JPS6157840U - - Google Patents

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JPS6157840U
JPS6157840U JP14382384U JP14382384U JPS6157840U JP S6157840 U JPS6157840 U JP S6157840U JP 14382384 U JP14382384 U JP 14382384U JP 14382384 U JP14382384 U JP 14382384U JP S6157840 U JPS6157840 U JP S6157840U
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JP
Japan
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fine particles
laser beam
counting device
optical means
condensing
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による微粒子計数装置の一実施
例を示す構成図、第２図ａはガラス板５、第２図
ｂは集光レンズ９の一例を示す正面図、第３図は
ノズル２８と排出ダクト３１の対向部分を示す端
面図、第４図は本実施例の電気的構成を示すブロ
ツク図、第５図は信号処理部の各部の波形を示す
波形図である。 １…光源室、２…レーザダイオード、３…コリ
メートレンズ、４…円筒状レンズ、６，１３…ヒ
ータ、７…計測室、８…光検出室、９，１０…集
光レンズ、１１…光電変換器、１２…ビームトラ
ツプ、２１，３３…流量計、２２，２９，３５…
フイルタ、２３…高温飽和蒸気室、２５…混合室
、２６，２７，３０…ダクト、２８…ノズル、２
８ａ…中央噴出口、２８ｂ…周辺噴出口、３１…
排出ダクト、３４…ポンプ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザビームを発生させるレーザ光源と、 前記レーザ光源のレーザビームを一点で集束さ
    せる第１の光学手段と、 測定領域の微粒子を高温飽和蒸気室に導き、該
    微粒子を核として蒸気を付着させることにより微
    粒子の粒径を拡大させる粒径拡大手段と、 前記レーザビームの焦点位置において、前記粒
    径拡大手段により得られる微粒子を含むエアロゾ
    ル及び清浄な空気を夫々中央部及びその周辺部よ
    り噴出させるエアロゾル噴出手段と、 前記微粒子による前記レーザビームの散乱光を
    集光する第２の光学手段と、 前記第２の光学手段により集光された散乱光を
    電気信号に変換する光電変換器と、 前記光電変換器の出力に基づいて粒子数を計数
    する計数手段と、を具備することを特徴とする微
    粒子計数装置。 (2) 前記第１の光学手段は、レーザ光源のレー
    ザビームを集束させる集束レンズ及び前面にヒー
    タ手段が設けられたガラス板を有することを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の微粒
    子計数装置。 (3) 前記第２の光学手段は、レーザビームに対
    向して配置され散乱光を集光する集光レンズと、
    その集光レンズを加熱するヒータ手段を有するこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の微粒子計数装置。 (4) 前記第２の光学手段は、レーザビームに対
    向して配置され散乱光を集光する集光レンズと、
    その前面に配置された平面ガラスと、該平面ガラ
    スを加熱するヒータ手段と、を有することを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の微粒
    子計数装置。
JP14382384U 1984-09-21 1984-09-21 Pending JPS6157840U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0363544A (ja) * 1989-05-02 1991-03-19 Ion Syst Inc 放出粒子計測装置

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