JPS6155690A - Detection of 2-d shape positional deviation - Google Patents

Detection of 2-d shape positional deviation

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JPS6155690A
JPS6155690A JP17808384A JP17808384A JPS6155690A JP S6155690 A JPS6155690 A JP S6155690A JP 17808384 A JP17808384 A JP 17808384A JP 17808384 A JP17808384 A JP 17808384A JP S6155690 A JPS6155690 A JP S6155690A
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JP
Japan
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shape
dimensional shape
centroid
positional deviation
dimensional
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Pending
Application number
JP17808384A
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Japanese (ja)
Inventor
正通 森本
平良 信孝
丹羽 美夫
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、陰極線管(以下CRTと略す)の画面上に
表示された2次元形状のように、蛍光体等の小さな形状
要素が離散的に分布する整列パターンにより構成される
複雑な2次元形状の位置ずれ検出方法に関するものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application This invention is directed to a two-dimensional shape displayed on the screen of a cathode ray tube (hereinafter abbreviated as CRT), in which small shape elements such as phosphors are distributed discretely. The present invention relates to a method for detecting positional deviation of a complicated two-dimensional shape formed by an alignment pattern.

従来例の構成とその問題点 従来、カラーCRTの赤・緑・青(以下ROBと略す)
色層の各電子銃からのビームが、同一点に収束している
か等を自動的に検査する、カラーCRTミスコンバーゼ
ンス自動検査方法として、CRT画面に表示されたテス
トパターンをパターン入力装置により検出し、検出され
た2次元画像信号をフレームバッファに格納あるいはラ
ンレングスコード化データに変換し、その後これらの画
像情報を処理し、テストパターンの位置認識を行なう方
法がとられてきた。
Conventional structure and its problems Conventional color CRT red, green, blue (hereinafter abbreviated as ROB)
As an automatic color CRT misconvergence inspection method that automatically inspects whether the beams from each electron gun in the color layer are converging on the same point, the test pattern displayed on the CRT screen is detected by a pattern input device. A method has been adopted in which the detected two-dimensional image signal is stored in a frame buffer or converted into run-length coded data, and then this image information is processed to recognize the position of the test pattern.

しかし、フレームバッファやランレングスコード化デー
タを用いて2次元形状の位置の認識を行なう方法では、
一般に処理速度が遅いという欠点を有していた。
However, methods that use frame buffers and run-length encoded data to recognize the position of two-dimensional shapes,
Generally, it has the disadvantage of slow processing speed.

そこで、上記2方法に比較して処理速度が速い投影処理
により2次元形状の位置認識を行なう方法の利用が考え
られるが、投影処理では、2次元元画像信号を一対の1
次元データに圧縮するためCRT画面上の蛍光体のよう
に離散的に分布する多数の形状要素から成る複雑な2次
元形状、すなわち整列パターンで構成された2次元形状
の位置認識を行なうことが困難であった。
Therefore, it is conceivable to use a method of recognizing the position of a two-dimensional shape by projection processing, which has a faster processing speed than the above two methods, but in projection processing, two-dimensional original image signals are
Because it is compressed into dimensional data, it is difficult to recognize the position of a complex two-dimensional shape consisting of a large number of discretely distributed shape elements like phosphors on a CRT screen, that is, a two-dimensional shape composed of aligned patterns. Met.

発明の目的 この発明の目的は、上記問題点に鳶み、整列パターンで
構成された2次元形状の位置認識を高速に行なうことが
できる2次元形状の位置ずれ検出方法を提供することで
ある。
OBJECTS OF THE INVENTION An object of the present invention is to overcome the above-mentioned problems and provide a method for detecting positional deviation of a two-dimensional shape, which can perform position recognition of a two-dimensional shape composed of alignment patterns at high speed.

発明の構成 この目的を達成するために、この発明の2次元形状の位
置ずれ検出方法は、整列パターンから成る複雑な2次元
形状を、パターン入力装置により検出し、2次元画像信
号に変換してパターン認識装置に送出し、そこで得られ
た2次元画像信号を2値化して一対の基準軸に投影する
ことで得られる投影データから、上記2次元形状の位置
認識を行なうものである。
Structure of the Invention In order to achieve this object, the method for detecting positional deviation of a two-dimensional shape according to the present invention detects a complicated two-dimensional shape consisting of an alignment pattern using a pattern input device, converts it into a two-dimensional image signal, The position of the two-dimensional shape is recognized from projection data obtained by sending the two-dimensional image signal to a pattern recognition device, binarizing the obtained two-dimensional image signal, and projecting it onto a pair of reference axes.

そして、この方法の特徴は、認識対象である上記2次元
形状の境界を包含する複数個の小領域をパターン認識装
置によって2値化した2次元画像信号から切り出し、各
小領域の図心と各小領域に含まれる形状要素の面積の総
和から上記2次元形状の計測位置を求め、予め記憶して
おいた標準位置との差を算出することで上記2次元形状
の位置ずれを検出することにある。
The feature of this method is that a pattern recognition device cuts out a plurality of small regions including the boundaries of the two-dimensional shape to be recognized from a binarized two-dimensional image signal, and identifies the centroid of each small region and each The measurement position of the two-dimensional shape is determined from the sum of the areas of the shape elements included in the small region, and the positional deviation of the two-dimensional shape is detected by calculating the difference from the standard position stored in advance. be.

したがって、整列パターンで構成される複雑な2次元形
状から複数の小領域を切り出し、一度の認識処理で扱う
形状要素の個数を減少させることにより、複雑な2次元
形状を処理速度の速い投影処理で認識することが可能と
なる。
Therefore, by cutting out multiple small regions from a complex two-dimensional shape composed of alignment patterns and reducing the number of shape elements handled in one recognition process, complex two-dimensional shapes can be processed using fast projection processing. It becomes possible to recognize it.

実施例の説明 以下、この発明の一実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。第1図は、この発明の一実施例であるカラ
ーCRTミスコンバーゼンス自動検査装置の概略構成を
示している。パターン発生回路1で発生した9個の円形
スポットから成るテストパターン2が、CRT3の画面
上に表示されている時、3台のテレビカメラ4,5.6
が上記テストパターン2を撮像するように、数値制御回
路7が、CRT3を載せた数値制御台8(以下NCテー
ブルと呼ぶ)の位置制御を行なう。3台のテレビカメラ
の4.5.6の中の1台のテレビカメラ(例えばテレビ
カメラ4)が、カメラ選択回路9により順次選び出され
、カメラ制御回路10で制御される。そして、選択され
たテレビカメラ4により検出されたテストパターン2中
の円形スポットの画像信号は、アナログデジタル変換(
以下A/D変換と略す)回路11に入るが、ここで2値
化制御回路工2により2値化され、窓枠制御回路13に
より円形スポットの境界を包含する小領域が切り出され
、さらに投影処理回路14により2次元画像信号が一対
の1次元画像データに情報圧縮され、中央処理装置(以
下cpuと略す)。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of a color CRT misconvergence automatic inspection apparatus which is an embodiment of the present invention. When a test pattern 2 consisting of nine circular spots generated by the pattern generation circuit 1 is displayed on the screen of the CRT 3, three television cameras 4, 5, 6
A numerical control circuit 7 controls the position of a numerical control table 8 (hereinafter referred to as an NC table) on which a CRT 3 is mounted so that the test pattern 2 is imaged. One of the three television cameras 4, 5, and 6 (for example, television camera 4) is sequentially selected by the camera selection circuit 9 and controlled by the camera control circuit 10. Then, the image signal of the circular spot in the test pattern 2 detected by the selected television camera 4 is converted into an analog-to-digital converter (
It enters a circuit 11 (hereinafter abbreviated as A/D conversion), where it is binarized by a binarization control circuit 2, a small area including the boundary of the circular spot is cut out by a window frame control circuit 13, and then projected. A two-dimensional image signal is information-compressed into a pair of one-dimensional image data by a processing circuit 14, which is processed by a central processing unit (hereinafter abbreviated as CPU).

読み出し専用メモリ、読み書き自在メモリおよび入出力
ポート等から構成されるマイクロコンピータ(パターン
認識装置: CPUチップはMNI610またはMN1
613)に入力される。
A microcomputer (pattern recognition device: CPU chip is MNI610 or MN1) consisting of read-only memory, read/write memory, input/output ports, etc.
613).

パターン認識装置としては、主コントローラ15あるい
は操作!16より指令が与えられる判定制御回路すなわ
ちCPU17、上記円形スポットの投影データから円形
スポットの計測位置を認識する位置認識回路18、円形
スポットの標準位置を格納しておく標準位置メモリ回路
19、円形スポットの計測位置を格納しておく計測位置
メモリ回路20、上記2つのメモリ回路19.20を制
御するメモリ制御回路21、標準位置と計測位置を比較
する認別回路22より構成されている。
As a pattern recognition device, the main controller 15 or operation! A determination control circuit, that is, a CPU 17, to which instructions are given from 16, a position recognition circuit 18 that recognizes the measured position of the circular spot from the projection data of the circular spot, a standard position memory circuit 19 that stores the standard position of the circular spot, and a circular spot. It is comprised of a measurement position memory circuit 20 for storing the measurement position of , a memory control circuit 21 for controlling the two memory circuits 19 and 20, and a recognition circuit 22 for comparing the standard position and the measurement position.

円形スポットの認識結果は、主コントローラ15に送出
され、1回の認識が終了する毎に主コントローラ15よ
りシーケンス信号がシーケンス制御回路23に送られ、
シーケンス制御回路23が数値制御回路5.パターン発
生回路1を制御する。
The recognition result of the circular spot is sent to the main controller 15, and each time one round of recognition is completed, the main controller 15 sends a sequence signal to the sequence control circuit 23.
The sequence control circuit 23 is a numerical control circuit 5. Controls the pattern generation circuit 1.

つぎに、上記のように構成されたパターン認識装置の動
作を説明する。第2図は9個の円形スポットで構成され
るカラーCRTミスコンバーゼンス自動検査用のテスト
パターンを表しており、第3図にテストパターンに対す
る認識処理の手順が示されている。
Next, the operation of the pattern recognition device configured as described above will be explained. FIG. 2 shows a test pattern for automatic color CRT misconvergence inspection consisting of nine circular spots, and FIG. 3 shows a recognition processing procedure for the test pattern.

まず、3台のテレビカメラ4〜6が第2図A−へ’tM
上の3個の円形スポットを撮像するように位置決めされ
た〔ステップl)後、カメラ選択回路9によってテレビ
カメラ4が選ばれ〔ステップ2〕円形スポットCI+の
画像信号が検出される。そして、円形スボンl” CI
Iの位置認識がRGBの各色に対して順次行なわれ〔ス
テップ3〕、認識データを主コントローラ15に送出し
〔ステップ4〕、円形スポットCIIに対する認識処理
は終了する。
First, three television cameras 4 to 6 are sent to A- in Figure 2.
After being positioned so as to image the three circular spots above (step 1), the television camera 4 is selected by the camera selection circuit 9 [step 2] and the image signal of the circular spot CI+ is detected. And circular pants l” CI
The position recognition of I is performed sequentially for each color of RGB [step 3], the recognition data is sent to the main controller 15 [step 4], and the recognition process for the circular spot CII is completed.

つぎに、カメラ選択回路9によりテレビカメラ5が選ば
れ、円形スポ7)C,、の認識が行なわれる。
Next, the television camera 5 is selected by the camera selection circuit 9, and the circular spot 7) is recognized.

このようにA−A線上にある3個の円形スポットがCI
I 、C2+ 、C31と上から順に認識され、A−A
線上の円形スボ・ノドに対する処理が終了する。
In this way, the three circular spots on line A-A are CI
I, C2+, C31 are recognized in order from the top, and A-A
The processing for the circular subo-nod on the line ends.

そして、NCテーブル8が移動しB−B線上の円形スポ
ットに対する処理に移る。1台のCRT3の検査は、左
から順に(あるいは右から順に)A−A、B−B、c−
cvA上の円形スポット(あるいはC−C,B−B、A
−A線上の円形スポット)と進み終了する。第2図に示
されているように、円形スポットを認識する際の座標系
には、各円形スポットにおける相対座標系XRYiが設
定される。
Then, the NC table 8 moves and the process moves on to the circular spot on the line B-B. The inspection of one CRT3 is performed in order from the left (or from the right) A-A, B-B, c-
circular spot on cvA (or C-C, B-B, A
- circular spot on line A) and end. As shown in FIG. 2, a relative coordinate system XRYi for each circular spot is set as a coordinate system for recognizing circular spots.

さらに、第4図から第7図を用いてパターン認識装置の
動作説明を行なうが、その前に各図の関係を述べておく
。第4図は、上記テストパターンを構成する円形スポッ
トの拡大図で、認識対象である2次元形状、すなわち円
形スポットと整列パターンであるRGB蛍光体との位置
関係、および複数個の小領域(Ri,R2,R3,R4
)が示されている。第6図は、上記第4図中の小領域R
2を拡大したもので、整列パターンの形状要素である発
光蛍光体(E2□、E2□、R23,R24,E2S)
が示されている。また、第5図は1個の円形スポットの
位置認識手順を、第7図は1個の小領域の図心検出手順
を示したものである。
Furthermore, the operation of the pattern recognition device will be explained using FIGS. 4 to 7, but before that, the relationship between each figure will be described. FIG. 4 is an enlarged view of the circular spot constituting the test pattern, and shows the two-dimensional shape to be recognized, that is, the positional relationship between the circular spot and the RGB phosphor that is the alignment pattern, and the plurality of small regions (Ri ,R2,R3,R4
)It is shown. Figure 6 shows the small area R in Figure 4 above.
2 is enlarged, showing the light-emitting phosphors (E2□, E2□, R23, R24, E2S) that are the shape elements of the alignment pattern.
It is shown. Further, FIG. 5 shows a procedure for recognizing the position of one circular spot, and FIG. 7 shows a procedure for detecting the centroid of one small area.

パターン認識装置の動作手順は、第4図、第5図に示さ
れるように、まず円形スポットから4個の小頭域Rz(
1≦i≦4)を切り出し〔ステップ11〕、各小領域R
iの図心G=  (Xt +  )’t )を検出する
ことから始まる〔ステップ12〕。
The operating procedure of the pattern recognition device is as shown in FIGS. 4 and 5. First, four small head regions Rz (
1≦i≦4) [Step 11], each small region R
The process starts by detecting the centroid G=(Xt+)'t) of i [step 12].

各小領域Riの図心Giを検出する手順は、第6図、第
7図に示されるが(第6図はi=2の場合)、小領域R
i中に含まれるm個の全ての発光蛍光体Ei、(1≦j
≦m、第6図はm=5の場合)の図心g ij (X 
ij+  Y ij)とその面積Sijを、2次元画像
信号を一対の基準軸に投影することによって得られる投
影データから求め〔ステップ21〕そして発光蛍光体E
 i jの図心g =i (X +j、Y =;)とそ
の面積S ijから小領域Riの図心CB  (x、。
The procedure for detecting the centroid Gi of each small region Ri is shown in FIGS. 6 and 7 (in the case of i=2 in FIG. 6), the small region R
All m light emitting phosphors Ei contained in i, (1≦j
≦m, Fig. 6 shows the case where m=5), the centroid g ij (X
ij + Y ij) and its area Sij are determined from projection data obtained by projecting the two-dimensional image signal onto a pair of reference axes [Step 21], and the luminescent phosphor E
From the centroid g = i (X + j, Y =;) of i j and its area S ij, the centroid CB (x,) of the small region Ri.

yi)を算出する〔ステップ22〕、小領域R。yi) [Step 22], small region R.

の図心Gi  (Xi +  Yi )を算出する式は
以下のようになる。
The formula for calculating the centroid Gi (Xi + Yi) is as follows.

ただし、S、は、欠けのない発光蛍光体の面積である。However, S is the area of the light-emitting phosphor without chipping.

ここで再び第4図、第5図の説明に戻ると、以上のよう
にして求められた各小頭域Riの図心G。
Returning to the explanation of FIGS. 4 and 5, the centroid G of each capitula Ri obtained as described above.

(xt 、  yt )と小領域中に含まれる発光蛍光
体E i jの面積S ijの総和Stにより、円形ス
ポットの計測位置(xe、yc)を次式にように定める
〔ステップ13〕。
(xt, yt) and the sum St of the area S ij of the light-emitting phosphor E ij included in the small region, the measurement position (xe, yc) of the circular spot is determined as shown in the following equation [Step 13].

ただし、 S、  = Σ Sij    ・・・・・・(5)コ
IIf 以上のようにして円形スポットの計測位置(xc 。
However, S, = Σ Sij (5) If The measurement position (xc) of the circular spot is determined as described above.

yc)を求め、予め記憶しておいた標準位置(x3゜y
・)との差Δx、Δyを算出し、このΔX。
yc) and the standard position (x3゜y
・) Calculate the difference Δx and Δy, and calculate the difference ΔX.

Δyを以て円形パターンの位置ずれ量とする。このΔx
、Δyは次式で与えられる。
Let Δy be the positional deviation amount of the circular pattern. This Δx
, Δy are given by the following equation.

ΔX=Xe−X、   ・・・・・・(6)Δ)’=7
cm)’s   ・・・・・・(7)標準位置(xs、
yiは、ミスコンバーゼンス量が基準以内にあるとこと
を保証されているカラーCRTを用いて上記の方法によ
り、RGBの各色毎に算出され、記憶されている。した
がって、円形スポットの位置ずれ検出は、RGBの各色
毎に行なわれ、式(6)1式(7)で求められるΔx、
Δyも、RGBの各色毎に3回計算され、認識結果であ
るRGB各色毎の計測位置と位置ずれ量ΔX。
ΔX=Xe−X, ......(6)Δ)'=7
cm)'s ・・・・・・(7) Standard position (xs,
yi is calculated and stored for each RGB color by the above method using a color CRT whose misconvergence amount is guaranteed to be within a standard. Therefore, detection of the positional deviation of the circular spot is performed for each color of RGB, and Δx, which is calculated by equations (6) and (7),
Δy is also calculated three times for each RGB color, and the measurement position and positional deviation amount ΔX for each RGB color are the recognition results.

Δyが主コントローラ15に送出される〔ステップ14
〕。
Δy is sent to the main controller 15 [Step 14
].

なお、上記実施例において、テストパターン2は9個の
円形スポットから成るとしたが、個数は極端に多かった
り少なかったりしなければ何個でもかまわない。スポッ
トの形状も三角形や四角形あるいは星形等でもよい。
In the above embodiment, the test pattern 2 is made up of nine circular spots, but the number may be any number as long as it is not extremely large or small. The shape of the spot may also be triangular, square, or star-shaped.

また、テレビカメラは3台(テレビカメラ4゜5.6)
で、NCテーブル8によってCRT3を移動させるとし
たが、テレビカメラを9台とし、NCテーブル8、数値
制御回路7をなくしてもかまわない。
In addition, there are 3 TV cameras (TV camera 4° 5.6)
Although the CRT 3 is moved by the NC table 8, the number of television cameras may be nine, and the NC table 8 and the numerical control circuit 7 may be omitted.

発明の効果 以上のように、この発明は、認識対象である整列パター
ンで構成された複雑な2次元形状から、形状の境界を包
含する複数個の小領域を切り出すことによって、複雑な
2次元形状を単純化し、処理速度の速い投影処理による
上記2次元形状の位置認識を可能にし、その実用効果は
大なるものがある。
Effects of the Invention As described above, the present invention can generate a complex two-dimensional shape by cutting out a plurality of small regions encompassing the boundary of the shape from a complex two-dimensional shape composed of alignment patterns to be recognized. This method simplifies the process and enables position recognition of the two-dimensional shape by projection processing with a high processing speed, and has great practical effects.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例に基づいて整列パターンで
構成される2次元形状の位置ずれ検出を行なうカラーC
RTミスコンバーゼンス自動検査装置を示す構成図、第
2図は一実施例であるカラーCRTミスコンバーゼンス
自’I’JJ 検TE 用にCRTに表示されるテスト
パターンを示す説明図、第3図は第2図のテストパター
ン検査の手順を示すフローチャート、第4図はテストパ
ターンを構成する円形スポットと整列パターンである蛍
光体と切り出される小領域との位置関係を示す説明図、
第5図は円形スポラトル計測位置を求める手順を示すフ
ローチャート、第6図は第4図の小領域R2の拡大図、
第7図は1つの小領域における図心検出手順を示すフロ
ーチャートである。 2・・・テストパターン、4,5.6・・・テレビカメ
ラ、9・・・カメラ選択回路、11・・・A/D変換回
路、12・・・2値化制御回路、13・・・窓枠制御回
路、14・・・投影処理回路、17・・・判定制御回路
、18・・・位置認識回路、19・・・標準位置メモリ
回路、20・・・計測位置メモリ回路、22・・・識別
回路第2図 第 3 口 第4図 第5図 第6図 第7図
FIG. 1 shows a color C for detecting positional deviation of a two-dimensional shape composed of aligned patterns based on an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a test pattern displayed on a CRT for color CRT misconvergence automatic inspection, which is an embodiment, and FIG. 2 is a flowchart showing the test pattern inspection procedure; FIG. 4 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the circular spot forming the test pattern, the phosphor that is the alignment pattern, and the small area to be cut out;
FIG. 5 is a flowchart showing the procedure for determining the circular sporator measurement position, FIG. 6 is an enlarged view of the small region R2 in FIG. 4,
FIG. 7 is a flowchart showing the centroid detection procedure for one small area. 2...Test pattern, 4,5.6...TV camera, 9...Camera selection circuit, 11...A/D conversion circuit, 12...Binarization control circuit, 13... Window frame control circuit, 14... Projection processing circuit, 17... Judgment control circuit, 18... Position recognition circuit, 19... Standard position memory circuit, 20... Measured position memory circuit, 22...・Identification circuit Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)離散的に分布する小さな形状要素から成る2次元
形状をパターン入力装置により検出して2次元画像信号
に変換し、さらに上記2次元画像信号を2値化して一対
の基準軸に投影することで得られる投影データから、上
記2次元形状の境界を包含するn個の小領域R_i(1
≦i≦n)を切り出し、各小領域R_iの図心(x_i
、y_i)と各小領域中に含まれるm個の上記形状要素
E_i_j(1≦j≦m)の面積S_i_jの総和S_
iから、上記2次元形状の計測位置(x_c、y_c)
を求め、上記計測位置(x_c、y_c)と予め記憶し
ておいた上記2次元形状の標準位置(x_s、y_s)
とから第(A)式および第(B)式に基づいてΔx、Δ
yを算出することで上記2次元形状の位置ずれ検出を行
なうことを特徴とする2次元形状の位置ずれ検出方法。 Δx=x_c−x_s・・・・・・(A) Δy=y_c−y_s・・・・・・(B)
(1) A two-dimensional shape consisting of discretely distributed small shape elements is detected by a pattern input device, converted into a two-dimensional image signal, and further, the two-dimensional image signal is binarized and projected onto a pair of reference axes. From the projection data obtained by this, n small regions R_i (1
≦i≦n), and the centroid (x_i
, y_i) and the total area S_i_j of the m shape elements E_i_j (1≦j≦m) included in each small region S_
From i, the measurement position of the above two-dimensional shape (x_c, y_c)
, and calculate the above measurement position (x_c, y_c) and the standard position (x_s, y_s) of the above two-dimensional shape stored in advance.
Based on equations (A) and (B), Δx, Δ
A method for detecting positional deviation of a two-dimensional shape, characterized in that positional deviation of the two-dimensional shape is detected by calculating y. Δx=x_c-x_s...(A) Δy=y_c-y_s...(B)
(2)上記2次元形状の計測位置(x_c、y_c)は
、n個の小領域R_iの図心(x_i、y_i)と各小
領域中に含まれるm個の形状要素E_i_jの面積S_
i_jの総和S_i(=Σ^m_j_=_1S_i_j
)により、第(C)式および第(D)式で与えられ、上
記小領域R_iの図心(x_i、y_i)は、小領域R
_i中に含まれるm個の形状要素E_i_jの図心(x
_i_j、y_i_j)と形状要素の面積S_i_jに
より、第(E)式および第(F)式で与えられる特許請
求の範囲第(1)項記載の2次元形状の位置ずれ検出方
法。 x_c=(Σ^n_i_=_1x_i・S_i)/(Σ
^n_i_=_1S_i)・・・・・・(C)y_c=
(Σ^n_i_=_1y_i・S_i)/(Σ^n_i
_=_1S_i)・・・・・・(D)x_i=(Σ^m
_j_=_1x_i_j・S_i_j)/(mSp)・
・・・・・(E)y_i=(Σ^m_j_=_1y_i
_j・S_i_j)/(mSp)・・・・・・(F)た
だし、Spは欠けのない形状要素の面積である。
(2) The measurement position (x_c, y_c) of the two-dimensional shape is determined by the centroid (x_i, y_i) of the n small regions R_i and the area S_ of the m shape elements E_i_j included in each small region.
Total sum S_i of i_j (=Σ^m_j_=_1S_i_j
), the centroid (x_i, y_i) of the small region R_i is given by the equations (C) and (D), and the centroid (x_i, y_i) of the small region R_i is
The centroid (x
_i_j, y_i_j) and the area S_i_j of the shape element, the method for detecting a positional deviation of a two-dimensional shape according to claim (1) is given by equations (E) and (F). x_c=(Σ^n_i_=_1x_i・S_i)/(Σ
^n_i_=_1S_i)・・・・・・(C)y_c=
(Σ^n_i_=_1y_i・S_i)/(Σ^n_i
_=_1S_i)・・・・・・(D)x_i=(Σ^m
_j_=_1x_i_j・S_i_j)/(mSp)・
...(E)y_i=(Σ^m_j_=_1y_i
_j·S_i_j)/(mSp) (F) where Sp is the area of the shape element without chipping.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6461188A (en) * 1987-08-31 1989-03-08 Sony Corp Automatic adjusting device for registration

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6461188A (en) * 1987-08-31 1989-03-08 Sony Corp Automatic adjusting device for registration

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