JPS6152472A - 純水供給用エア−弁 - Google Patents
純水供給用エア−弁Info
- Publication number
- JPS6152472A JPS6152472A JP17159584A JP17159584A JPS6152472A JP S6152472 A JPS6152472 A JP S6152472A JP 17159584 A JP17159584 A JP 17159584A JP 17159584 A JP17159584 A JP 17159584A JP S6152472 A JPS6152472 A JP S6152472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- pure water
- valve
- section
- air valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は半導体ウェハ等に用いる純水を供給・制御する
エアー弁、特に清浄度の維持に好適な純水供給用エアー
弁に関するものである。
エアー弁、特に清浄度の維持に好適な純水供給用エアー
弁に関するものである。
（従来の技術）
従来、このような分野の技術としては第２図に示す三方
向エアー弁があった。第２図はその一部縦断正面図で、
１はシリンダ３の上方に取付けられた非動作時のエアー
供給口、２は同じくシリンダ３の下方に取付けられた動
作時のエアー供給口、４はピストンで強制用スプリング
ばね５により常時下方に押下げられている。６はシリン
ダ３に取付けられたケーシングで、ケージング６内には
上下に弁座７ａ 、７ｂが取付けられている。８はバル
ブロッドで、ピストン４に取付けられ、その先端近くに
弁体９ａ 、９ｂがそれぞれ弁座７ａと７ｂに相対して
取付けられる。また１０はベローズで一端はケーシング
６に、他端はバルブロッド８に固定され、弁の部分を流
れる接液部とロッド８を駆動する作動部を遮蔽する。な
お、１１は供給口のコモンポー１−（ＣＯＭ）、１２は
ノーマルオープン４−ト（ＮＯ）、１３はノーマルクロ
ーズポート（ＮＣ）、１４はベローズ１０の呼吸孔であ
る。そして、これを動作させるには先ずエアー供給口２
から数ｋｇ／ｃｒｎ２のエアーを供給する。この時ピス
トン４はシリンダ３の内面を上昇し、これに連結された
バルブロッド８の弁体９ｂとケーシング６の弁座７ｂが
開き、弁体９ａと弁座７ａが閉じるのでＣＯＭ １１か
らの純水はＮＯ１２からＮＣｌ３へ切換わるように構成
されている。
向エアー弁があった。第２図はその一部縦断正面図で、
１はシリンダ３の上方に取付けられた非動作時のエアー
供給口、２は同じくシリンダ３の下方に取付けられた動
作時のエアー供給口、４はピストンで強制用スプリング
ばね５により常時下方に押下げられている。６はシリン
ダ３に取付けられたケーシングで、ケージング６内には
上下に弁座７ａ 、７ｂが取付けられている。８はバル
ブロッドで、ピストン４に取付けられ、その先端近くに
弁体９ａ 、９ｂがそれぞれ弁座７ａと７ｂに相対して
取付けられる。また１０はベローズで一端はケーシング
６に、他端はバルブロッド８に固定され、弁の部分を流
れる接液部とロッド８を駆動する作動部を遮蔽する。な
お、１１は供給口のコモンポー１−（ＣＯＭ）、１２は
ノーマルオープン４−ト（ＮＯ）、１３はノーマルクロ
ーズポート（ＮＣ）、１４はベローズ１０の呼吸孔であ
る。そして、これを動作させるには先ずエアー供給口２
から数ｋｇ／ｃｒｎ２のエアーを供給する。この時ピス
トン４はシリンダ３の内面を上昇し、これに連結された
バルブロッド８の弁体９ｂとケーシング６の弁座７ｂが
開き、弁体９ａと弁座７ａが閉じるのでＣＯＭ １１か
らの純水はＮＯ１２からＮＣｌ３へ切換わるように構成
されている。
このように弁の部分を流れる接液部と作動部はベローズ
１０で遮蔽されているので、純水が潤滑油等に汚染され
ることなく、常に純水を供給し続ける。この場合ベロー
ズ１０の材料としてはテフロン（Ｄｏ Ｐｏｎｔ社商品
名）が用いられる。その理由は、極度に清浄が要求され
る半導体製造ラインにおいては、化学的に安定で、その
上不純物の吸着性が少ないためである。
１０で遮蔽されているので、純水が潤滑油等に汚染され
ることなく、常に純水を供給し続ける。この場合ベロー
ズ１０の材料としてはテフロン（Ｄｏ Ｐｏｎｔ社商品
名）が用いられる。その理由は、極度に清浄が要求され
る半導体製造ラインにおいては、化学的に安定で、その
上不純物の吸着性が少ないためである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、テフロンのベローズ１０は機械的な耐磨
耗性１弾性など必ずしも長期間の繰返し使用には十分で
ない。従ってベローズ１０が破損した場合には作動部内
の潤滑油などが純水に触れることになる。そのため潤滑
油等は純水に溶は込み、純水を汚染することになる。し
かし半導体製造に用いられる純水は極めて高い清浄度が
要求される。従って僅かな量の汚染物の溶は込みによっ
ても半導体の製造に支障をきたす結果となる。ところが
、従来の構成ではベローズ等の破損・純水の汚染が検出
されるのはベローズ等の破損により純水が作動部に侵入
し、呼吸孔１４より水が出ることによる。しかし、呼吸
孔１４より純水が出てきたときには、既に純水が汚染さ
れた後であシ、ベローズの破損、純水の汚染を未然に防
止することができなかった。
耗性１弾性など必ずしも長期間の繰返し使用には十分で
ない。従ってベローズ１０が破損した場合には作動部内
の潤滑油などが純水に触れることになる。そのため潤滑
油等は純水に溶は込み、純水を汚染することになる。し
かし半導体製造に用いられる純水は極めて高い清浄度が
要求される。従って僅かな量の汚染物の溶は込みによっ
ても半導体の製造に支障をきたす結果となる。ところが
、従来の構成ではベローズ等の破損・純水の汚染が検出
されるのはベローズ等の破損により純水が作動部に侵入
し、呼吸孔１４より水が出ることによる。しかし、呼吸
孔１４より純水が出てきたときには、既に純水が汚染さ
れた後であシ、ベローズの破損、純水の汚染を未然に防
止することができなかった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、従来使用されている動作部と弁の部分を流れ
る接液部との遮蔽をより完全にするためベローズ部を２
段にして、このベローズ部で構成される呼吸孔を有する
中間の室を設けるようにしたものでるる。
る接液部との遮蔽をより完全にするためベローズ部を２
段にして、このベローズ部で構成される呼吸孔を有する
中間の室を設けるようにしたものでるる。
（作 用）
このようにすると純水に浸っている接液部のベローズが
損傷しても、純水は中間の室に漏れて、ソノ呼吸孔より
出る。この水の射出によってベローズの破損を検出する
ことができる。なお、この不はもう１つのベローズによ
って動作部と遮断されているので純水がシリンダ内に入
って汚染されることはない。
損傷しても、純水は中間の室に漏れて、ソノ呼吸孔より
出る。この水の射出によってベローズの破損を検出する
ことができる。なお、この不はもう１つのベローズによ
って動作部と遮断されているので純水がシリンダ内に入
って汚染されることはない。
（実施例）
第１図は本発明純水供給用エアー弁の一実施例を示す一
部縦断正面図で、第２図と同一機能を有する部品には同
一の参照符号を付した。図に示すように、エアー供給口
２から数ｋｇ／ｃｍ２のエアーを供給することによって
ピスト／４が上昇し、これに連結されたバルブロッド８
の弁体９ｂとケーシング６の弁座７ｂが開き、次に弁体
９ａと弁座７ａが閉じ、ＣＯＭ １１からの純水がＮＯ
１２からＮＣｌ３へ切換わることは従来と全く同じであ
る。唯、第２図と異なるところは動作部と弁の部分を流
れる接液部との間に設けられたベローズを第１のベロー
ズ１５ａと第２のベローズ１５ｂの２段にし、この２つ
のベローズ１５ａ、１５ｂに囲まれた中間の室Ａを設け
ると共に呼吸孔１６を設けるようにしたものである。
部縦断正面図で、第２図と同一機能を有する部品には同
一の参照符号を付した。図に示すように、エアー供給口
２から数ｋｇ／ｃｍ２のエアーを供給することによって
ピスト／４が上昇し、これに連結されたバルブロッド８
の弁体９ｂとケーシング６の弁座７ｂが開き、次に弁体
９ａと弁座７ａが閉じ、ＣＯＭ １１からの純水がＮＯ
１２からＮＣｌ３へ切換わることは従来と全く同じであ
る。唯、第２図と異なるところは動作部と弁の部分を流
れる接液部との間に設けられたベローズを第１のベロー
ズ１５ａと第２のベローズ１５ｂの２段にし、この２つ
のベローズ１５ａ、１５ｂに囲まれた中間の室Ａを設け
ると共に呼吸孔１６を設けるようにしたものである。
このようにすると、通常接液部は純水で充４１４されて
おシ、ベローズ１５ａによって、その上部の中間室Ａに
純水が入るのが防止される。しかし、このベローズ１５
＆が破損等をした場合、中間室Ａが純水により充満し、
呼吸孔１６により外部に水が出る。この水の射出によっ
てベローズ１５ａの破損を検出することができる。この
場合、ベローズ１５ｂによって純水が更に上部の作動部
に行くことを防止できるので、純水がシリンダ３内に入
ることはなく純水の汚染を防止することができる。
おシ、ベローズ１５ａによって、その上部の中間室Ａに
純水が入るのが防止される。しかし、このベローズ１５
＆が破損等をした場合、中間室Ａが純水により充満し、
呼吸孔１６により外部に水が出る。この水の射出によっ
てベローズ１５ａの破損を検出することができる。この
場合、ベローズ１５ｂによって純水が更に上部の作動部
に行くことを防止できるので、純水がシリンダ３内に入
ることはなく純水の汚染を防止することができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明は動作部と弁の部分
を流れる接液部との中間に、２段のベローズによって囲
まれた呼吸孔を有する中間室を設けたので、疲労等によ
るベローズ破損で純水が汚染されるのを未然に防止する
ことができる。
を流れる接液部との中間に、２段のベローズによって囲
まれた呼吸孔を有する中間室を設けたので、疲労等によ
るベローズ破損で純水が汚染されるのを未然に防止する
ことができる。
第１図は本発明純水供給用エアー弁の一実施例 ゛
を示す一部縦断正面図、第２図はこの種従来のエアー弁
を示す一部縦断正面図である°。 １．２・・・エアー供給孔、３・・・シリンダ、４・・
・ピストン、６・・・ケーシング、７ａＩ７ｂ・・・弁
座、８・・・バルブロッド、９ａ、９ｂ・・・弁体、１
ノ・・・供給口のコモンポート（ＣＯＭ）、１２・・・
ノーマルオープンポート（ＮＯ）、１３・・・ノーマル
クローズポート（ＮＣ）、１４−・・呼吸孔、１５ ａ
、 １５ ｂ −ベローズ、１６・・・呼吸孔。 第 １ 図 第 ２ 図
を示す一部縦断正面図、第２図はこの種従来のエアー弁
を示す一部縦断正面図である°。 １．２・・・エアー供給孔、３・・・シリンダ、４・・
・ピストン、６・・・ケーシング、７ａＩ７ｂ・・・弁
座、８・・・バルブロッド、９ａ、９ｂ・・・弁体、１
ノ・・・供給口のコモンポート（ＣＯＭ）、１２・・・
ノーマルオープンポート（ＮＯ）、１３・・・ノーマル
クローズポート（ＮＣ）、１４−・・呼吸孔、１５ ａ
、 １５ ｂ −ベローズ、１６・・・呼吸孔。 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- シリンダにはケーシングを、ピストンにはバルブロッド
を取付けると共にケーシング内には上下に弁座を、バル
ブロッドには弁体を設け、バルブロッドを上下させるこ
とにより弁体を上下の弁座と接触させて流体の遮断や制
御を行なうエアー弁において、動作部と弁の部分を流れ
る接液部との間に、２段のベローズによって囲まれた呼
吸孔を有する中間室を設けたことを特徴とする純水供給
用エアー弁。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159584A JPS6152472A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 純水供給用エア−弁 |
| US06/766,295 US4644969A (en) | 1984-08-20 | 1985-08-16 | Water control valve with pneumatic actuator |
| FR8512534A FR2569174B1 (fr) | 1984-08-20 | 1985-08-20 | Distributeur de commande d'eau avec dispositif d'actionnement pneumatique |
| US06/891,338 US4734201A (en) | 1984-08-20 | 1986-07-31 | Deionized water supplying system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159584A JPS6152472A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 純水供給用エア−弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6152472A true JPS6152472A (ja) | 1986-03-15 |
| JPH0261678B2 JPH0261678B2 (ja) | 1990-12-20 |
Family
ID=15926074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17159584A Granted JPS6152472A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 純水供給用エア−弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6152472A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9093872B2 (en) | 2010-10-22 | 2015-07-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Seal oil feeding apparatus of rotating electrical machine |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4874615A (ja) * | 1972-01-07 | 1973-10-08 |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP17159584A patent/JPS6152472A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4874615A (ja) * | 1972-01-07 | 1973-10-08 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9093872B2 (en) | 2010-10-22 | 2015-07-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Seal oil feeding apparatus of rotating electrical machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261678B2 (ja) | 1990-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6257270B1 (en) | Fluid control device | |
| KR102053510B1 (ko) | 처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 제어 방법 | |
| CN208422868U (zh) | 用于处理基板的腔室 | |
| ES2091920T3 (es) | Valvula de control de fluido. | |
| US4644969A (en) | Water control valve with pneumatic actuator | |
| JPS6152472A (ja) | 純水供給用エア−弁 | |
| US3075903A (en) | Method of electrolytically etching a semiconductor element | |
| US4734201A (en) | Deionized water supplying system | |
| KR870003908A (ko) | 유압식 브레이크 배력장치 | |
| JPS6176955A (ja) | 液体試料注入装置 | |
| JP2017180556A (ja) | アクチュエータ | |
| US6186171B1 (en) | Pneumatically driven liquid supply apparatus | |
| JP4069306B2 (ja) | 定流量電磁弁 | |
| JPH11280709A (ja) | 油圧シリンダユニット | |
| JP2001149844A (ja) | 薬液弁 | |
| KR860004242A (ko) | 가역 밀봉형 압축기 | |
| JPH06117559A (ja) | バルブ構造 | |
| JPH06226453A (ja) | 抵抗溶接機 | |
| US2746484A (en) | Three-way rocker valve | |
| US3890998A (en) | Control valve | |
| JPS6257839A (ja) | エアシリンダ及びこれを利用した往復台摺動装置 | |
| US2658519A (en) | Leak valve | |
| JPS634619A (ja) | シリンダ装置 | |
| KR970008059B1 (ko) | 세탁기 급수 밸브의 부싱 구조 | |
| KR870000155Y1 (ko) | 펌프의 자동 공기보급장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |