JPS6152258U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6152258U JPS6152258U JP13758284U JP13758284U JPS6152258U JP S6152258 U JPS6152258 U JP S6152258U JP 13758284 U JP13758284 U JP 13758284U JP 13758284 U JP13758284 U JP 13758284U JP S6152258 U JPS6152258 U JP S6152258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- wire bonding
- xyzθ
- axis
- ball slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
第１図は本考案によるワイヤボンデイングせん
断試験機の実施例を示す正面図、第２図は第１図
はボールスライドテーブルの断面図、第３図は顕
微鏡部を含む第１図の左側面図である。 １…テーブル、２…XYZθテーブル、３…取付
台、４…試料、５…ストツパ、６…プツシヤ、７
…把手、８…ボール、９…ボールスライドテーブ
ル、１０…腕、１１…カツタ、１２…バンド、１
３…置針式テンシヨンゲージ、１４…自在アーム
、１５…顕微鏡、１６…ワイヤボンデイング部、
１７…Ｘ軸把手。
断試験機の実施例を示す正面図、第２図は第１図
はボールスライドテーブルの断面図、第３図は顕
微鏡部を含む第１図の左側面図である。 １…テーブル、２…XYZθテーブル、３…取付
台、４…試料、５…ストツパ、６…プツシヤ、７
…把手、８…ボール、９…ボールスライドテーブ
ル、１０…腕、１１…カツタ、１２…バンド、１
３…置針式テンシヨンゲージ、１４…自在アーム
、１５…顕微鏡、１６…ワイヤボンデイング部、
１７…Ｘ軸把手。
Claims (1)
- 所定の操作によりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびθ方
向に移動可能なXYZθテーブルと、前記XYZθテー
ブル上に搭載されたストツパ、プツシヤおよびプ
ツシヤを移動させるための把手よりなる試料のク
ランプ部と、前記XYZθテーブルに対向した取付
部と、前記取付部上の摺動部にボールを介して搭
載されたボールスライドテーブルと、腕部を介し
て前記ボールスライドテーブルに固定されたカツ
タと、前記取付部上に搭載され、前記腕部の端部
に係合させられた置針式テンシヨンゲージと、前
記試料の付近を拡大視するための顕微鏡とからな
り、前記試料をクランプ部に固定した後、前記XY
Zθテーブルの調整で、前記試料のワイヤボンデ
イング部とカツタ先端を接触させ、前記XYZθテ
ーブルを移動させることにより、前記ワイヤボン
デイング部に加わるせん断力を前記ボールスライ
ドテーブルを介して前記置針式テンシヨンゲージ
に構成したことを特徴とするワイヤボンデイング
せん断試験機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13758284U JPS6152258U (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13758284U JPS6152258U (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6152258U true JPS6152258U (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=30695994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13758284U Pending JPS6152258U (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6152258U (ja) |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP13758284U patent/JPS6152258U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02150102U (ja) | ||
| JPS6152258U (ja) | ||
| JPH0414886Y2 (ja) | ||
| JPH0330431U (ja) | ||
| JPS60191955U (ja) | 剪断密着力測定用試験片の作製用治具 | |
| JPH0353910Y2 (ja) | ||
| JPS63120748U (ja) | ||
| JPH0294039U (ja) | ||
| JPS63180122U (ja) | ||
| JPH037267U (ja) | ||
| JPS61194950U (ja) | ||
| JPS6135779U (ja) | ロボツト用工具クランプ装置 | |
| JPS6276610U (ja) | ||
| JPH01165494U (ja) | ||
| JPH0325138U (ja) | ||
| JPH0290010U (ja) | ||
| JPS6239938U (ja) | ||
| JPH0361337U (ja) | ||
| JPS635300U (ja) | ||
| JPS63120796U (ja) | ||
| JPH0373443U (ja) | ||
| JPS60127541U (ja) | 線状体強度評価治具 | |
| JPS60109004U (ja) | 孔ピツチ検査装置 | |
| JPH02144154U (ja) | ||
| JPH0224361U (ja) |