JPS6144843U - 清浄部品の搬送機 - Google Patents

清浄部品の搬送機

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JPS6144843U
JPS6144843U JP12963884U JP12963884U JPS6144843U JP S6144843 U JPS6144843 U JP S6144843U JP 12963884 U JP12963884 U JP 12963884U JP 12963884 U JP12963884 U JP 12963884U JP S6144843 U JPS6144843 U JP S6144843U
Authority
JP
Japan
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moving
arm
cylinder
moves
clean parts
Prior art date
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Pending
Application number
JP12963884U
Other languages
English (en)
Inventor
忠康 大沢
Original Assignee
海上電機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で第１図は正
面図第２図は側面図第３図は水平方向の移動機構の説明
図である。 １・・・アーム、２・・・容器、３・・・垂直移動機構
用構造体、４・・・チェーン、５・・・電動機、６・・
・駆動ギヤ、７・・・従動ギャ、８・・・スプロケット
、９・・・錘、１０・・・枠体１３の突起、１１・・・
垂直軸、１２・・・ストッパー、１３・・・水平移動機
構用枠体、１４・・・垂直軸受、１５・・・水平移動軸
、１６・・・無軸シリンダー、１７・・・ピストン、１
８・・・可動子、１９・・・連結部材、２０・・・水平
軸受、２１・・・エアチューブ、２２，２３・・・スト
ッパー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 清浄部品を収納した容器を上方に釣支するアームと、該
    アームを上下方向に移動させる移動手段と該アームを水
    平方向に移動させる移動手段を有し、該アームを水平方
    向に移動させる手段は水平に載置したシリンダと該シリ
    ンダ内を流体圧で移動する遊動子と該遊動子と磁気的に
    係合して前記シリンダ上を移動する移動体から成り、前
    記アームを上下方向に移動させる移動手段は前記シリン
    ダを挟持する枠体に係合していることを特徴とする清浄
    部品の搬送機。
JP12963884U 1984-08-27 1984-08-27 清浄部品の搬送機 Pending JPS6144843U (ja)

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JP12963884U JPS6144843U (ja) 1984-08-27 1984-08-27 清浄部品の搬送機

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JP12963884U JPS6144843U (ja) 1984-08-27 1984-08-27 清浄部品の搬送機

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Publication Number Publication Date
JPS6144843U true JPS6144843U (ja) 1986-03-25

Family

ID=30688254

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JP12963884U Pending JPS6144843U (ja) 1984-08-27 1984-08-27 清浄部品の搬送機

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5884435A (ja) * 1981-11-13 1983-05-20 Hitachi Ltd ウエ−ハ搬送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5884435A (ja) * 1981-11-13 1983-05-20 Hitachi Ltd ウエ−ハ搬送装置

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