JPS61502416A - 変換器の懸架装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 変換器の懸架装置 発明の背景 この発明は変換器技術、特に加速度計の様な非常に高性能な変換器に用いる懸架 装置に関するものである。

高性能ポテンシャルの従来の加速度計設計の例が。

ヤコブにより発明され１９７２年１１月７日付で許されこの出願と同一譲受人に 譲渡された米国特許第３．７０２，０７５号明細書（こ記載されている。この設 計は３つの主な構成部分すなわち上下固定子間に支持された保証質量組体から成 っている。保証質量は、屈曲素子を介して外環状支持部材に懸架された可動フラ ッパまたはリードを有する。フラッパと外環状支持部材は一体の融着石英部片と して普通に設けられている。

円弧状コンデンザピックオフ板は金の沈積によってフラッパの上下面に形成され る。更に、上下刃回復またはトルクコイルはフラッパの上下面に取付けられる。

各トルクコイルは円筒形鉄心に巻かれ、フラッパ上に配置されて円筒の縦軸心が 、中心を通って延びる線吉一致し、保証質量組体の頂面および底面に垂直になっ ている。

複数個の取付パッドは、酸食刻して続いて金の様な展性の金属の沈積によって外 環状支持部材の上下面まわりに間隔を置いて形成される。これら接触／ぐ・ノド は装置が組立てられるときに上下固定子に設けられた平面と適合する。

各固定子ははゾ円形で、平面を貫通して孔が設けられでいる。孔内には永久磁石 が容れられている。孔と永久磁石は、保証質量組体のトルクコイルが孔内に嵌合 し永久磁石が円筒形のトルクコイル内に設けられている。従って、各固定子永久 磁石は、対応するトルクフィルを通って流れる電流１で−よって生じられる様に 磁場をもった磁気回路構成をなしている。

また、保証質量組体に上下コンデンサ間・ンクオフ板にでコンデンサを形成する ようつくられたコンデンサ間が固定子の平面上に設けられる。従って、上下固定 子に対するフラッパの動きはフラッパの上下面に形成されたコンデンサ間の異− ンた容量変化にもとづく。

作動において、加速度計装置は観察すべき物体に取付けられる。物体の加速度は 、外環状支持部材と上下固定子に対する振子におけるフラッパの回転変位にもと づく。この変位により生じられる差動容量変化は適宜な回路により検知できる。

回路は従ってトルクコイルに作用されるときに７ラツパを中立位置に戻すような す電流を生じる。フラッパを１回復”するよう必要とされる電流の大きさは加速 度計の加速度１こ直接関連している。

ヤコブの特許明細書に記載される型の加速度計は連結材料の熱膨張係数の不一致 にもとづく熱応力を受けることができる。対称的な形状の固定子の使用は結果の 不都合な熱応力の大半を無効にするようなす。しかし、製造公差と材料の不安定 性は加速度計のフラッパ検知素子を成る程度変形する応力を生じ得る。更に、融 着石英で好適につくられた外環状支持部材を含む保証質量の熱膨張係数は、金属 合金で好適につくられる上下固定子の熱膨張係数よりも一般に小さい。こ〜で、 加速度計の作動温度に亘り、熱応力が保証質量組体と固定子間の接触点に生じら れる。

上述の応力は保証質量の外環状支持部材に伝達される。屈曲部の外環状支持部材 の不完全さは合成ひずみを出力偏向誤差に変換できる。更に、熱応力は保証質量 組体と固定子の界面のクリ・−プと不連続運動に原因する。この様な不都合な動 きは保証質量のひずみを調節し、高い性能利用のために意図された加速度計に十 分な偏倚誤差を生じ得る。

更に、上述の熱応力は固定子永久磁石に関するトルクコイルの動きに起因する。

この様な動きはコイルによりつくられる磁場と永久磁石の間に磁束密度の変化を 生じ得、これによって加速度計の感度を変える。この効果は繰返し可能で、従っ て安定な温度効果のために補償しない装置の誤差の源をなすだけである。

−ヤコブの特許に続いて、上述した熱応力を減少する試みが行われている。例え ば１石英の熱膨張係数に必要に近い熱膨張係数をも−った材料から固定子がつく られ、これによって保証質量組体と固定子間の熱応力を減少する。

この様な改善にも拘わらず、特に非常に高い精度を必要とする加速度計利用にお ける不正確さの源を最小にする装置を見きわめるよう所要されろ。

発明の要約 従って、変換器組体の保証質量と固定子間に生じられる熱誘起される応力を軽減 する懸架装置を提供するよう所要される。

簡単には、この発明に従って、変換器組体は、関連した作動のため１こ支持部材 から懸架された質量素子を有する保証質量と、保証質量を支持する固定子装置を 備えている。取付装置は保証質量を固定子に取付ける。

取付装置は、保証質量と固定子間の機械的連結を設けるよう配置された少なくと も１つの屈曲素子を有する。

屈曲素子の屈曲軸心は保証質量上固定子間のひずみ排除を設けるよう予定して整 列される。

図面の簡単な説明 第１図は従来の加速度計組体の分解した図、第２図はこの発明に従ってつくられ た変換器懸架装置に使用できる屈曲素子の１つの型の斜視図、第６図はこの発明 に従った屈曲素子を用いる改良した固定子の平面図、 第５Ａ図は第６図の構成に用いるべく第２図に示される屈曲素子に代わる屈曲素 子の斜視図７第４図は第３図の固定子に関連して用いられる保証質量組体を示す 図、 第５図は第３，４図の固定予き保証質量組体を用いる組立られた加速度計の断面 図。

第６図は加速度計の作動温度範囲に亘って固定千古固定空間関係にトルクコイル を維持するよう固定子内の屈曲素子の別の位置決めを示す図、 第７図はトルクコイルと磁極片構造の磁束密度特性の熱誘起された変化の温度補 正を設けるよう配置された別の構成の屈曲素子の平面図、 第８図は単一屈曲素子の使用を示す別の構成の固定子の平面図、 第９図は保証質量組体と適合する端部の変位を示す屈曲素子の斜視図、 第１０図は保証質量組体と適合する上下屈曲素子の側面図で、保証質量にトルク を生じる屈曲素子の不整列を示す図、 第１１図は固定子と一体につくられ、保証質】組体と適合する頂面を有した共通 の頂部をせん断する３つの平行なビーム部材を有する別の実施例の斜視図、第１ ２図は緊張下のビーム部材が接触部材を支持し、頂面が保証質量組体と適合して ビーム部材の変位に応答して平行に動く別の構造の屈曲素子の断面図。

第１３図は立方接触部材の懸架を設ける一対の対向するウェブとして形成された 別の構造の屈曲素子の頂面図、 第１４図は立方接触部材の縁部吉接触するウェブが形成された別の構造の屈曲素 子を示す斜視図、第１５図は一連の片持のビーム部材が共通の接触部材に連結す る別の構造の屈曲素子を示す斜視図。

第ｊ６ａ、＋６ｂ図は変換器組体に取付けできる別個の構成部材として形成され た別の構造の屈曲素子を示す図、 第１７図は第１６ａ図の屈曲素子を用いる固定子の頂面図である。

発明の詳細な説明 第１図はヤコブの米国特許第３，７０２，０７５号明細書に示される一般型の加 速度計の分解図である。こ＼で符号１０で示される加速度計は３つの主要な構成 部材、すなわち符号１２で示される保証質量組体と上および下固定子すなわち磁 石装置１４，１６とから構成されている。固定子１４，１６は円形で、保証質量 組体１２と合致するよ・うできる相対する平面１８．２０を有している。孔２２ の様な開口が各固定子１４．ｊ６の中央部に設けられ、中央に設けられたパラメ ータ磁石が中に固定または形成できる。下固定子１６の孔２２は円形パラメータ 磁石２４を受けるよう示されているが、上固定子１４の対応する孔と永久磁石は 図示されていない。

に間隔を置いて孔内に設けられている。加速度計の組立において、電気接触柱２ ６．２８は保証質量組体１２上のパッドと接触するよう電気接続部を設けて゛い る。

保証質量組体１２は、フラッパまたはり−１−”　Ａ　Ｏと一般に呼ばれる質量 素子から成っている。フラッパ６０ははゾ円形で、一対の屈曲素子３４．３６を 介して外環状支持部材３２に連結される。フラッパ５０と外環状支持部材３２と 屈曲素子３４．３６は一体的な融着石英部片として好適に形成される。

円弧状コンデンサピックオフ板５８はフラッパ３０の上面の上の金の沈積による ようにして形成される。

対応するコンデンサピックオフ板（図示しない）はフラッパ６０の下面の外周に 沿って円弧状に延びている。

−Ｉｔのトルクコイル４０．４２がフラッパ３０の上下面に夫々取付けられてい る。＠トルクコイルは円形鉄心上の銅線の多数の巻線から成っている。トルクコ イル４０．４２は、各トルクコイル鉄心の縦軸心が保証質量組体１２の中心を通 って延びる線と一致しフラッパ３０の上下面に対し垂直である。

板３８の様なコンデンサピックオフ板と上下トルクコイル４０．４２への電気接 続部は、外環状支持部材３２に形成された接触パッド４８．５０に屈曲素子３４ 　、５６を越えて延びる薄膜ビックオフリード４４．４６を介して設けられる。

一連の接触パッド５２は、外環状支持部材５２の上面まわりに角度をもった間隔 を置いて設けられている。

対応する接触パッド（図示しない）が支持部材５２の下面に形成されている。接 触パッドは一般に酸食刻により形成される。

加速度計１０の組立にて、保証質量組体１２は３つの持上った石英接触パッド５ ２により形成される接触点にて上および下固定子１４．１６の間に支持される。

一対のコンデンサは組立てられた加速度計１０によって形成される。第１のコン デンサは、上コンデンサピックオフ板３８と上固定子１４の平面１８から成る間 隔を置いたはゾ平行な板を有する。第２のコンデンサは、フラッパ（図示しない ）の下面と下固定子１６の平面２０とに設けられたコンデンサピックオフ板によ って形成される。外環状支持部材３２と上下固定子１４．１６の平面１８．２０ に対するワラ。ツバ５ｏのゆがみはこれら２つのコンデンサの容量の差動変化を 生じる。

また、加速度計の組立は、磁石２４の様な永久磁石と孔２２の様な孔の壁との間 に形成された環状空所内に同軸的に受けられたトルクコイル４０．４２にもとづ いている。

作動にて、加速度計１０は、加速度が決められるべき物体に取付けられる。物体 の加速度は、２つのコンデンサの容量の結果的な差動変化にて外環状支持部材３ ２と固定子１４．１６に対する振動体のフラッパ３゜の回転変位にもとづく。容 量の変化は適宜な検知回路（図示しない）によって検知される。周知のサーボの 様な検知回路はトルクコイル４０．４２の巻線に流れる電流を生じる。この電流 は、永久磁石２４の様な固定子永久磁石との組合せにて静止位置に対してフラッ パ６０を１回復”するようなす力を生じる磁場にもとづく。この電流は加速度計 の加速度に直接関連し、この様に加速度読取をなすよう使用できる。

先に述べた様に、第１図の従来の加速度計設計は保証質量組体１２と上下固定子 １４．１６間の熱誘起される応力とゆがみにもとづくひずみと不安定さを受けろ 。

例えば、石英の保証質量組体１２の熱膨張係数は、市販の合金インバー（Ｉｎｖ ａｒ　）の様な合金で通常つくられる固定子１４．１６よりも小さい。従って、 保証質量組体１２と固定子１４．１６間の熱応力は加速度計の作動範囲に亘って 生じられる。

パッド５２を介して伝達される上述した熱応力は外環状支持部材３２をゆがめる ようになす。このゆがみは、サーボ検出器回路（図示しない）により検知される コンデンサピックオフ板変位を生じる。サーボ検出器回路はトルクコイル４０． ４２を介して電流を生じるこきに応答し、これによりフラッパ３０を再位置決め する。この位置変化は、加速度計出力に偏向ずれ誤差電流を生じる対向するモー メントを屈曲素子５４ｊ６が生じるようなす。

史に、この様な応力はトルクコイル４０．４２と、磁石２４の様な固定子磁石の 磁極片さの間の不整列を生じることができ、これによって加速度計の感度を変え る。

この発明は、屈曲素子と協同する懸架装置の使用を介して熱誘起されるフラッパ 固定子応力を除去する装置を提供するものである。更に、屈曲素子は地震負荷に 対する保証質量の強固な支持を設ける。第２図は、こ＼ではビーム部材７０から 成る屈曲素子の様な推奨実施例を示す。ビーム部材７０は好適には加速度側の上 下固定子に、例えば各固定子の一体部分として形成され、固定子と保証質量組体 の間の機械的接触を設ける。構成方法に拘りなく、ビーム部材７０はｚ軸内の柱 状負荷を支持するよう設計され、ビ・−ム部材７０の上面を含む平面内にてＸ軸 心に沿って作用された力に対し屈曲され１、他方Ｘ軸に沿って作用された力に対 して比較的強固である。

融着石英や金属合金インバーの様な均質材料の特性は、熱応力に応答して全ての 方向に等しく膨張するこ七である。熱膨張は、運動の側部構成成分のない基準点 から直接放射方向に放れて動くよう材料の与えられる点を生じる。この発明は、 全くの放射方向運動による各ビーム部材屈曲Ｘ軸を整列することによってこの特 長の使用をなす。Ｘ軸と直交する強固なＹ軸は、純粋な熱膨張の存在中にひずみ なく完全に残っている。

ビーム部材７０の様なビーム部材をとれば、Ｘ軸内にて非常に強固で、２つ以上 のビーム部材のＸ軸の交点が固定された安定点、すなわち保証質量組体と固定子 がこの安定点で直接に接触すること＼個別に保証質量組体と固定子間に相対運動 のない点を形成する。

後述される様に、ビー・ム部材７０の様なビーム部材は、以下に説明される目的 のために単一の選ばれた点で屈曲Ｘ軸が交叉する様な形状に設けられる。従って 。

この点は保証質量組体と固定子間の固定の安定な点をなすが、ビーム部材は熱誘 起されたゆがみを補償するようＸ軸に沿って直接に変形するよう自由である。

第６図は固定子平面の平面図で、この発明の懸架装置の一実施例を示す。この固 定子は第１図に就いて説明した型の加速度計に使用するために特に設計される。

固定子８０は、市販合金のインバーの様な高い磁気透過性をもち且つ小さい熱膨 張係数を示す型の合金から好適に機械加工され、持」二った外環状部８２と持上 ったコンデンサ板部８４を有する。コンデンサ板部８４は円弧状で、第４図に示 される型の保証質量組体のコンデンサ板部己整列すべくつくられている。

固定子８０は、円形孔８８内に同軸に設けられる磁極片８６を有する。上述した 第１図の構成ｌこよる様に、固定子８０は、保証質量組体のトルクコイル（図示 しない）が孔８８の壁と磁極片８６の間に受けられてトルクコイルの縦軸心が磁 極片８６の縦軸心と一致するよ′うに設計されている。

２つの切欠部９ｊ　、９３が外環状部８２の周方向に間隔を置いた予定の場所に 形成されている。ビーム部材９４．９６は外環状部８２の高さにて切欠部９１． ９３の上に延びている。各ビーム部材９４．９６は、パッド１３２が外環状部８ ２と接触する点９８にて屈曲Ｘ軸が交叉するよう設計されている。更に、各ビー ム部材９４．９６は図示されるようＹ軸と、紙面の外に延びるＸ軸に沿った作用 される力に対して強固であるよう設計されている。

この様なこの発明の推奨実施例にて、ビーム部材９４．９６は電子放出機によっ て外環状部８０に形成されている。しかし、ビーム部材９２．９４を形成する他 の装置がこの発明の範囲内にあることが理解されるべきである。

第６Ａ図はこの発明の１つの構成にて形成される各ビーム部材９４．９６の斜視 図である。この構成にて、各固定子は直径が２．２２２ｃｍ　（０，８７５イン チ）で、深さが０．７６７ｃｒｎ（０，５０２インチ）で、インバーの様な市販 の金属でつくられている。対応する保証質量組体（第４図）は直径が２．２２２ α（ｏ、ａ　ｙ　ｓインチ）で、厚さが０．７６２１（０，０３０インチ）で、 融着石英からつくられている。

各ビーム部材は高さｈが０．６８６α（０，２ｙ　ｏインチ）で、短辺部Ｘ＋カ ０．２０１ｃｍ（０，０７９イン＋　）　Ｔ：長辺部ｘ２が０．２２９ｃｍ　（ ０，０９０インチ）で半径ｒがｏ、ｏ　２２ｃＩｎ（０，００８５インチ）で幅 Ｗが口。０４５α（０，０１ｙインチ）である。

第４図は、第５図の固定子８０に使用すべくつくられた保証質量１１０である。

保証質量１１０は融着石英から好適につくられ、外環状支持部材１１２とフラッ パ１１４とを有する。フラッパ１１４は一対の屈曲部１１６．１１８を介して外 環状支持部材１１２内にヒンジ止めされている。金の沈着によって好適につくら れた円弧状のコンデンサピックオフ板１２０はフラッパ１１４の上に形成される 。同様なコンデンサピックオフ板（図示しない）がフラッパ１１４の反対側に形 成される。コンデンサピックオフ板１２０への電気接続は、支持部材１１２に設 けられた接触パッド１２６゜１２８への屈曲素子１１６，１１８の表面に沿って 延びる薄膜リード１２２　、１２４を介してつくられる。６つの持上ったパッド １５１，１３２，１３３が支持部材１１２の上に間隔を置いた場所に設けられて いる。これらパッド１３１．１５２，１５３は金の様な展性金属の沈積に続いた 酸食刻によって好適につくられる。パッド１３１，１５２゜１３３は第３図に示 される様に固定子８０の対応するビーム部材９４．９６と安定な点９８とで接触 すべく設けられている。

好適には、パッド１３１，１３３と対応するビーム部材９４．９６は、固定子の 中心１ζ近接したこれら部材の間の接触点がコンデンサピックオフ板１２０の重 心１４０を通って延びる線上に位置するように配置されている。

１９８１　年２月１７日付で許されてこの出願と同一譲受人に譲渡された米国特 許第４，２５０，７５７号明細書に記載される様に、保証質量１１０と第６図の 固定子８゜の如き固定子の間に接触点を配置することによって、固定子間の環状 支持部材１１２の固着にもとづく偏倚誤差を減少できる。好適には、この特許に 従って、リード１２２．＋　２４の部分は重心１４０の決定に含まれる０ 更に、パッド１３２と安定な点９８は、固定子８０の中心を通って延び且つ他の 接触点を通って延びる線と交叉する線上に位置される。

第５図は、第３図に従って形成された固定子２００゜２０２を有する加速度計組 体と第４図に従ってつくられた保証質量２０４の断面図である。図示される様に 、固定子２００，２０２　と保証質量２０４の間の接触点は、固定子２００，２ ０２　に形成されたビーム部材２２０，２２２と、保証質量２０４の上下面に形 成された持上ったパッド２２４．２２６の間の界面にて達成される。同様な接触 構成がビーム部材の別の組と対応する持上ったパッド（図示しない）との間に存 在する。最終接触点は、保証質量２０４の上下面の持上ったパッド２５０，２３ ２と、固定子２００，２０２の固定点位置の整列した接点２３４．２３６との間 の界面に達成される。

作動にて、第５図の加速度計は保証質量２０４と固定子２００．２０２間の熱膨 張係数の違もにもとづく熱応力を受け、ビーム部材２２ｏ、２２２は保証質量２ ０４の応力を低減する具合にＸ軸（第６図参照）に沿っ′ＣＣ接接変形よう。パ ッド２５０．２３２と接点２５４，２！ｓ６の間の接点はしかし固定されたま＼ である。地震負荷により生じる固定点まわりのモーメントはＹ軸（第６図参照） に直接沿ったビ・−ム部材２２０，２２２の剛さすなわちかたさにもとづき抵抗 される。従って、懸架装置は熱誘起される応力に対する最大補償を設けると共１ こ、いずれの方向の地震負荷に対する保証質量の強固な支持を設ける。補償は先 端温度におけるパッドビーム界面の応力を減少し、これによってクリープと滑り のためのポテンシャルを減少する。屈曲ビーム部材２２０゜２２２が保証質量２ ０４に側負荷を与えないので、ビーム部材２２０，２２２が熱応力により変形さ れるききに、熱誘起される誤差に対する加速度計の感度は従って低減される。

この懸架装置によって設けられる安定な固定点の位置は屈曲ビーム部材の位置や 数に無関係であることが注意されよう。更に、この固定点は屈曲ビーム部材の軸 心の方向だけの作用として固定される。従って、この懸架装置は種々な作用を設 けるべく種々の形状に適合できる。

第６，７図は第１図に概略水される型の加速度計ｌこ使用する懸架装置の２つの 実施例を示す。図示されるだけの固定子形状にて、各固定子の屈曲ビーム部材と 適合するよう接触パッド位置の再配置によって変更される第４図に示される型の 対応する保証質量組体が完成される装置に必要なことが理解される。

第６図は３つの屈曲ビーム部材２５１，２５２，２５５を有する固定子２５０の 平面図である。ビーム部材２５１゜２５３の屈曲軸心は、固定子２５０の表面の 中心２５５１従って磁極片２５４の縦軸心、を通って延びる第１の線」二に在る 。ビーム部材２５２の屈曲軸心は、固定子２５０の中心２５５を通って延び第１ の線と交叉する第２の線上に整列する。この実施例において、磁極片２５４の中 心が固定の安定な点であっても、磁極片は対応するトルクコイル（図示しない） 内に同軸に間隔を置いて維持されるようなり、これによって熱応力により生じら れる磁極片とトルクコイル間の不整列効果極片さトルクコイル間の磁気回路関係 の変化は実質的に減少される。

ビーム部材のＸ軸が中心２５５と整列されている間は固定子２５０上のいずれの 位置にもビーム部材２５１〜２５３を位置するこさによって同一の作用が得られ ることが理解されるべきである。例えば、固定子２５０の別の実施例にて、第１ −第３の屈曲ビーム部材２５１゜２５３は、上述した様に偏倚誤差を減少するよ う関連した保証質量組体のコンデンザ板の重心を通って延びる線上に位置させる ようできる。

第７図は固定子２６０の第２の別の実施例を示す。

こ＼では５つの屈曲ビーム部材２６１，２６２，２６５は、固定子２６０の境界 面の外側にあって”自由浮動”をなす点２６４にてビーム部材の屈曲軸心が集ま るように設けられている。加速度計装置の温度が上がるときに、磁極片２６６の 様な磁極片上対応するトルクコイル（図示しない）の間の環状間隙内の磁束密度 が減少することがみられる。減少した磁束密度は加速度計感度すなわち目盛係数 の増加の原因きなる。この不都合な磁束密度温度特性を補正するために、磁極片 ２６６が増加温度により矢印２７０ではゾ示される方向の制限された動きを表わ すように固定点２６４が選ばれる。。

これは対応するトルクコイルに係わる磁極片２６６の再配置、従って磁束密度の 変化にもとづいている。注意深い設計によって、固定点２６４の選択ｊこもとづ く磁極片の再配置により生じられる磁束密度変化と５力の中心およびフラッパの 有効ヒンジ点間のモーメントの対応する変化は、磁気間隙内の磁束密度のＡＡ度 特性にもとづく磁束変化の実質的な補正をなすよ・うできる。

この様に、第７図の実施例は磁束特性および加速度計の感度（目盛係数）の自己 温度補正を設ける。

また、上述した様に偏倚誤差を減少するよう関連した保証質１組体（図示しない ）のコンデンザ板ビックオフ板の重心を通って延びる線上に第１−第６ビーム部 材２６１．２６３が位置されることが注意されよう。

第８図は単一屈曲素子を用いる変換器組体構造を示す平面図である。固定子６０ ２と整列した保証質量組体３００が図示される。保証質量組体３００の−・対の 持上ったパッド３０４，５０６は固定子３０２の対応する面と適合する。固定子 ３０２内に形成された単一・の屈曲素子５１０はビーム部材古して固定子５０２ 内に一体的に形成される。ビーム部材ずなわち屈曲素子６１０は矢印５１２によ り示される屈曲軸心を有する。屈曲軸心３１２は、保証質量組体３００と固定子 ５０２の重心３１４と整列される。保証質量組体３０口内に形成されたパッド５ １６はビーム部材３１０の頂面と接触している。

第８図の単一屈曲素子構造においては、交叉する２つの屈曲部材の屈曲軸心がな いのだから、先に説明した構成の様に固定された安定点は形成されない。・しか し、単一屈曲ビーム部材３１０は、保証質量組体５００と固定子３０２間に発生 した応力とひずみを最小にして加速度計誤差を減少するよう保証質量組体３００ と固定子３０２間に生じた熱応力に応答して屈曲ｒる。

第９図は、一端にて取付けられた固定子４０４と保証質量組体（図示しない）の 接触パッドの間の応力を除去するよう屈曲軸心４０２に沿ったビーム部材４０口 の屈曲を示す第５．５，６，７．８図に関シ１．て上述した様なビーム部材型屈 曲素子の斜視図である。ビー・ム部材４ＤＯの頂面４０４は間隔δ屈曲されて角 度θ回動して示される１、ビーム部材４００の変位δは頂面４０４が回動するよ うなした状態をもたらす。保証質量ツク・ノド（図示しない）はこの回動にて平 衡するトルクを生じるのを防止する。この平衡トルクは保証質量パ・ノドの頂面 と適合する対向ビーム部材（図示しない）により生じられる等しい対向トルクに よって平衡にされる。

下ビーム部材４００と保証質量パッド（図示しない）の上ビーム部材（図示しな い）によって作用される対向するトルクの不平衡は保証質量の変位を生じ、対応 する変換器出力誤差を生じることがある。

第１０図は対向するビ・−ム部材の使用により生じられる変換器誤差の別の源を 示す。こ＼で断面で示される下ビーム部材４１０は下の固定子４１２から上方に 突出し、保証質１組体４１８の下面４１６と適合する。

上ビーム部材４２０は上の固定子４２２から下方に突出し、保証質量組体４１８ 上のパッドの上面４２６と適合する面４２４を有している。組立てにては、緊締 力が固定子４１２，４２２間に作用され、これによって矢印４３０，４３２によ り示される様にビーム部材４１０゜４２０に予荷重による圧縮力が生じられる。

ビーム部材４１０，４２０の縦軸心は間隔ｄずれて示されている。

この不整列によって矢印４４０で示されるトルクが保証質量組体４１８１こ作用 する。時間または温度における予荷重の変化にて保証質量組体におけるトルク値 が変化し、これによって対応する変換器誤差を生じる。

第１１乃至１６図に示される様な屈曲素子の種々の実施例は第９，１０図に就い て検討された問題を解決するよう設計される。

第１１図は屈曲素子の別の構成を示している。こ＼で、符号５００が付けられた 屈曲素子は固定子５０２内に一体につくられる。屈曲素子５００は３つの予定さ れた間隔を置いた平行なビーム部材５０４，５０５，５０６で・つくられている 。ビーム部材５０４〜５０６はビーム部材の主面に垂直になった軸心５０８に沿 って屈曲するよう設計されている。ビーム５０４〜５０６は屈曲軸心５ｏａ（’ ；交ヌする２つの主軸心にて強固である。

ビーム部材５０４〜５，０６は固定子５０２内の溝から上方に突出し、共通の頂 部部材５１０に接合される。頂部部材５１０は頂面５１２を有する。頂面５１２ は保証質量接触パッド（図示しない）の下戸と係合する。

対応する屈曲素子（図示しない）は、保証質量接触パッド（図示しない）の上面 と接触するよう上固定子（図示しない）から下方に突出して設けられている。

第１１図の屈曲素子５００の特異な特長は、共通の部材５１０の頂部５１２が屈 曲軸心内のビーム部材５０４〜５０６の変位において保証質量パッド（図示しな い）の対向する面と実質的に平行に維持されることである。この様に、第１１図 の屈曲素子は保証質量組体内の最小トルクと合成回転変位を誘起する。更に、広 い表面の頂面５１２と幅広い間隔のビーム部材５０４゜５０６は、保証質量組体 パッドの下屈曲素子５００と上屈曲素子（図示しない）間の軸方向不整列にもと づき保証質量組体に作用されるトルクを最小にする。

従って、第１１図の構成は屈曲素子の変化またｉｉ軸方向不整列により生じられ る変換器組体の誤差を低減する。

第１２図は別の構成の屈曲素子の断面図である。こ＼では、溝６００が固定子６ ０２に形成される。第１゜第２ビ・−ム部材６０４，６０６は固定子６０２の頂 面６０８にて取付けられ、溝６００の底部に向って垂直（こ突ＩＪｊする。ビー ム部材６０４，６０６は単一軸心、こ＼で（ま矢印６１０で示される、内にて屈 曲す・〈（設計されて（７する。

ビーム部材６０４，６０６の突出する端部は大体立方形の接触部材６１２の端部 に取付けられる。接触部材６１２は従ってビーム部材６０４，６０６１こより溝 ６００内に垂下される。接触部材６１２の上面６１４（ま保証質量接触パッド（ 図示しない）の下面と接触係合する。

これは接触部材６１２の上面６１４に矢印６１６で示される下向きの力を生じる 。完全な構成にて、保証質量組体接触パッドの上面と適合する同様な対向する接 触部材が上固定子に設けられるこ吉が理解されよう。

第１１図の実施例による様に、接触部材６１２の上面６１４は、保証質量組体に 誘起されるトルクを減少または除去するように屈曲軸心６１０に沿・つたビーム ６０４．６０６の変位における保証質量接触パッドと平行に整列している。更に 、支持ビームの幅広い分離に沿った接触部材６１２の広い而の頂面Ａ１４は、上 固定子（図示しない）の接触部材６１２と対応する対向接触部材間の軸方向不整 列により生じられる保証質量組体におけるトルクを減少する。

第１２図に示される実施例の別の特長は、先に説明した様にビーム部材に作用さ れる圧縮力に対向するようビーム部材６０４．６０６が引張下にあることである 。

従って、第１２図の設計にてはビーム部材６０４，６０６が圧縮下にて受けると きのビーム部材６０４，６０６の座屈における全てのポテンシャルを除去する。

下向きの力（矢印６１６）の増加は、柱状構造におけるよう不安定性を生じるよ りも構造的安定性を増大すべくなす。

第１３図は符号７００で示される屈曲素子の別の構造の頂面図である。固定子７ ０４の頂面７０２の部分断面が示される。はゾ立方形の溝７０６が固定子７０４ の頂面７０２を貫いて切込まれている。４゛っのウェブ７０８〜７１１は固定子 ７０４と一端にて一体にされ、残りの端部にて溝７０６内に突出している。ウェ ブ７０８・−７１１は接触部材７１２と適合し一体にな、っている。

接触部材７１２ははり立方形で、溝７０６内の接触部材７１２のまわりに隙間が あるような寸法をなしている。図示される様に、各ウェブ７０８〜７１１は接触 部材７１２の中間面に取付けられる。ウェブ７０８〜７１１は７１４で示される 軸心に沿って屈曲すべく設計されている。・ウェブ７０８〜７１１は屈曲軸心７ １４と交叉する各軸心内にて同様ｌこ比較的強固である。屈曲軸心７１４は上述 した様に予定された点で整列される。

接触部材７１２の上面７１６は保証質量組体パッド（図示しない）と接触係合丈 るようつくられている。

同・−の保証質量接触パッドの頂面は符号７００で示される様に対応する屈曲素 子に係合し、′Ｃいる１、固定子と保証質量の・−緒の緊締は接触部材７１２の 上面７１６に力を作用し、ウェブ７０８〜７１１にぜん断力として伝える。この 様に、第１５図の屈曲素子７０口は、ビーム部材が圧縮予荷重を受ける他の説明 した実施例におけるように圧縮座屈を受けない。

ウェブ７０８〜７１１が屈曲軸心７１４に沿って短かい間隔変位するときに、接 触部材７１２の頂面７１６は保証質量組体の対応する接触パッドと保合状態を維 持する。この様に、屈曲素子７００は保証質量組体に誤差発生トルクを誘起しな い。この様に、上固定子の対向する屈曲素子の対応する面に沿った負荷支持部材 の比較的幅広い間隔と、接触部材７１２の上面７１６の大きな面は、２つの屈曲 素子間の軸方向不整列にもとづき保証質量１ご誘起されるトルクを最小にするよ う作動する。

第１４図は、第１３図に示される屈曲素子と同様な、符号７５０で示される屈曲 素子の別の実施例を示している。第１４図は溝７５４が設けられた固定子７５２ の一部の斜視図である。一対のウェブ７５６，７５８は溝７５４の端壁と一体で 連結している。溝７５４は断面はゾル形で、ウェブ７５６　、７５８が矩形の両 側に沿って突出して対角線隅部にて固定子７５２に連結されている。ウェブ７５ ６，７５８の突出端部は立方形接触部材７６０の対角線隅部に取付けられている 。

ウェブ７５６　、７５８は矢印７６２により示される軸心内にて屈曲するように 構成されている。ウェブ７５６゜７５８は屈曲軸心７６２と交叉する軸心に沿っ て同様に強固である。

接触部材７６０は頂面７６４が保証質量組体（図示しない）の接触パッドの下面 と接触係合するようできる。保証質量接触パッドの上面は上固定子（図示しない ）に設けられた接触部材の対応実る面に接触係合する。

固定子７５２と保証質量組体（図示しない）の間の応力を釈放するよう屈曲軸心 ７６２に沿ったウェブ７５６．７５８の変位は接触部材７６０にモーメントを生 じない。また、接触部材７６０の頂面７６４は保証質量組体の接触パッドと平行 な接触係合状態にある。この様に、変位する接触部材７６０から保証質量に誤差 誘起トルクを連結しない。更に、負荷支持部材の幅広い間隔と接触部材７６０の 土面７６４の大きな表面さ上固定子の対応する対向した屈曲素子とにもとづいて 、接触部材の軸方向不整列にもとづく保証質】組体に連結したモーメントは最小 または除去される。

第１５．１４図に示される両実施例によって、保証質量組体の剛さが接触部材７ １２，７６０の傾動を防上することが注意されるべきである。また、第１５．１ ４図の各実施例が対応する固定子７０４，７５２に切欠溝孔１こよって形成でき ることが理解されよう。従って、第１３゜１４図の実施例は適宜な切断装置によ って形成できる。

第１５図は符号８０２が付けられた屈曲素子が一体的に形成された固定子８００ の一部の斜視図である。

固定子８００の頂面８０４を通ってはゾル形の溝８０６が形成される。溝８０６ の最内端の壁から８つのビーム部材８１１〜８１８が突出している。この発明の この実施例にて、ビーム部材８１１〜８１８は固定子８００と一体に形成される 。ビーム部材８１１〜８１８は予定の間隔を置いて隔た＼り平行に整列している 。ビーム部材８１１〜８１８は二重矢印８２０により示される軸心内に屈曲され 、屈曲軸心８２０と交叉する軸心内に同様に比較的強固である。

ビーム部材８１１〜８１８の突出端部に接触部材８２２が一体に取付けられる。

接触部材８２２ははゾ形が立方体で、接触部材８２２と溝８０６の側壁の間に隙 間があるように形成されている。

接触部材８２２は、保証質量組体（図示しない）に設けられた接触パッドの下面 と適合するよう配置された頂部８２４を有する。接触パッドの１１１面は、屈曲 素子８０２．Ｊ：同様な屈曲素子が上固定子（図示しｌ、−い）１こ形成された 屈曲素子と接触係合状態１こある。

ビ・−１・部材８１１〜８１８は屈曲軸心８２０１ζ泊−って変位し、保証質量 組体と固定子８００の間に生じられる応力を除去する。この変位は、保証質量組 体上の接触パッドと平行に接触係合整列して頂部８２４を維持する接触部材８２ ２の回転を生じない。更に、接触部材８２２の頂面８２４の面積は十分に幅広く 、頂部８２４と上固定子屈曲素子の対応する頂部の間の軸方向の不整列が保証質 量組体に十分な不整列トルクを生じないように十分に隔っている。第１５図に示 される実施例の屈曲素子８０２は、屈曲素子と保証質量組体の間を連結したトル クにより誘起される変換器内の誤差を最小にする。

第ｔ６ａ、＋６ｂ図は、保証質ｆｌ：（！：固固定子軸屈曲取付部を設けるよう 変換器組体内に取付けできる個別の部材として形成された屈曲素子の別の構成を 示す。第１６ａ図は、一端が円形台部？０２己一体になり他端が円形頂部９０４ と一体になった単一ビーム部材９００を示す。台部９０２は台９０６に取付けら れて図示される。ビーム部材９００は軸心９１０に沿って屈曲されて軸心９１０ と交叉する軸心１こ沿って同様ｔこ強固であるよう形成される。

第１６１）図は、一対の平行な予定の間隔を置いて隔ったビーｔ、部材９２０， ９２２を用いる屈曲素子の別の構成の斜視図である。ビーム部材９２０，９２２ は、共には＼゛円形頂部９２４と底部９２６さ一体１こなっている。

頂部９２４と底部９２６は円形の台９２８に増付けられる。ビート部材９２０， ９２２は軸心９３０に治って屈曲されて軸心９３０と交叉する軸心に沿って同様 に強固であるよう形成されている。

第１７図は第１６ａ、１６ｂ図１こ示される屈曲素子のいずれかの固定子組体へ の使用を示す。こ＼（こ頂部図に示される様に、固定子９５０の一部は予定位置 に円形溝９５２　、９５４を有している。溝９５２，９５４の直径は第１６ａ　 、　１６ｂ図に示される屈曲素子の頂底部９０２，９０４゜９２４．９２６より も大きい。これら屈曲素子のいずれも溝９５２，９５４内にて受けることができ 、台９０６，９２８が円形状溝９５２，９５４の台部に固着されるようなる。

各構成屈曲素子は符号９６０で示される予定点と屈曲軸心が整列されるように回 転される。第１６ａ、ＩＡｂ図に示される構成屈曲素子の頂部９０４，９２４の 頂面は保証質量組体（図示しない）に設けられる接触パッドと保合状態に配置さ れる。

２つのビーム部材９２０，９２２を用いる第ｔ６ｂ図の実施例が、屈曲軸心に沿 ったビー１１部材９２０．９２２の変位が頂部９２４の頂面の回転を生じないの だから第ｆ６ａ図の単一ビーム屈曲素子により生じられる上回様に屈曲素子己保 証質素組体間の誤差誘導モーメンｊ−を減少することが理解されよう。この様に 、頂部９２４の頂部は保証質量組体の接触パッドと平行な接触係合状態に維持さ れよう。

また、上下固定子の屈曲素子間の軸方向の不整列が保証Ｉｔ！ｔｇＬ組体内に誤 差誘起トルクを生じないように第１６ｂ図に示される構成屈曲素子のビーム部材 ９２０゜９２２間の間隔が十分幅広いことが好適である。

固定予き、保［ｔＥ質量組体外環状支持部材、屈曲軸心と交叉する軸心内の屈曲 素子が全て非常に強固であることが想像されるこきがこの発明の上述した種々の 推奨実施例に関連して当業者により理解されよう。実際に、これら構成部材の各 々が無限以下の強固さを示すので、与えられた装置における屈曲素子の実際の整 列と合成した安定点が理論的な無数１こ強固な仮定した場合よりも僅か１こ異っ ていて、この様な設計の違いもこの発明の範囲内に十分１こある。

更１こ、特別なビーム部材の寸法と屈曲素子内のビー１、部材の数が、Ｘ軸心内 の所要の順応と交叉するｙ、ｚ軸心内の強固さを含む幾つかの設計要因の関数と 、ビーム部材が形成されて異った利用のために変わる材料の物理的特性であるこ 吉が当業者には理解されよう。

要約すれば、変換器すなわち加速度組の改良された懸架装置が説明されている。

Ｗ−架装置は所要のひずみ応答を設けるよう容易に適合できる。

この発明の推奨実施例が詳細に説明されるＬ共に、この発明の真の鞘神と範囲内 １こおいて多くの変更、Ｊ：変形が可能である。

補正書の翻訳文提出書く特許法第１８４条の７第１項）昭和６１年　２月１０日

Claims (57)

【特許請求の範囲】
1. １．関連して動くべく支持部材から垂下した質量素子を有する保証質量、 保証質量を支持する固定子装置、 固定子装置に保証質量を取付ける取付装置、を備え、保証質量と固定子装置の隣 接点間に機械的連結を設けるよう位置された少なくとも１つの屈曲素子を取付装 置は有し、保証質量と固定子装置間にひずみ解放を設けるよう予定した整列され た屈曲軸心を屈曲素子が有している変換器組体。
2. ２．保証質量支持部材と質量素子が一体装置であり、固定子装置が上および下固 定子を有している請求の範囲第１項記載の変換器組体。
3. ３．質量素子が、関連した振子運動のための外環状支持部材から垂下したフラッ パである請求の範囲第１項記載の変換器組体。
4. ４．質量素子が、関連した振子運動のための外環状支持部材から垂下したフラッ パである請求の範囲第２項記載の変換器組体。
5. ５．取付装置は複数個の屈曲素子を有し、各屈曲素子は保証質量と固定子装置の 予定された隣接点間に機械的連結を設け、屈曲軸心が予定点で交叉して該点が保 証質量と固定子装置間の相対的安定点となるように各屈曲素子が設けられ、これ によって該安定点以外の全ての隣接点にて熱応力のような転換にもとづき保証質 量および固定子装置間に相対運動を設けるよう屈曲素子が変形する請求の範囲第 １項記載の変換器組体。
6. ６．取付装置は複数個の屈曲素子を有し、各屈曲素子は保証質量と固定子装置の 予定された隣接点間に機械的連結を設け、屈曲軸心が予定点で交叉して該予定点 が保証質量と固定子装置間の相対的安定点となるように各屈曲素子が設けられ、 これによって該安定点以外の全ての隣接点にて熱応力のような転換にもとづき保 証質量と固定子装置間に相対運動を設けるよう屈曲素子が変形する請求の範囲第 ２項記載の変換器組体。
7. ７．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心内にて実質的に強固で、これによって 安定点まわりの保証質量と固定子装置間のモーメントに抵抗するようなす請求の 範囲第５項記載の変換器組体。
8. ８．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心内にて実質的に強固で、これによって 安定点まわりの保証質量と固定子装置間のモーメントに抵抗するようなす請求の 範囲第６項記載の変換器組体。
9. ９．取付装置は一対の屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が保証質量と固定 子装置間の予定された接触点で交叉するよう設けられ、これによって該予定点が 保証質量と固定子装置間の相対的安定点であるよう屈曲素子の変形により保証質 量と固定子装置間の熱誘起される応力が解放される請求の範囲第１項記載の変換 器組体。
10. １０．取付装置は一対の屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が保証質量と固 定子装置間の予定された接触点で交叉するよう設けられ、これによって該予定点 が保証質量と固定子装置間の相対的安定点であるよう屈曲素子の変形により保証 質量と固定子装置間の熱誘起される応力が解放される請求の範囲第２項記載の変 換器組体。
11. １１．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心に沿った力に対して実質的に強固で 、これによって安定点まわりの保証質量と固定子装置間のモーメントに抵抗する ようなす請求の範囲第９項記載の変換器組体。
12. １２．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心に沿った力に対して実質的に強固で 、これにより安定点まわりの保証質量と固定子装置間のモーメントに抵抗するよ うなす請求の範囲第１０項記載の変換器組体。
13. １３．質量素子は表面に設けられたコンデンサ板ピックオフ部を有し、一対の屈 曲素子がコンデンサ板部の重心を通って延びる線上に配置された請求の範囲第９ 項記載の変換器組体。
14. １４．質量素子は表面に設けられたコンデンサ板ピックオフ部を有し、一対の屈 曲素子がコンデンサ板部の重心を通って延びる線上に設けられた請求の範囲第１ ０項記載の変換器組体。
15. １５．保証質量は質量素子の両側に設けられたトルクコイルを有し、固定子装置 はトルクコイルと同軸に整列された磁極片を有する上および下固定子を備え、取 付装置は複数個の屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が各磁極片の縦軸心を 通って延びるように設けられ、これによってトルクコイルが、保証質量と固定子 装置間の熱誘起される応力にも拘わらず磁極片と実質的に整列して維持される請 求の範囲第１項記載の変換器組体。
16. １６．保証質量は質量素子の両側に設けられたトルクコイルを有し、固定子装置 はトルクコイルと同軸に整列された磁極片を有する上および下固定子を備え、取 付装置は複数個の屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が各磁極片の縦軸心を 通って延びるように設けられ、これによってトルクコイルが、保証質量と固定子 装置間の熱誘起される応力にも拘わらず磁極片と実質的に整列して維持される請 求の範囲第２項記載の変換器組体。
17. １７．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心内にて案質的に強固で、これにより 磁極片の縦軸心まわりの保証質量と固定子装置間の応力モーメントに抵抗するよ うなす請求の範囲第１５項記載の変換器組体。
18. １８．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心内にて実質的に強固で、これにより 磁極片の縦軸心まわりの保証質量と固定子装置間の応力モーメントに挺抗するよ うなす請求の範囲第１６項記載の変換器組体。
19. １９．３つの屈曲索子を有している請求の範囲第１７項記載の変換器総体。
20. ２０．３つの屈曲素子を有している請求の範囲第１８項記載の変換器総体。
21. ２１．３つの屈曲素子を有し、２つの屈曲素子は各磁極片の縦軸心を通って延び る第１の線上に位置され、第３の屈曲素子は、各磁極片の縦軸心を通って延びて 第１の線と交叉する第２の線上に位置されている請求の範囲第１５項記載の変換 器総体。
22. ２２．３つの屈曲素子を有し、２つの屈曲素子は各磁極片の縦軸心を通って延び る第１の線上に位置され、第３の屈曲素子は、各磁極片の縦軸心を通って延びて 第１の線と交叉する第２の線上に位置されている請求の範囲第１６項記載の変換 器組体。
23. ２３．３つの屈曲素子を有し、２つの屈曲素子は各磁極片の縦軸心を通って延び る第１の線上に位置され、第３の屈曲素子は、各磁極片の縦軸心を通って延びて 第１の線と交叉する第２の線上に位置されている請求の範囲第１７項記載の変換 器組体。
24. ２４．３つの屈曲素子を有し、２つの屈曲素子は各磁極片の縦軸心を通って延び る第１の線上に位置され、第３の屈曲素子は、各磁極片の縦軸心を通って延びて 第１の線と交叉する第２の線上に位置されている請求の範囲第１８項記載の変換 器組体。
25. ２５．３つの屈曲素子を有し、質量素子は表面に設けられたコンデンサ板部を有 し、２つの屈曲素子はコンデンサ板部の重心を通って延びる線上に位置されてい る請求の範囲第１７項記載の変換器組体。
26. ２６．３つの屈曲素子を有し、質量素子は表面に設けられたコンデンサ板部を有 し、２つの屈曲素子はコンデンサ板部の重心を通って延びる線上に位置されてい る請求の範囲第１８項記載の変換器組体。
27. ２７．保証質量は質量素子の両側に設けられたトルクコイルを有し、固定子装置 はトルクコイルに対して予定配置された磁極片を有する上および下固定子を備え 、磁極片とトルクコイルは既知の磁束密度温度特性を示し、取付装置は複数個の 屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が予定された基準点を通って延びるよう 配置され、トルクコイルと磁極片間の熱誘起される相対運動が磁束密度温度特性 を補正するように基準点が選ばれる請求の範囲第１項記載の変換器組体。
28. ２８．保証質量は質量素子の両側に設けられたトルクコイルを有し、固定子装置 はトルクコイルに対して予定配置された磁極片を有する上および下固定子を備え 、磁極片とトルクコイルは既知の磁束密度温度特性を示し、取付装置は複数個の 屈曲素子を有し、各屈曲素子は屈曲軸心が予定された基準点を通して砥びるよう 配置され、トルクコイルと磁極片間の熱誘起される相対運動が磁束密度温度特性 を補正するように基準点が選ばれる請求の範囲第２項記載の変換器組体。
29. ２９．各屈曲素子は屈曲軸心に交叉する軸心に沿った作用される力に対して実質 的に強固で、これにより基準点まわりの応力モーメントに抵抗する請求の範囲第 ２７項記載の変換器組体。
30. ３０．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心に沿って作用される力に対して実質 的に強固で、これによって基準点まわりの応力モーメントに抵抗する請求の範囲 第２８項記載の変換器組体。
31. ３１．３つの屈曲素子を有する請求の範囲第２７項記載の変換器組体。
32. ３２．３つの屈曲素子を有する請求の範囲第２８項記載の変換器組体。
33. ３３．３つの屈曲素子を有し、質量素子はコンデンサ板部が表面に設けられ、２ つの屈曲素子がコンデンサ板部の重心を通って延びる線上に配置された請求の範 囲第２９項記載の変換器組体。
34. ３４．３つの屈曲素子を有し、質量素子はコンデンサ板部が表面に設けられ、２ つの屈曲素子がコンデンサ板の重心を通って延びる線上に配置された請求の範囲 第３０項記載の変換器組体。
35. ３５．各屈曲素子は固定子に設けられたビーム部材として形成され、パッドがビ ーム部材と適合するよう保証質量環状支持部材の予定場所に形成された請求の範 囲第２項記載の変換器組体。
36. ３６．屈曲素子が固定子装置と一体に形成された請求の範囲第１項記載の変換器 組体。
37. ３７．屈曲素子は、台部と頂部とこれら台部および頂部に接合されたビーム部材 とを有する構成部片として形成され、ビーム部材は第１の軸心内にて屈曲しこの 第１の軸心と交叉する軸心内にて比較的強固で、ビーム部材の屈曲軸心が予定点 で整列して頂部の頂面が保証質量と機械的連結を形成すべく配置されるように屈 曲素子構成部片を受けて固着する装置を固定子装置が有している請求の範囲第１ 項記載の変換器組体。
38. ３８．屈曲素子は一端が固定装置に固着され他端には機械的連結を形成すべく保 証質量と係合する頂面を有し、屈曲素子は、屈曲軸心に沿った屈曲素子の変形を 越えて保証質量と平行な接触係合に頂面を維持する装置を有している請求の範囲 第１項記載の変換器組体。
39. ３９．取付装置屈曲素子は予定の間隔で隔った第１、第２のビーム部材を有し、 各ビーム部材は保証質量と固定子装置間のひずみ除去を設けるよう屈曲軸心が予 定して整列され、ビーム部材は保証質量と適合する共通の頂面を有し、頂面が屈 曲軸心に沿ってビーム部材の変形と保証質量の対向する面とほぼ平行に残ってい る請求の範囲第１項記載の変換器組体。
40. ４０．固定子装置は保証質量の両側と整列緊着された上下固定子を有し、取付装 置は保証質量と各固定子間の機械的連結点を形成する複数個の屈曲素子を有し、 保証質量と下固定子間の連結点を形成する対応する屈曲素子とほぼ整列した保証 質量と上固定子間の連結点を各屈曲素子が形成し、屈曲素子の頂面は対応する屈 曲素子の軸方向不整列にもとづき保証質量に与えられるトルクが最小になるよう に予定された面積を有している請求の範囲第３９項記載の変換器組体。
41. ４１．屈曲素子が上下固定子と一体的に形成された請求の範囲第４０項記載の変 換器組体。
42. ４２．各屈曲素子は３つの予定の間隔を置いた平行なビーム部材でつくられ、ビ ーム部材は固定子と保証質量間の連結面を頂面が形成する共通の頂部部材を有し 、各ビーム部材は予定点と整列した屈曲軸心を有し且つ屈曲軸心と交叉する軸心 に沿った作用される力に対し比較的強固である請求の範囲第４０項記載の変換器 組体。
43. ４３．各屈曲素子は台部と頂部とこれら台部および頂部に連結した予定の間隔を 置いた第１、第２のビーム部材とを有する構成部片として形成され、ビーム部材 の屈曲軸心が予定点と整列されて頂部の頂面が固定子および保証質量間の連結面 を形成するように屈曲素子構成部片を受けて固着する溝が各上下固定子に設けら れた請求の範囲第４０項記載の変換器組体。
44. ４４．保証質量は適合する面に対して接触係合するよう固定子装置に取付けられ 、固定子装置は適合する面に設けられた予定の形状の溝を有し、取付装置は少な くとも１つの屈曲素子を備え一端が固定子に固着され他端が固定子の溝内に下方 に突出し、屈曲素子の突出端に固着され溝内に懸架された接触部材を有し、接触 部材の頂面が保証質量と係合して機械的連結を固定子装置と保証質量間に形成で き、保証質量と接触部材の係合作用にて予定の引張力を屈曲素子に生じる請求の 範囲第１項記載の変換器組体。
45. ４５．保証質量は適合する面に対して接触係合するよう固定子装置に取付けられ 、固定子装置は適合する面に設けられた予定の形状の溝を有し、取付装置は固定 子の側壁に一端が固着された少なくとも１つの屈曲素子を有し、屈曲素子の他端 は溝内に突出し、屈曲素子の突出端に固着されて溝内に懸架された接触部材を有 し、接触部材の頂面が保証質量と係合して固定子装置と保証質量間に機械的連結 を形成している請求の範囲第１項記載の変換器組体。
46. ４６．取付装置は複数個の屈曲素子を有し、各屈曲素子は一端が固定子溝の側壁 に固着され突出する他端が接触部材に固着された請求の範囲第４５項記載の変換 器組体。
47. ４７．接触部材は立方体で、各屈曲素子が中間面部分にて接触部材に取付けられ た請求の範囲第４６項記載の変換器組体。
48. ４８．接触部材が立方体で、各屈曲素子が縁辺にて接触部材に取付けられた請求 の範囲第４６項記載の変換器組体。
49. ４９．保証質量は適合する面に対して接触係合するよう固定子装置に取付け、固 定子装置は適合する面に設けられた予定した形状の溝を有し、取付装置は複数個 の屈曲素子を有し、各屈曲素子は一端が溝の側壁に固着され他端が固定子の溝内 に突出し、屈曲素子は予定の間隔を置いて隔てられて予定の点と整列された各屈 曲素子の屈曲軸心と平行に設けられ、溝内に接触部材を懸架すべく複数個の屈曲 素子の突出端に接触部材が固着され、接触部材の頂部が保証質量と係合して固定 子装置と保証質量間に機械的連結を形成している請求の範囲第１項記載の変換器 組体。
50. ５０．保証質量、支持部材、支持部材に対して変形できるように支持部材から保 証質量を懸架する装置、固定子、相対的安定点が支持部材および固定子間に予定 の隣接の接触点にて達成されるように固定子に支持部材を取付ける取付装置を備 え、相対運動が残りの支持部材と固定子隣接点間に許される変換器組体。
51. ５１．取付装置は複数個の屈曲素子を有し、支持部材と固定子間に機械的連結を 屈曲部材が設け、各屈曲部材の屈曲軸心が安定点を通って延びている請求の範囲 第５０項記載の変換器組体。
52. ５２．各屈曲素子は屈曲軸心と交叉する軸心に沿った作用される力に対して比較 的強固である請求の範囲第５１項記載の変換器組体。
53. ５３．保証質量、外環状支持部材に対して揺動すべく外環状支持部材から懸架さ れ外環状支持部材と一体的装置をなし突出する予定配置されたパッドを有するフ ラッパ素子、フラッパ素子の両側に取付けられた一対のトルクコイル、保証質量 を両側に支持する上下固定子を備え、各固定子はトルクコイルと磁気回路形状に 整列された磁極片を有し、固定子は形成された複数個のビーム部材を有し、各ビ ーム部材は１つの屈曲軸心を有すると共に屈曲軸心と交叉する軸心に沿った力に 対して実質的に強固で、予定の基準点を通って延びる屈曲軸心をもつ環状支持部 材上の対応するパッドと係合すべく各ビーム部材が配置され、ビーム部材の変更 による保証質量と固定子間の熱誘起される応力を除去し且つ予定基準点まわりの モーメントを除去するよう基準点が選ばれる変換器組体。
54. ５４．熱誘起されるひずみに対する最大順応と地震負荷に対する保証質量の強固 な支持とを設けるべく基準点が環状支持部材上に予定配置されるようにビーム部 材が配置される請求の範囲第５３項記載の変換器組体。
55. ５５．トルクコイルの縦軸心が磁極片の縦軸心と一致し、基準点が一致する軸心 上に配置されるようにビーム部材が配置され、保証質量と支持部材間の熱誘起さ れる応力に拘らずトルクコイルが磁極片と整列維持される請求の範囲第５３項記 載の変換器組体。
56. ５６．トルクコイルと磁極片間の熱誘起される磁束変化を補正するために温度変 化によってトルクコイルと磁極片間に予定の動きを生じるべく基準点が配置され るようビーム部材が配置された請求の範囲第５３項記載の変換器組体。
57. ５７．各ビーム部材の頂点は環状支持部材パッドと係合し、屈曲軸心内のビーム 部材の変形における環状支持部材パッドと平行な接触係合に頂面を維持する装置 をビーム部材が有している請求の範囲第５３項記載の変換器組体。