JPS6144583A - 圧力平衡型操作装置 - Google Patents
圧力平衡型操作装置Info
- Publication number
- JPS6144583A JPS6144583A JP59162673A JP16267384A JPS6144583A JP S6144583 A JPS6144583 A JP S6144583A JP 59162673 A JP59162673 A JP 59162673A JP 16267384 A JP16267384 A JP 16267384A JP S6144583 A JPS6144583 A JP S6144583A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- operating
- pressure
- operating device
- bellows
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Control Devices (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の目的〉
本発明は圧力差のある容器の隔壁を貫通して操作を行な
う圧力平衡量操作装置に関する。
う圧力平衡量操作装置に関する。
従来このような圧力差、例えば真空容器や圧力容器の内
外とか、水中にあるカプセルや艦艇等で内部は大気圧で
外部は強大な水圧がかかつている場合圧力差が大きいた
めに隔壁を貫通して機械的操作をするためには、内外の
圧力差だけの圧力が一方向にかがっているので、この圧
力差に対抗するだけの強力な機械的操作が必要である。
外とか、水中にあるカプセルや艦艇等で内部は大気圧で
外部は強大な水圧がかかつている場合圧力差が大きいた
めに隔壁を貫通して機械的操作をするためには、内外の
圧力差だけの圧力が一方向にかがっているので、この圧
力差に対抗するだけの強力な機械的操作が必要である。
このため機械構造が強大となる欠点がある。
本発明はこのような欠点を丈解決するためになされたも
ので、圧力差を平衡させる圧力平衡量操作装置全提供す
るものである。
ので、圧力差を平衡させる圧力平衡量操作装置全提供す
るものである。
〈発明の構成〉
ｌａ１図は本発明の第１の実施例を示す構造図で、真空
容器の外部から操作するもので、真空容器５の内部には
操作を受ける対象物８が置いてあり、外部からはガラス
窓６全通して観察出来るようになっている。真空容器５
には操作部７が固定しである。この操作部７には一直線
をなす両列側に蛇腹構造の可動筒（以下ベローズという
）１．１’の固定端が気密に固着してあり、これらのベ
ローズの他の自由端には１本の操作環２が貫通して気密
封止しである。操作部７の内部で上記操作環２には腕３
が固着してあり、この腕３には操作軸４より自由に操作
軸の先端を移動させることが出来る。さらに回動可能に
気密封止しておけば、操作軸４全回動させることも出来
る。
容器の外部から操作するもので、真空容器５の内部には
操作を受ける対象物８が置いてあり、外部からはガラス
窓６全通して観察出来るようになっている。真空容器５
には操作部７が固定しである。この操作部７には一直線
をなす両列側に蛇腹構造の可動筒（以下ベローズという
）１．１’の固定端が気密に固着してあり、これらのベ
ローズの他の自由端には１本の操作環２が貫通して気密
封止しである。操作部７の内部で上記操作環２には腕３
が固着してあり、この腕３には操作軸４より自由に操作
軸の先端を移動させることが出来る。さらに回動可能に
気密封止しておけば、操作軸４全回動させることも出来
る。
＠２図は第１図の場合の変形であり、ベローズ１及び１
′は固定端（対して自由端は操作部７の内側に向ってお
り、両方の自由端が接触して、この点が操作環の接続点
となっているもので、織べ諷へ＼Ｘ＼Ｎ＼Ｎ＼＼べ＼更
にこの操作環はベローズの固定端の位置ですべり軸受に
なっており、直線運動の例になっている。
′は固定端（対して自由端は操作部７の内側に向ってお
り、両方の自由端が接触して、この点が操作環の接続点
となっているもので、織べ諷へ＼Ｘ＼Ｎ＼Ｎ＼＼べ＼更
にこの操作環はベローズの固定端の位置ですべり軸受に
なっており、直線運動の例になっている。
第３図は本発明の第２の実施例を示す図で、−直線上に
ない２本の操作環を有するものである。
ない２本の操作環を有するものである。
この２本の操作環２，２′の容器内の先端は軸９により
枢支された操作板１０と軸ｉｉ 、 ｕ’によってそれ
ぞれ軸９をはさむ反対側で枢支されている。この場合軸
９と軸１１及び軸９と軸１１′との間の距離は同一であ
る。さらにこの操作板１０には操作ｔｉ１１４が固着し
である。
枢支された操作板１０と軸ｉｉ 、 ｕ’によってそれ
ぞれ軸９をはさむ反対側で枢支されている。この場合軸
９と軸１１及び軸９と軸１１′との間の距離は同一であ
る。さらにこの操作板１０には操作ｔｉ１１４が固着し
である。
なお２本の操作環２，２／が操作部の壁面を貫通する部
分のベローズの構造は第１図の場合と同様である。
分のベローズの構造は第１図の場合と同様である。
この実施例では例えば操作環２ｔ−押し込めば操作板１
０が軸９を支点として回動じ、したがって操作環２Ｉは
操作環２の押込み量と同じだけ外方に突出して来て操作
軸は第３図では反時計方向に軸９を中心にして回動する
。
０が軸９を支点として回動じ、したがって操作環２Ｉは
操作環２の押込み量と同じだけ外方に突出して来て操作
軸は第３図では反時計方向に軸９を中心にして回動する
。
第４図は第３の実施例を示す図で、本実施例は例えば水
中カプセル内で操作をしてカプセル外の水中にある物体
を保持するなどの場合である。図ではカプセル５１の一
部に２個所の突出ｉ５’−１が設けてあり、それぞれに
第１図の外方に突出したベローズ及び＠２図の内方に突
出したベローズが一組となって設けてあり、これらのベ
ローズの自由端には一定長の支持棒１２が固着して両ベ
ローズが常に同一方向に同一量だけ移動するようになっ
ている。
中カプセル内で操作をしてカプセル外の水中にある物体
を保持するなどの場合である。図ではカプセル５１の一
部に２個所の突出ｉ５’−１が設けてあり、それぞれに
第１図の外方に突出したベローズ及び＠２図の内方に突
出したベローズが一組となって設けてあり、これらのベ
ローズの自由端には一定長の支持棒１２が固着して両ベ
ローズが常に同一方向に同一量だけ移動するようになっ
ている。
この支持棒１２には把手棒１３が固着してあり、これの
操作で支持棒１２の先端部１２−ＩＴｈ自由に動かすこ
が出来る。
操作で支持棒１２の先端部１２−ＩＴｈ自由に動かすこ
が出来る。
なお前記２個所の突出部５Ｉ−１にそれぞれ設けた上記
支持棒１２は互に対向するように設けられである。
支持棒１２は互に対向するように設けられである。
このような構造であるので、２本の把手棒１３ｔ−操作
することにより、前記２本の支持棒１２でカプセル外の
水中の物体１４を挟持することが出来る。
することにより、前記２本の支持棒１２でカプセル外の
水中の物体１４を挟持することが出来る。
第５図Ｖｉ第４の実施例を示す図で、本実施例は例えば
真空容器内の半導体ウエノ・−の探針計測などの場合の
ＸＹ２軸操作による探針計測の例である。真空容器５の
側面に設けた操作部７には第２図の場合のように内ｆＩ
ＩＪＩＣ突出したベローズ１，１！が一直線上に設けで
ある。ただし第２図の場合と異シ、上記ベローズ１′の
自由端は螺合しており、それぞれの自由端にＹ軸操作板
１６及びＸ軸操作板１５が枢支しである。これらの操作
板１５ 、１６の間には中間ベローズ１７及びばね１８
が設けである。それぞれｏ操作板１５及び１６には内側
に腕１５−１．１６−１が設けてあり、この先端にＸ軸
操作桿１９及びＹ軸操作桿美が設けである。さらＫこれ
らの操作環、１９及び加の先端には１枚の回転板４を枢
支してあシ、この回転板２１ＪＣは先端に探針を有する
探針軸ｎが固定しである。
真空容器内の半導体ウエノ・−の探針計測などの場合の
ＸＹ２軸操作による探針計測の例である。真空容器５の
側面に設けた操作部７には第２図の場合のように内ｆＩ
ＩＪＩＣ突出したベローズ１，１！が一直線上に設けで
ある。ただし第２図の場合と異シ、上記ベローズ１′の
自由端は螺合しており、それぞれの自由端にＹ軸操作板
１６及びＸ軸操作板１５が枢支しである。これらの操作
板１５ 、１６の間には中間ベローズ１７及びばね１８
が設けである。それぞれｏ操作板１５及び１６には内側
に腕１５−１．１６−１が設けてあり、この先端にＸ軸
操作桿１９及びＹ軸操作桿美が設けである。さらＫこれ
らの操作環、１９及び加の先端には１枚の回転板４を枢
支してあシ、この回転板２１ＪＣは先端に探針を有する
探針軸ｎが固定しである。
一方前記Ｘ軸操作板１５には前記ベローズ１′の中心線
を通って外方に筒状の軸を有するＸ軸操作）・ンＦル田
が設けられてあシ、Ｙ軸操作板１６にはこれと螺合しか
つ上記操作ハント°ルβの筒状の軸の中心部を貫通して
その外側まで延伸したＹ軸回転ハンドル冴が設けである
。このような構造であれば探針の移動はそれぞれのハン
ドルを廻して行ない、探針のＹ方向の移動はＹ軸回転ハ
ンドル冴を回転させればＹ軸操外板１６とＸ軸操外板１
５との間の距離が変り、これに応じて回転板２１はＸ０
ＩＩ操作桿１９上の点を支点として回動し、これに固定
された探針軸はＹ軸方向に動作する。
を通って外方に筒状の軸を有するＸ軸操作）・ンＦル田
が設けられてあシ、Ｙ軸操作板１６にはこれと螺合しか
つ上記操作ハント°ルβの筒状の軸の中心部を貫通して
その外側まで延伸したＹ軸回転ハンドル冴が設けである
。このような構造であれば探針の移動はそれぞれのハン
ドルを廻して行ない、探針のＹ方向の移動はＹ軸回転ハ
ンドル冴を回転させればＹ軸操外板１６とＸ軸操外板１
５との間の距離が変り、これに応じて回転板２１はＸ０
ＩＩ操作桿１９上の点を支点として回動し、これに固定
された探針軸はＹ軸方向に動作する。
〈発明の効果〉
以上の各実施例に示すように各操作環もしくは操作ハン
ドルはその変位に伴い一方のベローズが圧縮されれば、
これと同じ変移量で他方のベローズが伸長するので双方
の変移量に応じた体積変化は相殺されて常に一定の体積
を保持する。したがってここに作用している圧力も相殺
されて容器の内外の圧力差による圧力の影響は全く生じ
ない。
ドルはその変位に伴い一方のベローズが圧縮されれば、
これと同じ変移量で他方のベローズが伸長するので双方
の変移量に応じた体積変化は相殺されて常に一定の体積
を保持する。したがってここに作用している圧力も相殺
されて容器の内外の圧力差による圧力の影響は全く生じ
ない。
このことにより従来圧力差が大きいほど強大な操作部＃
を必要としてい九のに対し、本発明の操作装電は圧力差
を全く考慮せずに被操作物の重父のみに応じた装置で良
いので、装置の小形化や操作の容易性の確保など実用効
果は極めて大きい。
を必要としてい九のに対し、本発明の操作装電は圧力差
を全く考慮せずに被操作物の重父のみに応じた装置で良
いので、装置の小形化や操作の容易性の確保など実用効
果は極めて大きい。
第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図は第１
図の変形の実施例を示す平面図、第３図は本発明の第２
の実施例を示す平面図、第４図は本発明の第３の実施例
を示す平面図、第５図は本発明の第４の実施例を示す平
面図である。 １・・・・・・ベローズ、 １′・・・・・・ベロー
ズ、 ２・・・・・・操作環、 ２／・・・・・・
操作環、 ７・・・・・・操作部、１０・・・・・・
操・外板、 １２・・・・・・支持棒、 １５・山・・
Ｘ軸操外板％ １６・・・・・・Ｙ軸操外板、 １７・
・・・・・中間ベローズ、 １９・・・・・・Ｘ軸操作
桿、 加・・川・Ｙ軸操作桿、２１・・・・・・回転板
、 ｎ・・・・・・探針軸、 乙・・印・Ｘ軸操作ハン
ドル、 ヌ・・・・・・Ｙ軸回転ハンドル。 １ ””” −”′ニ ー７′・ 代理人 弁理士 石 戸 冗、・［゛・）： □− 雰１圏 寥２Ω 箋３房
図の変形の実施例を示す平面図、第３図は本発明の第２
の実施例を示す平面図、第４図は本発明の第３の実施例
を示す平面図、第５図は本発明の第４の実施例を示す平
面図である。 １・・・・・・ベローズ、 １′・・・・・・ベロー
ズ、 ２・・・・・・操作環、 ２／・・・・・・
操作環、 ７・・・・・・操作部、１０・・・・・・
操・外板、 １２・・・・・・支持棒、 １５・山・・
Ｘ軸操外板％ １６・・・・・・Ｙ軸操外板、 １７・
・・・・・中間ベローズ、 １９・・・・・・Ｘ軸操作
桿、 加・・川・Ｙ軸操作桿、２１・・・・・・回転板
、 ｎ・・・・・・探針軸、 乙・・印・Ｘ軸操作ハン
ドル、 ヌ・・・・・・Ｙ軸回転ハンドル。 １ ””” −”′ニ ー７′・ 代理人 弁理士 石 戸 冗、・［゛・）： □− 雰１圏 寥２Ω 箋３房
Claims (4)
- （１）内外に圧力差のある容器の隔壁を貫通して操作を
行なう操作装置において、一端を前記隔壁に固着し、他
端を前記容器の外側もしくは内側の何れか一方から操作
する操作桿に封着した蛇腹構造の可動筒を２個所に設け
、前記２個の操作桿は前記容器内で互に反対方向にかつ
同一移動量の運動をすべく連動してなる圧力平衡型操作
装置 - （２）第１項記載の圧力平衡型操作装置において、前記
操作桿と前記可動筒との封着が固着である前記圧力平衡
型操作装置。 - （３）第１項記載の圧力平衡量操作装置において、前記
操作桿と前記可動筒との封着が前記操作桿の軸方向には
一定位置で、かつ回動可能である前記圧力平衡型操作装
置。 - （４）第１項記載の圧力平衡型操作装置において、前記
操作桿と前記可動筒との封着が螺合である前記圧力平衡
型操作装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59162673A JPS6144583A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 圧力平衡型操作装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59162673A JPS6144583A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 圧力平衡型操作装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144583A true JPS6144583A (ja) | 1986-03-04 |
Family
ID=15759111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59162673A Pending JPS6144583A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 圧力平衡型操作装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144583A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS589290U (ja) * | 1981-07-13 | 1983-01-21 | 株式会社東芝 | レ−ザ切断装置 |
| US8912715B2 (en) | 2011-12-26 | 2014-12-16 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Spark plug |
| WO2015068436A1 (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-14 | 三菱重工業株式会社 | マニピュレータ |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP59162673A patent/JPS6144583A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS589290U (ja) * | 1981-07-13 | 1983-01-21 | 株式会社東芝 | レ−ザ切断装置 |
| US8912715B2 (en) | 2011-12-26 | 2014-12-16 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Spark plug |
| WO2015068436A1 (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-14 | 三菱重工業株式会社 | マニピュレータ |
| US9701029B2 (en) | 2013-11-08 | 2017-07-11 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Manipulator |
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