的な問題が生じて来単なるスケ
ールアツプでは解決することのできない技術的困
難が生じて来る。高周波コイルによる融解方法で
は、融解可能な材料と不可能な材料があるばかり
でなく、ルツボ内に原料が入つていない限り、温
度を一定に保持することができず、安定して材料
を作製するような量産には適していない。さら
に、装置がより高価なものとなる。さらに、ルツ
ボを上下方向に移動させる構造の装置では、ルツ
ボ内に原料を落下させて装填しなければならず、
その際にルツボを破損しないように、あらかじめ
原料を細かく粉砕しておかなければならないとい
う、製造工程上の問題点がある。 本発明は、ルツボを水平方向に移動させるとと
もに、所定位置で移動方向を直角な方向にそれを
回転させるよう構成することによつて、上記諸問
題を解決するとともに、比較的小型で、急冷凝固
材料を量産するのに適した製造法を実現したもの
である。 以下、その一実施例について、第2図を用いて
詳述する。同図aは原材料の融解時の状態を示
し、また、同図Bは溶融体の噴出時の状態を示し
ている。 図において、11は溶融体溜めと噴出ノズルと
を兼ねるルツボで、側面部分に溶融体噴出口が設
けられており、水平駆動部12によつて水平に支
持されている。13は原料装填部で、この部分を
開けて、ここからルツボ11へ材料を装填する。
14はガス供給部で、所定の圧力の不活性ガスを
ルツボ11内へ供給する。15は加熱炉、16は
冷却媒体である。冷却媒体16としては一つの回
転ローラ、1対の圧延ローラ、または平円板状の
ターンテーブルなどを使用することができる。こ
こでは、回転ローラを例として示している。 上記構成の装置において、まず、第2図aに示
すように、ルツボ11を加熱炉15内に位置させ
る。このとき、ルツボ11の溶融体噴出口を上方
へ向けておく。かかる状態で、原料装填部13か
らルツボ11内に装填された原材料を融解させ、
溶融体17とする。ルツボ11内へはガス供給部
14から不活性ガスが常時供給されており、不活
性ガスがルツボ11の溶融体噴出口から流出する
ため、ルツボ11内は常に不活性な雰囲気に保た
れている。 原料が十分に融解した時点で、水平駆動部12
により、第2図bに示すように、ルツボ11を水
平に加熱炉15の外へ移動させてから、その溶融
体噴出口が下向きになるよう回転させて、溶融体
噴出口を回転ローラ16に対面させる。それが対
面したとき、溶融体17はその表面張力に打勝つ
だけの一定のガス圧を加えて、ルツボ11から溶
融体17を回転ローラ16上に吹きつける。回転
ローラ16上に吹きつけられた溶融体は急冷さ
れ、目的とする急冷凝固材料が得られる。 溶融体の噴出が完了したならば、ルツボ11を
第2図aに示す初めの状態に復帰させ、再び、原
材料をルツボ11内に装填して、上述した操作を
繰り返す。 上記製造法は、ルツボが水平に配置され、かつ
それが水平方向に移動するよう構成されているの
で、第1図に示した従来の装置のようにルツボの
支持部を加熱炉に対して熱的に遮蔽しなければな
らないというような必要性もない。すなわち、ル
ツボ11を支持し、かつそれを移動させるための
水平駆動部12は、加熱炉15などによつて生じ
る高温度の気流にさらされるおそれが実質的にな
いため、熱遮蔽は従来の装置に比べて非常に簡単
に行なえる。そして、ルツボ11の側面部分に溶
融体噴出口が設けられているので、その大きさ、
形状どについての制約は、ルツボ底部に設ける従
来装置に比べて、大巾に緩和される。たとえば、
噴出口を水平方向と平行な方向にスリツト状に形
成することも容易であり、そのために、ルツボ1
1や加熱炉15を特に大型のものとしなければな
らないというような必要性もない。すなわち、小
型の装置で巾の広い急冷凝固材料を製作すること
も容易である。ちなみに、第1図に示した構成の
装置と、上記実施例を使用して、巾8cmのリボン
状急冷凝固材料を作製したときの、装置の大き
さ、所要電力を示すと、下表のとおりである。
The present invention relates to a method for manufacturing a rapidly solidified material, and particularly aims to provide a manufacturing method suitable for mass production of rapidly solidified materials. In recent years, with the development of ultra-rapid cooling methods with cooling rates of 10 2 °C/sec to 10 8 °C/sec, it has become possible to create fibrous or ribbon-like materials such as amorphous alloys, sendust, and dielectric materials. I'm getting used to it. In this application, a material obtained by rapid solidification at a rate of at least 10 2 °C/sec or more is referred to as a rapidly solidified material. First, a conventional manufacturing apparatus will be explained using FIG. 1. In the figure, 1 is a crucible whose lower part is open and serves as a nozzle, and is attached to an arm 3 of a lifting device 2. The crucible 1 is configured so that material can be input from above, and the melt 4 in the crucible 1 can be pressurized with gas and ejected from its nozzle. 5 is a heating furnace, crucible 1
It is used to heat the material put inside and keep it melted. An inert gas introduction pipe 6 is arranged in the heating furnace 5 so that an inert atmosphere is created around the crucible 1. In such an apparatus, raw materials are introduced into the crucible 1 from above in the state shown in the figure, heated in the heating furnace 5, and melted. Once the molten material 4 is obtained, the elevating device 2 is lowered to approach the side surface of the cooling roller 7 rotating at high speed, as shown by the broken line, and the molten material 4 is ejected from the nozzle of the crucible 1. The material deposited on the roller 7 is rapidly cooled and the desired material is obtained. Note that 8 is a heat shielding plate for shielding the lifting device 2 from heat from the heating furnace 5 and the like. When using the above-mentioned apparatus, when attempting to produce a wide rapidly solidified ribbon, a nozzle with a diameter at least equal to or larger than the width of the ribbon is required, which increases the size of the crucible. Along with this, heating furnaces have also become larger,
It is inevitable that the equipment itself will become significantly larger. Not only that, but if you are trying to manufacture a ribbon-shaped material with a width of about 10 cm, for example, as the manufacturing equipment becomes larger, it becomes impossible to ignore heat radiation. The secondary problem of shielding occurs, creating technical difficulties that cannot be solved by mere scale-up. With the melting method using a high-frequency coil, not only can some materials be melted and others not, but the temperature cannot be maintained constant unless the raw material is in the crucible, making it possible to stably produce materials. It is not suitable for such mass production. Furthermore, the equipment becomes more expensive. Furthermore, in a device that moves the crucible vertically, the raw material must be dropped into the crucible and loaded.
There is a problem in the manufacturing process that the raw material must be finely ground in advance to avoid damaging the crucible. The present invention solves the above problems by moving the crucible horizontally and rotating it at a predetermined position in a direction perpendicular to the direction of movement. This is a manufacturing method suitable for mass-producing the material. Hereinafter, one embodiment will be described in detail using FIG. 2. Figure A shows the state when the raw material is melted, and Figure B shows the state when the molten material is ejected. In the figure, reference numeral 11 denotes a crucible that serves both as a melt reservoir and an ejection nozzle, which has a melt ejection port on its side surface and is supported horizontally by a horizontal drive section 12. Reference numeral 13 denotes a raw material loading section, which is opened and materials are loaded into the crucible 11 from here.
14 is a gas supply unit that supplies inert gas at a predetermined pressure into the crucible 11. 15 is a heating furnace, and 16 is a cooling medium. As the cooling medium 16, a rotating roller, a pair of rolling rollers, a flat disc-shaped turntable, or the like can be used. Here, a rotating roller is shown as an example. In the apparatus having the above configuration, first, as shown in FIG. 2a, the crucible 11 is placed in the heating furnace 15. At this time, the melt spout of the crucible 11 is directed upward. In this state, the raw material loaded into the crucible 11 from the raw material loading section 13 is melted,
Let it be a melt 17. Inert gas is constantly supplied into the crucible 11 from the gas supply section 14, and the inert gas flows out from the melt spout of the crucible 11, so the inside of the crucible 11 is always maintained in an inert atmosphere. . When the raw material is sufficiently melted, the horizontal drive unit 12
As shown in FIG. 2b, the crucible 11 is moved horizontally to the outside of the heating furnace 15, and then rotated so that the molten material spout faces downward, and the molten material spout is directed to the rotating roller 16. Let them face each other. When they meet, a constant gas pressure is applied to the melt 17 to overcome its surface tension and blow the melt 17 from the crucible 11 onto the rotating roller 16. The molten material sprayed onto the rotating roller 16 is rapidly cooled to obtain the desired rapidly solidified material. When the ejection of the melt is completed, the crucible 11 is returned to the initial state shown in FIG. 2a, the raw material is loaded into the crucible 11 again, and the above-described operation is repeated. In the above manufacturing method, the crucible is arranged horizontally and is configured to move horizontally, so the supporting part of the crucible is heated relative to the heating furnace, as in the conventional apparatus shown in Fig. 1. There is also no need to completely shield the area. That is, since there is virtually no risk that the horizontal drive unit 12 for supporting and moving the crucible 11 will be exposed to high-temperature airflow generated by the heating furnace 15, etc., the heat shielding is not required with conventional equipment. It is very easy to do compared to. Since the melt spout is provided on the side of the crucible 11, its size
Restrictions on shape etc. are greatly relaxed compared to conventional devices provided at the bottom of the crucible. for example,
It is also easy to form the spout in a slit shape in a direction parallel to the horizontal direction, and for that purpose, the crucible 1
There is no need to make the heating furnace 1 or the heating furnace 15 particularly large. That is, it is easy to produce a wide rapidly solidified material using a small device. By the way, the table below shows the size of the device and the required power when producing a ribbon-like rapidly solidified material with a width of 8 cm using the device with the configuration shown in Figure 1 and the above example. It is.

【表】 ルツボ11を水平に移動するよう配置すること
により、さらに、溶融体噴出口の付着物を除去す
る作業が容易になること、加熱炉15が横型とな
るので、炉内の様子の観察や光温度計などによる
温度測定を容易に行なえること、および、ルツボ
11に対して横方向に原料を装填できるので、原
料は棒状であればよく、従来の装置のように原料
をあらかじめ粉砕しておくというような必要性も
ないことといつた利点が得られる。 さらに、ルツボ11がその移動方向を軸として
回転可能に構成されているので、溶融体噴出時以
外はその噴出口を上方へ向けておくことができ、
溶融体噴出口部分における溶融体17との反応に
よるルツボ11の損傷劣化が少ない。そして、溶
融体17が鉄などを主な原料とする酸化されやす
いものである場合には、その溶融時に、ガス供給
部14からルツボ11内へ、さらにその溶融体噴
出口から外部へと、不活性ガスを流すことによつ
て、容易に、溶融体17と空気との接触を遮断す
ることができる。したがつて、従来の装置におけ
るようなノズルの回りに簡易雰囲気を作るための
装置も不必要になるだけでなく、不活性ガスの消
費量も少なくてすむ。無論、原材料が酸化のおそ
れのないもの、さらにはルツボ11に対して不活
性なものであるときには、上述のようにルツボ1
1を回転させてやる必要性はなく、ルツボ11の
溶融体噴出口を初めから下方に向けておいて、溶
融体の表面張力などを利用して、ルツボ11内に
溶融体を保持しておき、必要時それを高速回転冷
却体の表面に吹きつけるようにすることもでき
る。 以上説明したように、本発明にかかる製造法は
溶融体噴出部分を水平方向に移動させるよう構成
しているので、その溶融体噴出口の形状や寸法上
の制約が実質的になくなり、巾の広い急冷凝固材
料を容易に製造することができる。そして、その
ために装置を特に大型化する必要性もない。酸化
されやすい原材料を溶融させるときには、溶融体
噴出口を上方へ向けておき、溶融体噴出部分内へ
不活性ガスを供給して、その噴出口より外部へ流
出させるようにすれば、溶融体が空気と接触する
ことを防止し、その酸化を阻止することができ
る。そのために、噴出口周辺部分に簡易雰囲気を
作るための装置が不要となる。さらに、溶融体噴
出部分をルツボで構成することによつて、加熱炉
からの熱名流にその駆動装置がさらされることが
なくなり、熱遮蔽といつた対策が非常に簡単にな
る。
[Table] By arranging the crucible 11 to move horizontally, it becomes easier to remove deposits from the melt spout, and since the heating furnace 15 is horizontal, it is possible to observe the inside of the furnace. The temperature can be easily measured using a thermometer or an optical thermometer, and the raw material can be loaded horizontally into the crucible 11, so the raw material only needs to be rod-shaped, and unlike conventional equipment, the raw material cannot be crushed in advance. This has the advantage that there is no need to store it. Furthermore, since the crucible 11 is configured to be rotatable around its moving direction, its spout can be directed upward except when spouting the melt.
There is less damage and deterioration of the crucible 11 due to reaction with the melt 17 at the melt spout portion. If the molten material 17 is made of iron or the like as its main raw material and is easily oxidized, when it is melted, it will flow from the gas supply section 14 into the crucible 11 and further from the molten material spout to the outside. By flowing the active gas, contact between the melt 17 and air can be easily blocked. Therefore, not only is there no need for a device for creating a simple atmosphere around the nozzle as in conventional devices, but the amount of inert gas consumed can also be reduced. Of course, if the raw material is not likely to oxidize and is inert to the crucible 11, the crucible 1
There is no need to rotate the crucible 1, and the melt spout of the crucible 11 is directed downward from the beginning, and the melt is held within the crucible 11 using the surface tension of the melt. When necessary, it can also be sprayed onto the surface of a high-speed rotating cooling body. As explained above, since the manufacturing method according to the present invention is configured to move the melt spouting part in the horizontal direction, there are virtually no restrictions on the shape or size of the melt spout, and the width can be increased. A wide range of rapidly solidified materials can be easily produced. Moreover, there is no need to particularly enlarge the device for this purpose. When melting raw materials that are easily oxidized, the molten material can be prevented by directing the molten material spout upward, supplying inert gas into the molten material spouting part, and allowing it to flow out from the molten material spout. It can prevent contact with air and prevent its oxidation. Therefore, a device for creating a simple atmosphere around the ejection port is not required. Furthermore, by configuring the melt spouting portion with a crucible, the driving device is not exposed to the heat flow from the heating furnace, and measures such as heat shielding become extremely simple.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の急冷凝固材料の製造装置の構造
を示す図である。第2図aは本発明にかかる急冷
凝固材料の製造法を用いた装置の原材料融解時の
構成を示し、同図bは溶融体噴出時の構成を示す
図である。 11…ルツボ、12…水平駆動部、13…原料
装入部、14…ガス供給部、15…加熱炉、16
…回転ローラ(冷却媒体)、17…溶融体。
FIG. 1 is a diagram showing the structure of a conventional rapid solidification material manufacturing apparatus. FIG. 2a shows the configuration of an apparatus using the method for producing a rapidly solidified material according to the present invention when the raw material is melted, and FIG. 2b shows the configuration when the melt is ejected. DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Crucible, 12... Horizontal drive part, 13... Raw material charging part, 14... Gas supply part, 15... Heating furnace, 16
... Rotating roller (cooling medium), 17... Molten body.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 溶融体噴出部分を、原材料の溶融位置と溶融
体の噴出位置との間を水平に移動させるための駆
動装置に支持し、前記溶融体の噴出位置におい
て、その溶融体噴出口より下方へ溶融体を噴出
し、冷却体上に吹きつけるよう構成してなること
を特徴とする急冷凝固材料の製造法。 2 駆動装置により、溶融体噴出部分を、原材料
の溶融位置では溶融体噴出口が上方へ向くよう保
持し、溶融体の噴出位置に水平移動させてから前
記溶融体噴出口を下方へ向け、溶融体を噴出する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
急冷凝固材料の製造法。 3 原材料の溶融時、溶融体噴出部分の溶融体噴
出口より不活性ガスを流出させ、溶融体の酸化を
防止することを特徴とする特許請求の範囲第2項
に記載の急冷凝固材料の製造法。 4 側面に溶融体噴出口を有するルツボで溶融体
噴出部分を構成し、駆動装置により、原材料の溶
融時には、前記ルツボを加熱炉内に位置させ、溶
融体の噴出時、前記加熱炉より外部へ水平に移動
させて、冷却体上へ溶融体を噴出するよう構成し
てなることを特徴とする特許請求の範囲第1項ま
たは第2項または第3項に記載の急冷凝固材料の
製造法。 5 原材料を水平方向に装填可能な装填口を有す
るルツボを使用することを特徴とする特許請求の
範囲第4項に記載の急冷凝固材料の製造法。
[Scope of Claims] 1. A molten material spouting part is supported by a drive device for horizontally moving between a raw material melting position and a molten material spouting position, and at the melting spouting position, the molten material is A method for producing a rapidly solidified material, comprising: ejecting a molten material downward from a spout and spraying it onto a cooling body. 2 The drive device holds the melt spouting part so that the melt spout faces upward at the raw material melting position, horizontally moves it to the melt spouting position, and then directs the melt spout downward to melt the raw material. A method for producing a rapidly solidified material according to claim 1, characterized in that the material is ejected. 3. Production of the rapidly solidified material according to claim 2, characterized in that when the raw material is melted, an inert gas is flowed out from the melt spout of the melt spouting part to prevent oxidation of the melt. Law. 4. The melt spouting part is configured by a crucible having a melt spouting port on the side surface, and when the raw material is melted, the crucible is positioned in the heating furnace by a drive device, and when the melt is spouted, it is moved from the heating furnace to the outside. The method for producing a rapidly solidified material according to claim 1, 2, or 3, characterized in that the molten material is ejected onto the cooling body by moving the material horizontally. 5. The method for producing a rapidly solidified material according to claim 4, characterized in that a crucible having a loading port capable of horizontally loading raw materials is used.
JP10678478A 1978-08-30 1978-08-30 Production equipment of quenching congelation material Granted JPS5533858A (en)

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JPH02207776A (en) * 1989-02-02 1990-08-17 Naniwa Konbuchiya Honpo:Kk 'kobu-cha' (seaweed drink)
SE9102022L (en) * 1991-07-01 1993-01-02 Stiftelsen Metallurg Forsk SET AND CASTING MACHINE FOR CONTINUOUS CASTING OF METAL BELTS

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