JPS6144372A - Apparatus for testing logical lsi - Google Patents

Apparatus for testing logical lsi

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JPS6144372A
JPS6144372A JP59164966A JP16496684A JPS6144372A JP S6144372 A JPS6144372 A JP S6144372A JP 59164966 A JP59164966 A JP 59164966A JP 16496684 A JP16496684 A JP 16496684A JP S6144372 A JPS6144372 A JP S6144372A
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JP
Japan
Prior art keywords
lsi
output
signal
switch
logic
Prior art date
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Pending
Application number
JP59164966A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryuichi Takagi
隆一 高木
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6144372A publication Critical patent/JPS6144372A/en
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Abstract

PURPOSE:To enhance the accuracy of a function test while preventing the cross talk between input and output signal pins, by providing a switch in the vicinity of the output pin of logical LSI to be tested and coupling a tester and the above described logical LSI through this switch. CONSTITUTION:MOS switches 4a, 4b... are provided in the vicinity of the terminal provided to the peripheral edge of an IC socket 2 in which logical LSI1 to be tested is inserted. Signal wires 5a, 5b... each comprising a coaxial cable are connected between the terminal 3 and an LSI tester 6 through the MOS switches. The signal wire 5b connected to the input terminal of the comparator 7 in the LSI tester 6 is connected to the output pin of LSI 1 but, because the MOS switch 4b is turned ON after an output signal becomes stable, the abrupt change in the current in an output circuit is suppressed and the generation of cross talk caused by the mutual inductance between the signal wires can be prevented and erroneous operation in a function test is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] この発明は、論理集積回路のテスティング技術に関し、
例えばCMO5−LSI  (相補型MO3からなる大
規模集積回路)のテスティングを行なう装置に利用して
有効な技術に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a testing technology for logic integrated circuits.
For example, the present invention relates to a technique that is effective when used in a device for testing CMO5-LSI (large-scale integrated circuit consisting of complementary MO3).

[背景技術] 論理ゲート回路の組合せを基本構成とするような論理L
SIでは、LSIが所望の品質レベルに達しているか否
か検査するため、ファンクション゛デスト(機能試験)
や動作マージンテストが行なわれる。その場合、従来は
LSIテスタと呼ばれる装置と、ICソケットに挿入さ
れた論理LSIとを同軸ケーブル等からなる信号線で結
合し、テスタから論理LSIの各入力ピンに適当なバイ
ナリデータからなるテスト信号を入れる。そして、その
ときの出力を監視して評価することにより、信号の動作
マージンを測定したり、内部の論理ゲート回路に故障が
あるか否かを診断していた。
[Background technology] Logic L whose basic configuration is a combination of logic gate circuits
In SI, function testing is performed to check whether the LSI has reached the desired quality level.
and operational margin tests are performed. In that case, conventionally, a device called an LSI tester and a logic LSI inserted into an IC socket are connected through a signal line such as a coaxial cable, and a test signal consisting of appropriate binary data is sent from the tester to each input pin of the logic LSI. Put in. By monitoring and evaluating the output at that time, the operating margin of the signal was measured and whether or not there was a failure in the internal logic gate circuit was diagnosed.

ところが、ICソケットとテスタを結合する信号線は比
較的長く1通常100Ω程度の低抗を有していることが
多い、そのため、試験されるLSIがTTL回路やEC
L回路のようなバイポーラトランジスタからなる回路に
より植成されている場合には、出力回路の駆動能力が比
校的高いため負荷の大きな信号線を介してテスタに接続
してもそれほど問題はない、これに対し、CMOS −
LSIのように出力回路の駆動能力の低く、しかもEC
L回路に比べて信号の振幅が大きなLSIのテスティン
グを行なう場合には、出力信号が大きく変動すると出力
信号線間に挟まれたり隣接している入力信号線との間で
クロストークが発生し。
However, the signal line connecting the IC socket and the tester is relatively long and often has a low resistance of about 100Ω.
If the output circuit is implanted with a circuit made of bipolar transistors such as an L circuit, the driving ability of the output circuit is relatively high, so there is no problem even if it is connected to the tester via a heavily loaded signal line. On the other hand, CMOS-
The output circuit has low driving ability like LSI, and EC
When testing an LSI whose signal amplitude is larger than that of an L circuit, if the output signal fluctuates significantly, crosstalk may occur between output signal lines or adjacent input signal lines. .

入力信号にノイズがのってファンクションテストで誤動
作を生じる。また、信号の過渡時に出力回路に非常に大
きな電流が流れて内部の電源電圧が変動し、クロストー
クと同じような現象が生じたり、内部の入力回路の論理
シュレッショールド電圧が変化してしまい、その結果正
確なファンクションテストや動作マージンテストが行な
えなくなるという問題点があった。
Noise is added to the input signal, causing malfunctions during function tests. Also, during signal transients, a very large current flows through the output circuit, causing the internal power supply voltage to fluctuate, causing a phenomenon similar to crosstalk, and changing the logic threshold voltage of the internal input circuit. As a result, there was a problem in that accurate function tests and operation margin tests could not be performed.

特に最近は、LS’Iの多ピン化が進んでおり。Especially recently, the number of pins of LS'I is increasing.

一つのLSIが数百ものピンを有することがある。One LSI may have hundreds of pins.

このようなピン数の多い論理LSIで、一度に数十ある
いは数百の出力ピンのレベルが変化されると、入力ピン
との間でクロストークが発生し易くなる。また、ピン数
が多いほど信号線が長くなり。
In such a logic LSI with a large number of pins, if the levels of dozens or hundreds of output pins are changed at once, crosstalk with input pins is likely to occur. Also, the more pins there are, the longer the signal line will be.

負荷が大きくなるという不都合がある。さらに、最近の
LSIは、高速化のため出力特性が改善され、出力信号
の変化が急峻されるようになってきているので、ますま
すクロストークが発生し易くなる。(LSIテスタつい
ては、例えば雑誌「電子材料J 1981年11月別冊
、第193頁〜198頁参照) [発明の目的] この発明の目的は、論理LSIのテスティングにおいて
、入出力信号ピン間のクロストークの発生を防止して、
ファクションテストの精度を向上させることにある。
This has the disadvantage that the load increases. Furthermore, in recent LSIs, output characteristics have been improved to increase speed, and changes in output signals have become steeper, making crosstalk more likely to occur. (For information on LSI testers, see, for example, the magazine "Electronic Materials J, November 1981 special issue, pages 193 to 198.") [Object of the Invention] The purpose of the invention is to prevent cross-crossing between input and output signal pins in testing logic LSIs. Preventing talk from occurring,
The purpose is to improve the accuracy of faction tests.

この発明の他の目的は、論理LSIのテスティングにお
いて、正確な動作マージンテストを行なえるようにする
ことにある。
Another object of the present invention is to enable accurate operational margin testing in testing logic LSIs.

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴に
ついては1本明m書の記述および添附図面から明かにな
るであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

[発明の概要コ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、下記のとおりである。
[Summary of the Invention] Representative inventions disclosed in this application will be summarized as follows.

すなわち、vX、験される論理LSIが挿入されるソケ
ットの各端子の近傍にスイッチを設け、このスイッチを
介してソケットとLSIテスタとを信号線で結合させ、
入力ピンに接続された信号上のスイッチは常時導通状態
にさせておくとともに。
That is, a switch is provided near each terminal of the socket into which the logic LSI to be tested is inserted, and the socket and LSI tester are connected via the switch with a signal line.
The switch on the signal connected to the input pin should always be in a conductive state.

出力ピンに接続された信号線上のスイッチは通常はオフ
状態にさせておいて、出力信号の変化が落ち着いた後で
オンさせて出力状態をLSIテスタに伝えるようにする
ことによって、出力信号が変化するときの負荷を減らし
てLSI内の出力回路に大きな電流が流れ掬いようにす
るとともに、電流が急激に変化しないようにしてクロス
トークの発生よおび内部電源電圧の変動を防止し、これ
によってファクションテストおよび動作マージンテスト
の精度を向上させるという上記目的を達成するものであ
る。
The output signal changes by normally leaving the switch on the signal line connected to the output pin in the off state, and turning it on after the change in the output signal has calmed down to transmit the output state to the LSI tester. At the same time, the load on the LSI is reduced to prevent a large current from flowing to the output circuit in the LSI, and the current does not change suddenly to prevent crosstalk and fluctuations in the internal power supply voltage. This achieves the above objective of improving the accuracy of action tests and operational margin tests.

[実施例] 第1図は1本発明に係るLSIテスト装置の一実施例を
示すものである。
[Embodiment] FIG. 1 shows an embodiment of an LSI test device according to the present invention.

CMOSゲートアレイのような論理LSI1が差し込ま
れたICソケット2の周縁に設けられている端子3,3
.・・・・の近傍には、それぞれディスクリート部品か
らなるスイッチ用のMOSFET(絶縁ゲート型電界効
果トランジスタ、以下MOSスイッチと称する)4a、
4b、・・・・が設けられ、このMOSスイッチ4a、
4b、・・・・を介して同軸ケーブル等からなる接続用
の信号線5 a +5b、・・・・が各端子3,3L・
・・・に接続されている。イコ号線5a、5b、・・・
・の他端は、LSIテスタ6に結合されている。
Terminals 3, 3 provided around the periphery of an IC socket 2 into which a logic LSI 1 such as a CMOS gate array is inserted
.. In the vicinity of .
4b,... are provided, and these MOS switches 4a,
4b, . . . are connected to the terminals 3, 3L, . . .
···It is connected to the. Ico line 5a, 5b,...
- The other end is coupled to the LSI tester 6.

上記の場合、試験される論理LSIIの出力ピンには、
LSIテスタ6内のコンパレータ7の入力端子に結合さ
れた信号線5bが接続される。コンパレータ7に入力さ
れた論理LSIIの出力g号Voutは、LSIテスタ
6内部の制御部から供給される予め予想される期待出力
レベルVrと比較され、一致したか否か判定される。な
お、信号線5bに接続された抵抗Rは、ハイ・インピー
ダンスのコンパレータ7の入力端子に対し接続される負
荷抵抗である。負荷抵抗Rの一端は、特に制限されない
が、回路の接地点に結合される。この抵抗Rの一端は、
もちろん適当な電位源に結合されて良い。
In the above case, the output pin of the logic LSII being tested is
A signal line 5b coupled to an input terminal of a comparator 7 in the LSI tester 6 is connected. The output g of the logic LSII inputted to the comparator 7, Vout, is compared with the expected output level Vr, which is predicted in advance, supplied from the control section inside the LSI tester 6, and it is determined whether or not they match. Note that the resistor R connected to the signal line 5b is a load resistor connected to the input terminal of the high impedance comparator 7. One end of the load resistor R is coupled to, but not limited to, a ground point of the circuit. One end of this resistance R is
Of course, it may be coupled to a suitable potential source.

上記各信号5aおよびSb上のMOSスイッチ4a、4
bは、LSIテスタ6から供給される制御信号(g 、
C2,C3r C4によってそれぞれオン、オフ制御さ
れる。試験される論理LSIIの入力ピンに接続された
MOSスイッチ4aは、特に制限されないがテスティン
グの際、制御信号C1によって常時オン状態にされ、連
続してテスト信号が入力可能にされる。
MOS switches 4a, 4 on each of the above signals 5a and Sb
b is a control signal (g,
C2, C3r and C4 are controlled to turn on and off, respectively. Although not particularly limited, the MOS switch 4a connected to the input pin of the logic LSII to be tested is always turned on by the control signal C1 during testing, so that test signals can be continuously input.

一方、試験される論理LSIIの出力ビンに接続された
MOSスイッチ4bは、第2図に示すように、入力信号
Vinが変化してから内部ゲート回路における一定の遅
延後に変化される出力信号V o utが安定した後で
ロウレベルからハイレベルに変化される制御信号C2に
よってオンされる。
On the other hand, as shown in FIG. 2, the MOS switch 4b connected to the output bin of the logic LSII to be tested outputs an output signal V o which is changed after a certain delay in the internal gate circuit after the input signal Vin changes. After ut becomes stable, it is turned on by the control signal C2 which is changed from low level to high level.

なお、入出力共通ビンの場合、入力モードのll17は
、制御(言分により常にオンとなっているが、出力モー
トの時は、出力ピンの時と同じく、各サイクルで毎に、
制御信号によりオン/オフされる。また、出力期待値が
ドントケアの場合は、出力ピン及び入出力共通ビンの制
御信号は、オフのままである。
In addition, in the case of the input/output common bin, ll17 in the input mode is controlled (in other words, it is always on, but in the case of the output mode, it is controlled every cycle in the same way as the output pin.
It is turned on/off by a control signal. Further, when the expected output value is don't care, the control signals of the output pin and the input/output common bin remain off.

従って、論理LSIIの出力ピンの信号が変化される時
点では、MOSスイッチ4bはオフ状態にされているこ
とになるので、その時LSI内部の出力回路には信号線
5bの持つ大きな容量が接続されていない状態で出力が
変化することになる。
Therefore, at the time the signal at the output pin of the logic LSII is changed, the MOS switch 4b is turned off, so the large capacitance of the signal line 5b is not connected to the output circuit inside the LSI at that time. The output will change even when there is no power.

そのため、出力信号V o u tが変化するときLS
I内部の出力回路には、大きな電流が流れないようにさ
れる。これによって、信号線5a、Sb間のクロストー
クの発生が抑制される。
Therefore, when the output signal V out changes, LS
A large current is prevented from flowing through the output circuit inside I. This suppresses the occurrence of crosstalk between the signal lines 5a and Sb.

また、出力信号Voutが変化してからMOSスイッチ
4bがオンされ、LSIの出力ピンに信号線5b及び負
荷抵抗が接続された状態になると、この信号線5bのレ
ベルを出力信号V o u tに応じたレベルに変化さ
せるように、LSI内部の出力回路に電流が流される。
Furthermore, when the MOS switch 4b is turned on after the output signal Vout changes, and the signal line 5b and the load resistor are connected to the output pin of the LSI, the level of the signal line 5b is changed to the output signal Vout. A current is passed through the output circuit inside the LSI so as to change the level accordingly.

しかし、このとき、MOSスイッチ4bの特性を適当に
設定しておくことによって、そのオン抵抗と寄生容量に
よって、信号線5b上のレベル変化を出力回路のそれよ
りもゆるやかにしてやることができる。
However, at this time, by appropriately setting the characteristics of the MOS switch 4b, the level change on the signal line 5b can be made more gradual than that of the output circuit due to its on-resistance and parasitic capacitance.

そのため、MOSスイッチ4bがオンされることにより
出力ピンに信号a5bが接続されても、LSI内部の出
力回路に急激な電流変化が起きないようにされる。そし
て、MOSスイッチ4bがオンされてから一定時間(5
0n s程度)経過して信号線5bのレベルが確定して
から、LSIテスタ6内の制御部からテスト・ストロー
ブ信号TSがコンパレータ7に供給され、このテスト・
ストローブ信号TSのタイミングで予め予想される期待
出力レベルVrとの比較が行なわれる。
Therefore, even if the signal a5b is connected to the output pin by turning on the MOS switch 4b, a sudden current change is prevented from occurring in the output circuit inside the LSI. Then, after the MOS switch 4b is turned on, a certain period of time (5
After the level of the signal line 5b has been determined (approximately 0 ns), the test strobe signal TS is supplied from the control section in the LSI tester 6 to the comparator 7, and the test strobe signal TS is supplied to the comparator 7.
A comparison with an expected output level Vr predicted in advance is performed at the timing of the strobe signal TS.

以上のような作用により、この実施例では試験される論
理LSIIに負荷の大きな信号線5bが接続されても、
出力回路における急激な電流変化が抑えられるため、信
号線間の相互インダクタンスに起固するようなりロスト
ークの発生が防止される。その結果、クロストークによ
って入力信号へノイズがのったりするおそれがなくなり
、ファンクションテストにおける誤動作が防止される。
Due to the above-mentioned effects, in this embodiment, even if the signal line 5b with a large load is connected to the logic LSII to be tested,
Since sudden current changes in the output circuit are suppressed, losstalk caused by mutual inductance between signal lines is prevented from occurring. As a result, there is no risk of noise being added to the input signal due to crosstalk, and malfunctions in function tests are prevented.

また、論理LSI内部の出力回路における急激な電流の
変化が抑制されるため、内部の電源電圧ま変動が小さく
なり、電源電圧の変動に伴なう入出力ビン間におけるク
ロストークに似た現象の発生が防止されるとともに、 
ff1gff1圧の変動によって入力回路の論理シュレ
ッショールド電圧が変化したりするのが防止され、正確
な動作マージンテストが行なえるようになる。
In addition, since sudden changes in current in the output circuit inside the logic LSI are suppressed, fluctuations in the internal power supply voltage are reduced, and a phenomenon similar to crosstalk between input and output bins due to fluctuations in power supply voltage is reduced. In addition to preventing the occurrence of
This prevents the logic threshold voltage of the input circuit from changing due to fluctuations in the ff1gff1 pressure, making it possible to perform accurate operating margin tests.

なお、ゲートアレイのような論理LSIは、どのビンが
入力ビンまたは出力ピンなるか定まっていないので、上
記実施例では、汎用性を持たせるため論理LSIIの入
力ピンに接続される(=分線5a上にもMOSスイッチ
4aを設けている。しかし、それに限定されるものでな
く、入出力ピンの固定された論理LSIをテストするよ
うな場合などには、出力ピンに接続される信号線5b上
にのみMOSスイッチを設けるようにしてもよい。
Note that in a logic LSI such as a gate array, it is not determined which bin is an input bin or an output pin, so in the above embodiment, in order to have versatility, it is connected to the input pin of the logic LSI (= branch line). A MOS switch 4a is also provided on the MOS switch 5a. However, the present invention is not limited to this, and when testing a logic LSI with fixed input/output pins, a signal line 5b connected to the output pin is provided. A MOS switch may be provided only on the top.

[効果] 試験される論理LSIが挿入されるソケットの各端子の
近傍にスイッチを設け、このスイッチを介してソケット
とLSJテスタとを信号線で結合させてなるので、出力
ピンに接続された信号線上のスイッチを通常はオフ状態
にさせておいて、出力信号の変化が落ち着いた後でオン
させて出力状態をLSIテスタに伝えるようにすること
によって、出力信号が変化するときの負荷が減少してL
SI内の出力回路に大きな電流が流れないようになると
ともに、電流が急激に変化しないようになるという作用
により、入出力ピン間のクロストークの発生よおび内部
電源電圧の変動が防止され、これによってファクション
テストおよび動作マージンテストの精度が向上されると
いう効果がある。
[Effect] A switch is provided near each terminal of the socket into which the logic LSI to be tested is inserted, and the socket and LSJ tester are connected via a signal line through this switch, so that the signal connected to the output pin The load when the output signal changes can be reduced by leaving the switch on the line in the off state and turning it on after the change in the output signal has calmed down to transmit the output state to the LSI tester. TeL
By preventing a large current from flowing into the output circuit within the SI and preventing the current from changing rapidly, crosstalk between input and output pins and fluctuations in the internal power supply voltage are prevented. This has the effect of improving the accuracy of faction tests and operational margin tests.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、上記実施例では
、ICソケットの近傍に設けられるスイッチ4a、4b
をそれぞれディスクリート部品のMOSFETで構成し
たが、これらのMOSスイッチをIC化することも可能
である。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor. For example, in the above embodiment, the switches 4a and 4b provided near the IC socket
Although each of these MOS switches is constructed using discrete MOSFETs, it is also possible to incorporate these MOS switches into ICs.

[利用分野] 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
を、その背景となった利用分野であるCMOS−LS 
Iに適用したものについて説明したが、それに限定され
るものでなく、論理振幅の大きなTTLロジックLSI
その他ビン数が多いためソケットとテスタを結ぶ信号線
の長さが長くならざるを得ないような論理LSIに利用
することができる。
[Field of Application] In the above explanation, the invention made by the present inventor will be mainly explained in terms of CMOS-LS, which is the field of application that is its background.
Although the description has been made regarding the application to I, it is not limited thereto, and is applicable to TTL logic LSI with large logic amplitude.
In addition, it can be used in logic LSIs where the length of the signal line connecting the socket and the tester must be long due to the large number of bins.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明を論理LSIのテスト装置に適用した
場合の一実施例を示す回路構成図、第2図は、その回路
における各部の信号のタイミングを示すタイミングチャ
ートである。 l・・・・論理LSI、2・・・・ICソケット、3・
・・・ソケット端子、4a、4b・・・・スイッチ(M
OSFET)、5 a、5 b−接続用信号線、6・・
・・LSI用テスタ、7・・・・コンパレータ。
FIG. 1 is a circuit configuration diagram showing an embodiment of the present invention applied to a logic LSI test device, and FIG. 2 is a timing chart showing the timing of signals of each part in the circuit. l...Logic LSI, 2...IC socket, 3...
...Socket terminal, 4a, 4b...Switch (M
OSFET), 5 a, 5 b-connection signal line, 6...
... LSI tester, 7... Comparator.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、試験される論理LSIの少なくとも出力ピンの近傍
にスイッチを設け、該スイッチを介して上記論理LSI
とLSI用テスタとを信号線で結合し、論理LSIの出
力ピンのレベルが安定してから上記スイッチを導通させ
るようにしたことを特徴とする論理LSIの試験装置。 2、上記論理LSIはソケットに挿入され、該ソケット
の近傍に設けられたスイッチを介して、上記テスタと結
合させる信号線が接続されてなることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の論理LSIの試験装置。 3、上記スイッチは、ディスクリートのMOSFETで
構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第1項
もしくは第2項記載の論理LSIの試験装置。
[Claims] 1. A switch is provided near at least the output pin of the logic LSI to be tested, and the logic LSI is
and an LSI tester are connected by a signal line, and the switch is made conductive after the level of the output pin of the logic LSI is stabilized. 2. The logic LSI is inserted into a socket, and a signal line to be coupled to the tester is connected to the logic LSI through a switch provided near the socket. Logic LSI test equipment. 3. The logic LSI testing device according to claim 1 or 2, wherein the switch is composed of a discrete MOSFET.
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